JP2010252302A - 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 - Google Patents
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- 238000005452 bending Methods 0.000 title claims abstract description 100
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 76
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 53
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 claims description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 59
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 24
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N dilithium;[oxido(oxoboranyloxy)boranyl]oxy-oxoboranyloxyborinate Chemical compound [Li+].[Li+].O=BOB([O-])OB([O-])OB=O PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
Abstract
する。
【解決手段】基部52と、この基部52の一端側から延出する一対の振動腕53,54と
からなる音叉型水晶振動片50において、各振動腕53,54の基部52との付け根近傍
を含む領域には励振電極36A,37Aが形成されている。これにより、図中矢印Gで示
す方向に振動腕53,54が屈曲振動したときに圧縮応力または伸張応力が作用する第1
の領域110,112と第2の領域111,113とが熱的に接続されている。ここで、
各振動腕53,54ごとの熱伝導路の数をm、熱伝導路の熱抵抗率をρth、振動腕53,
54(水晶)の熱抵抗率をρV、振動腕53,54の振動方向と直交する方向の厚みをtv
、熱伝導路の振動腕53,54の振動方向と直交する方向の厚みをtthとしたときに、t
th≧(1/m)×tv×(ρth/ρv)の関係を満たしている。
【選択図】図1
Description
る。
用基材からなる基部から1対の振動腕を互いに平行に延出させて、それらの振動腕を水平
方向に互いに接近または離反する向きに振動させる音叉型の屈曲振動片が広く使用されて
いる。この音叉型屈曲振動片の振動腕を励振させたとき、その振動エネルギーに損失が生
じると、CI(Crystal Impedance)値の増大やQ値の低下など、振動片の性能を低下さ
せる原因となる。そこで、そのような振動エネルギーの損失を防止または低減するために
、従来から様々な工夫がなされている。
した音叉型水晶振動片が知られている(例えば特許文献1、特許文献2を参照)。この音
叉型水晶振動片は、振動腕の振動が垂直方向の成分をも含む場合に、切込み部または切込
み溝により基部から振動が漏れるのを抑制することによって、振動エネルギーの閉じ込め
効果を高めてCl値を制御し、且つ、振動片間でのCI値のばらつきを防止している。
する圧縮部と引張応力が作用する伸張部との間で温度差が生じ、この温度差を緩和しよう
として作用する熱伝導によっても振動エネルギーの損失が発生する。この熱伝導によって
発生するQ値の低下は熱弾性損失効果と呼ばれている。
このような熱弾性損失効果によるQ値の低下を防止または抑制するために、矩形断面を
有する振動腕(振動梁)の中心線上に溝、または孔を形成した音叉型の振動片が、例えば
特許文献3に紹介されている。
られた歪と応力との関係式から、熱弾性損失は、屈曲振動モードの振動片において、振動
数が変化したときに、緩和振動数fm=1/(2πτ)(ここで、τは緩和時間)でQ値
が極小となる、と説明されている。このQ値と周波数との関係を一般的に表すと、図8の
曲線Fのようになる(例えば、非特許文献1を参照)。同図において、Q値が極小Q0と
なる周波数が熱緩和周波数f0(=1/(2πτ))であり、すなわち、熱緩和周波数f0
は上記緩和振動数fmと同じものである。
は、基部2から延出する2本の互いに平行な振動腕3,4を備え、各振動腕3,4それぞ
れの中心線上に直線状の溝または孔6,7が設けられている。この音叉型水晶振動片1の
各振動腕3,4の両主面(溝または孔6,7形成面と同じ面)に設けられた図示しない励
振電極に所定の駆動電圧を印加すると、振動腕3,4は、図中想像線(二点鎖線)および
矢印で示すように、互いに接近または離反する向きに屈曲振動する。
する。すなわち、振動腕3の基部2との付け根部においては、屈曲振動により圧縮応力ま
たは引張応力が作用する第1の領域10と、この第1の領域10に圧縮応力が作用する場
合は引張応力が作用し、第1の領域10に引張応力が作用する場合は圧縮応力が作用する
関係にある第2の領域11と、が存在し、これら第1の領域10および第2の領域11に
おいては、圧縮応力が作用したときには温度が上昇し、引張応力が作用したときには温度
が下降する。
これと同様に、振動腕4の基部2との付け根部においては、屈曲振動により圧縮応力ま
たは引張応力が作用する第1の領域12と、この第1の領域12に圧縮応力が作用する場
合は引張応力が作用し、第1の領域12に引張応力が作用する場合は圧縮応力が作用する
関係にある第2の領域13と、が存在し、第1の領域12および第2の領域13において
は、圧縮応力が作用したときに温度が上昇し、引張応力が作用したときには温度が下降す
る。
内部には、第1の領域10,12と第2の領域11,13との間で熱伝導が発生する。温
度勾配は、各振動腕3,4の屈曲振動に対応して逆向きに発生し、それに対応して熱伝導
も逆向きとなる。この熱伝導によって、振動腕3,4の振動エネルギーは、その一部が振
動中も常に熱弾性損失として失われ、その結果、音叉型水晶振動片1のQ値が低下して振
動特性が不安定になり、所望の性能を実現することが困難になる。
特許文献3の音叉型水晶振動片1では、各振動腕3,4それぞれの中心線上に設けられ
た溝または孔6,7によって圧縮側から引っ張り側への熱移動が阻止されることにより、
熱弾性損失によるQ値の低下を防止または軽減することを可能としている。具体的には、
各振動腕3,4に設けられた溝または孔6,7に沿って屈曲振動体内を迂回することによ
り、熱伝導経路が長くなって熱緩和時間τが延長されるので、1/(2πτ)で求められ
る熱緩和周波数は、図8に示す曲線F1の緩和周波数f10に示すように、溝または孔6,
7を設けない従来の音叉型屈曲振動片の曲線Fおよびその緩和周波数f0に比して図中左
側にシフトする。
溝または孔を形成することが困難になるとともに、溝または孔によって熱緩和時間を延長
する効果が少なくなりQ値の低下の抑制効果が十分に得られなくなるという課題があった
。
形態または適用例として実現することが可能である。
用する第1の領域と、前記第1の領域に圧縮応力が作用する場合は引張応力が作用し前記
第1の領域に引張応力が作用する場合は圧縮応力が作用する関係にある第2の領域と、を
有する屈曲振動体からなり、前記第1の領域と前記第2の領域の間に、前記屈曲振動体よ
りも高い熱伝導率を有する材料からなり前記第1の領域と前記第2の領域とを熱的に接続
する熱伝導路を有する屈曲振動片であって、前記熱伝導路の数をm、前記熱伝導路の熱抵
抗率をρth、前記屈曲振動体の熱抵抗率をρv、前記屈曲振動体の振動方向と直交する方
向の厚みをtv、前記熱伝導路の前記屈曲振動体の振動方向と直交する方向の厚みをtth
としたときに、tth≧(1/m)×tv×(ρth/ρv)の関係を満たすことを特徴とす
る。また、ある形態では、振動により圧縮応力または引張応力が作用する第1の領域と、
前記第1の領域に圧縮応力が作用する場合は引張応力が作用し前記第1の領域に引張応力
が作用する場合は圧縮応力が作用する関係にある第2の領域と、を有し、第1の面内で屈
曲振動する屈曲振動体と、前記第1の領域と前記第2の領域の間に、前記屈曲振動体より
も高い熱伝導率を有する材料からなり前記第1の領域と前記第2の領域とを熱的に接続す
る熱伝導路と、を有する屈曲振動片であって、前記熱伝導路の数をm、前記熱伝導路の熱
抵抗率をρth、前記屈曲振動体の熱抵抗率をρV、前記屈曲振動体の前記第1の面と直交
する方向の厚みをtv、前記熱伝導路の厚みをtthとしたときに、tth≧(1/m)×tv
×(ρth/ρv)の関係を満たすことを特徴とする。また、ある形態では、熱伝導路は屈
曲振動片の外面に形成されることを特徴とする。
ら第2の領域への熱伝導路の数に応じて熱伝導路の厚みを設定することにより、第1の領
域と第2の領域との間の熱伝導が熱伝導路を介して効率的に行われるようになることを本
願発明者は見出した。これにより、第1の領域と第2の領域との温度を平衡状態とするの
に要する熱緩和時間が短縮されるので、Q値の低下を抑えることができる。
また、上述した従来の対策のように屈曲振動体に孔や溝を形成する必要がないので、屈
曲振動片の小型化への対応が容易になる。
したがって、Q値の低下が抑えられ振動特性の安定した小型の屈曲振動片を提供するこ
とができる。
周波数をfr、前記屈曲振動片の熱緩和周波数をf20、前記熱伝導路が設けられていない
状態の屈曲振動片の熱緩和周波数をf0としたときに、1>fr/(f0+(f20−f0)
/3)の関係を満たすことを特徴とする。また、ある形態では、屈曲振動体の機械的な振
動周波数をfr、前記屈曲振動片の熱緩和周波数をf20、円周率をπ、前記屈曲振動体に
用いた材料の振動方向の熱伝導率をk、前記屈曲振動体に用いた材料の質量密度をρ、前
記屈曲振動体に用いた材料の熱容量をCp、前記屈曲振動体の振動方向の幅をaとし、f0
=πk/(2ρCpa2)としたとき、1>fr/(f0+(f20−f0)/3)の関係を満
たすことを特徴とする。
性を有する屈曲振動片を提供することができる。
周波数をfr、円周率をπ、前記屈曲振動体に用いた材料の振動方向の熱伝導率をk、前
記屈曲振動体に用いた材料の質量密度をρ、前記屈曲振動体に用いた材料の熱容量をCp
、前記屈曲振動体の振動方向の幅をaとし、f0=πk/(2ρCpa2)としたとき、1
≧fr/f0であることを特徴とする。
ることが可能となる。
成された励振電極の一部からなることを特徴とする。
製造することができる。
なることを特徴とする。
に熱伝導路を設けることも可能になるので、設計の自由度が増して小型化に有利となり、
また、製造も容易になる。
、該屈曲振動片を駆動させる発振回路とを少なくとも備えることを特徴とする。
ので、安定した発振特性を有する小型の発振器を提供することができる。
参照しながら説明する。
図1および図2は、第1の実施形態の屈曲振動片としての音叉型水晶振動片を模式的に
説明したものであり、図1は一方の主面側の平面図、図2は、図1のA−A線断面図であ
る。
図1において、本実施形態の音叉型水晶振動片50は、屈曲振動体材料を加工すること
により形成された基部52と、この基部52の一端側(図において上端側)から二股に別
れて互いに平行に延出する一対の振動腕53,54とからなる所謂音叉型の外形を有して
形成されている。屈曲振動体材料としては、本実施形態では従来の音叉型水晶振動片と同
様に、水晶の単結晶から切り出されたものを使用する。例えば、所謂Zカットの水晶薄板
から、水晶結晶軸のY軸を振動腕53,54の長手方向に、X軸をその幅方向に、Z軸を
振動片の表裏主面の垂直方向にそれぞれ配向して形成される。音叉型水晶振動片50の音
叉型の外形は、例えば水晶ウエハーなどの水晶基板材料をフッ酸溶液などでウエットエッ
チングしたり、ドライエッチングしたりすることにより精密に形成することができる。
。例えば、窒化アルミニウム(AlN)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル
酸リチウム(LiTaO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、四ほう酸リチウム(L
i2B4O7)などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウム、五酸化タンタル(
Ta2O5)などの薄膜圧電材料を積層させて構成された圧電基板を用いることができる。
また、圧電基板以外にも、例えばシリコン半導体材料などにより屈曲振動片を形成するこ
ともできる。
ただし、屈曲振動片の共振周波数は屈曲振動体材料のヤング率を質量密度で除した値の
平方根に比例し、ヤング率を質量密度で除した値が小さい材料ほど、屈曲振動片の小型化
に有利である。よって、本実施形態の音叉型水晶振動片50のように水晶からなる屈曲振
動片は、シリコン半導体材料などに比してヤング率を質量密度で除した値の平方根が小さ
くできるので小型化に有利であるとともに、周波数温度特性に優れているので、本実施形
態の屈曲振動片としての音叉型水晶振動片50に用いる材料として特に好ましい。
た、基部52の振動腕53,54が延出された一端側と異なる他端側近傍には、外部との
接続に供する外部接続電極66,67が設けられている。これらの外部接続電極66,6
7は、それぞれ励振電極36A,37Aと対応しており、それぞれ対応する電極同士が、
音叉型水晶振動片50の主面や側面に引き回されて設けられた図示しない引き回し配線に
より接続されている。
4において各励振電極36A,37Aの対向電極としての励振電極36B,37Bがそれ
ぞれ設けられている。励振電極36B,37Bは、それぞれ対応する励振電極36A,3
7Aや外部接続電極66,67などの電極と、音叉型水晶振動片50の主面や側面に引き
回されて設けられた図示しない引き回し配線により接続されている。
ここで、振動腕53の励振電極36A,36Bは同電位であり、振動腕54の励振電極
37A,37Bは同電位である。また、各振動腕53,54の励振電極36A,36Bと
励振電極37A,37Bとは電位が異なる。
37Bは、各振動腕53,54の基部52との付け根部分近傍の下記に詳述する第1の領
域110,112と第2の領域111,113とを熱的に接続する熱伝導路として用いる
ために、第1の領域110,112および第2の領域111,113にかかる範囲まで形
成されている。
なお、本実施形態の音叉型水晶振動片50の特徴をわかりやすく説明する便宜上図示を
省略したが、各振動腕53,54の励振電極36A,36B,37A,37Bが形成され
た両主面と直交する両側面には、それぞれの振動腕53,54の励振電極36A,36B
または励振電極37A,37Bとそれぞれ同電位の励振電極が形成されている。
成した後で、例えば、ニッケル(Ni)またはクロム(Cr)を下地層として、その上に
、蒸着またはスパッタリングにより例えば金(Au)による電極層を成膜し、その後フォ
トリソグラフィーを用いてパターニングすることにより形成することができる。ただし、
本実施形態の音叉型水晶振動片50では、上記したように、励振電極36A,36B,3
7A,37Bの一部を熱伝導路として用いる構成となっているので、下記に詳述するよう
に、熱抵抗率が十分に低く熱伝導路として有効な金属材料を選定して用いる。
ついて詳細に説明する。
図2は、図1の音叉型水晶振動片50のA−A線断面、すなわち、各振動腕53,5
4の基部52との付け根部近傍の断面を示している。本実施形態では、この各振動腕53
,54の基部(52)との付け根近傍の励振電極36A,36B,37A,37Bを、後
述する熱弾性損失を抑制してQ値の劣化を防止するための熱伝導路として用いる。ここで
、熱伝導路とは、図1に示す音叉型水晶振動片50において、矢印Gで示す各振動腕53
,54の屈曲振動方向に位置する基部52との付け根部分近傍の領域(二点鎖線で示す)
ある第1の領域110,112と第2の領域111,113との熱伝導経路を指す。
主面に設けられた励振電極36Aは厚みt1を有している。また、振動腕53の他方の主
面に設けられた励振電極36Bは厚みt2を有している。
同様に、振動腕54の一方の主面に設けられた励振電極37Aは厚みt1を有し、他方
の主面に設けられた励振電極37Bは厚みt2を有している。ここで、本実施形態の音叉
型水晶振動片50においてはt1=t2となっている。
Bの材料としては、少なくとも屈曲振動体材料である水晶よりも熱抵抗率が低い材料であ
って、なるべく低い熱抵抗率の材料が用いられ、この熱抵抗率の他に、入手が比較的容易
で低コストであることや、製造容易性などを勘案して選定する。例えば、図3に、熱伝導
路(本実施形態では励振電極の一部)に適用可能な材料の例を示す。この図3の材料の中
でもより熱抵抗率の低い材料を用いることが、熱伝導路の厚みを薄くすることができるの
で好ましい。また、本実施形態では、励振電極36A,36B,37A,37Bの一部を
熱伝導路として用いる構成としているので、電極となりうる導電体材料を用いる必要があ
ることは当然であり、図中の不導体物質であるダイヤモンドは適用外となる。ただし、後
述する他の実施例のように、励振電極などの電極とは別に熱伝導路を形成する場合には、
熱伝導路の材料に導電性は必要としないので、図中のダイヤモンドなどの比較的低い熱抵
抗率を有する非導電性の材料を適宜に用いることができる。
振動体の熱抵抗率をρv、屈曲振動体の振動方向と直交する方向の厚みをtv、熱伝導路
の屈曲振動体の振動方向と直交する方向の厚みをtthとしたときに、tth≧(1/m)×
tv×(ρth/ρv)の関係を満たすことにより、後述するQ値の低下の抑制効果を奏する
ことを本願発明者は見出した。即ち、この条件を満たすことにより、熱伝導路としての励
振電極36A,36B,37A,37Bの一部よりも屈曲振動体(本実施形態では水晶)
の方が熱が伝わりやすい、という好ましくない状態を回避できる。好ましくは、tth>(
1/m)×tv×(ρth/ρv)であり、これにより、屈曲振動体(本実施形態では水晶)
よりも熱伝導路の方が熱が伝わりやすくなる状態を確実に実現することができ、熱緩和時
間を短くすることによるQ値の向上が確実に達成される。本実施形態において、前記厚み
tthが上記の励振電極36A,36B,37A,37Bの熱伝導路として用いる一部の厚
みt1および厚みt2になる。なお、熱伝導路の数mとは、上記第1の領域および第2の領
域を有する屈曲振動体ごとの第1の領域と第2の領域とを熱的に接続する熱伝導路の数を
指す。
の励振電極36A,37A、および他方の主面の励振電極36B,37Bそれぞれの一部
が熱伝導路として用いられるので、熱伝導路の数mはm=2になる。
また、本実施形態の音叉型水晶振動片50において、屈曲振動体としての水晶基板にZ
カット水晶(熱抵抗率ρv=0.1613mK/W)を用いて、且つ、各振動腕53,5
4の振動方向と直交する方向の厚みtvを100μmとし、図3に示す材料のうち金(A
u、熱抵抗率ρth=0.0032mK/W)を用いて励振電極(熱伝導路)を形成する場
合、各励振電極36A,36B,37A,37Bの少なくとも熱伝導路として用いる部分
の厚みt1およびt2は、上記の式tth≧(1/m)×tv×(ρth/ρv)の関係を満たせ
ばよいので、t1またはt2は、それぞれ1μm以上とすればよい。
,36B,37A,37Bの一部を熱伝導路として用いる構成を説明したが、各励振電極
36A,36B,37A,37Bのうち少なくとも熱伝導路として用いる部分の厚みを厚
みt1,t2に調整すればよい。例えば、励振電極形成工程に、熱伝導路として用いる部分
と異なる部分をマスキングして励振電極用の材料を堆積させる工程を含むことにより、電
極形成用材料を熱伝導路として用いる部分のみを厚づけして、その他の部分の電極形成用
材料の使用量を削減することができる。
(図示せず)から励振電極36A,36Bおよび励振電極37A,37Bに駆動電圧を印
加すると、振動腕53,54は水平方向に、図中矢印Gで示すように互いに接近または離
反する向きに屈曲振動する。本実施形態では、基部52と振動腕53,54は所定の第1
の面上に形成され、第1の面内に屈曲振動するとも言える。
53,54の振動方向の付け根部分の領域には、圧縮応力と引張応力とが発生する。すな
わち、振動腕53の図中の第1の領域110および第2の領域111に圧縮応力と引張応
力とが発生し、これと同様に、振動腕54の基部52との連結部分の領域にも圧縮応力と
引張応力とが発生する(詳細は後述する)。図中の振動腕53側で詳述すると、振動腕5
3の自由端側が振動腕54に接近する向きに屈曲振動すると、振動腕53の第1の領域1
10には引張応力が作用して温度が下降し、第2の領域111には圧縮応力が作用して温
度が上昇する。逆に、振動腕53の自由端側が振動腕54から離反する向きに屈曲すると
、第1の領域110には圧縮応力が作用して温度が上昇し、第2の領域111には引張応
力が作用して温度が下降する。
54の第1の領域112には引張応力が作用して温度が下降し、第2の領域113には圧
縮応力が作用して温度が上昇する。逆に、振動腕54の自由端側が振動腕53から離反す
る向きに屈曲すると、第1の領域112には圧縮応力が作用して温度が上昇し、第2の領
域113には引張応力が作用して温度が下降する。
このように、振動腕53,54それぞれの基部52との連結部の内部には、圧縮応力が
作用する部分と引張応力が作用する部分との間で温度勾配が生じ、その傾斜は、各振動腕
53,54の振動の向きによって逆向きになる。
高温側から低温側へと伝達される。本実施形態の音叉型水晶振動片50では、この圧縮側
の部分から伸張側の部分への熱の伝達が、各振動腕53,54の励振電極36A,36B
および励振電極37A,37Bの一部を熱伝導路として行われる。
図1に示す音叉型水晶振動片50の一方の主面側について詳細に説明すると、各振動腕
53,54にそれぞれ設けられた励振電極36A,37Aの一部(各振動腕53,54の
基部52との付け根部分近傍)は、各振動腕53,54の第1の領域110,112と第
2の領域111,113とを熱的に接続するように配置されている。ここで、励振電極3
6A,37Aの電極形成用の材料は、上記したように屈曲振動体としての水晶基板よりも
低い熱抵抗率を有しているので、第1の領域110,112と第2の領域111,113
との間の熱伝導は、励振電極36A,37Aの、第1の領域110,112および第2の
領域111,113を熱的に接続する領域を熱伝導路として行われる。
は、少なくとも屈曲振動体としての水晶よりも熱抵抗率が低い材料により構成され、且つ
、各振動腕53,54の振動方向と直交する方向の厚みtth(図2においてt1またはt2
)が、上記したようにtth≧(1/m)×tv×(ρth/ρv)の関係を満たすように調整
されている。これにより、屈曲振動片が第1の領域と第2の領域との熱伝導経路となる従
来構造の場合よりも圧縮側から伸張側への熱伝導時間が速くなる。すなわち、振動腕53
,54が屈曲振動したときの第1の領域110,112と第2の領域111,113との
間で温度が平衡状態になるまでの緩和時間τ1が、熱伝導路が無い従来構造の緩和時間τ0
よりも短くなる。すなわち、本実施形態の音叉型水晶振動片50の熱緩和周波数f20=1
/(2πτ1)において、τ1<τ0であるから、従来構造の音叉型水晶振動片の熱緩和周波
数f0=1/(2πτ0)よりも高くなる。
f0=πk/(2ρCpa2)…(1)
ここで、πは円周率、kは振動腕(屈曲振動体)の屈曲振動方向の熱伝導率、ρは振動
腕(屈曲振動体)の質量密度、Cpは振動腕(屈曲振動体)の熱容量、aは振動腕(屈曲
振動体)の屈曲振動方向の幅である。式(1)の熱伝導率k、質量密度ρ、熱容量Cpに
振動腕の材料そのものの定数を入力した場合、求まる熱緩和周波数f0は第1の領域11
0,112および第2の領域111,113を熱的に接続する熱伝導路を設けていない場
合の屈曲振動体の緩和振動周波数となる。
曲線F自体の形状は変わらないから、熱緩和周波数の上昇に伴って、曲線Fが曲線F2の
位置まで周波数の上昇方向(紙面上右方向)にシフトしたことになる。したがって、振動
腕の機械的な振動周波数(共振周波数)をfrとしたときにfrが熱緩和周波数f0以下
となる範囲、すなわち1≧fr/f0を満たす範囲では、曲線F2におけるQ値は常に従来
構造の曲線Fよりも高くなる。加えて、曲線F2における、曲線Fと曲線F2の交点の周
波数より低い周波数帯、即ち1>fr/(f0+(f20−f0)/3)を満たす範囲におい
ても、従来構造の音叉型水晶振動片の曲線FにおけるQ値より高くなる。このように、本
実施形態の音叉型水晶振動片50は、各振動腕53,54それぞれの第1の領域110,
112と第2の領域111,113とを熱的に接続する熱伝導路(各励振電極36A,3
6B,37A,37Bの一部)が低い熱抵抗率を有して、且つ、厚みを管理して設けられ
ていることにより、Q値を改善して高性能化を実現することができる。
して用いる構成としている。これにより、製造工程が簡略化され、また、スペース効率よ
くQ値の安定化対策を講じることができるので、音叉型水晶振動片50の小型化および低
コスト化に有利である。
上記第1の実施形態では、音叉型水晶振動片50の励振電極36A,36B,37A,
37Bの一部を熱伝導路として用いる構成とした。これに限らず、屈曲振動体上に励振電
極とは別に熱伝導路を設ける構成としてもよい。
図4は、屈曲振動体上に励振電極とは別に熱伝導路を設けた音叉型水晶振動片を模式的
に説明するものであり、(a)は一主面側の平面図、(b)は(a)のB−B線断面図で
ある。なお、本変形例の図4において、上記第1の実施形態と同じ構成については同一符
号を付して説明を省略する。
基部52と、その基部52の一端側から二股に別れて互いに平行に延出する一対の振動腕
53,54とからなる音叉型の外形を有し、各振動腕53,54の一方の主面には励振電
極136A,137Aが形成されている。また、基部52の振動腕53,54が延出され
た一端側と異なる他端側近傍には外部接続電極66,67が設けられている。これらの外
部接続電極66,67は、それぞれ励振電極136A,137Aと対応しており、それぞ
れ対応する電極同士が、音叉型水晶振動片150の主面や側面に引き回されて設けられた
図示しない引き回し配線により接続されている。
なお、図示を省略したが、各振動腕53,54の励振電極36A,36B,37A,3
7Bが形成された両主面と直交する両側面には、それぞれの振動腕53,54の励振電極
36A,36Bまたは励振電極37A,37Bとそれぞれ同電位の励振電極が形成されて
いる。
52との付け根近傍には、上記第1の実施形態で説明した第1の領域と第2の領域(図1
を参照)とを熱的に接続する位置に、屈曲振動体としての水晶基板よりも熱抵抗率の低い
材料(図3を参照)からなる熱伝導路56Aが設けられている。
同様に、振動腕54の励振電極137Aが形成された一方の主面側においても、振動腕
54の基部52との付け根近傍に、上記第1の領域と上記第2の領域とを熱的に接続する
位置に熱伝導路57Aが設けられている。
56Aと対向する位置に熱伝導路56Bが設けられている。
ここで、振動腕53の両主面に設けられた熱伝導路56A,56Bは、上記第1の実施
形態で説明した熱伝導路の厚みtthと同じ定義の厚みt11,t12(第1の実施形態ではt
1=t2)に調整されて形成されている。
これと同様に、振動腕54の他方の主面側においても、厚みt11を有する上記熱伝導路
57Aと対向する位置に、厚みt12を有する熱伝導路(図示せず)が設けられている。
る必要がなく、熱伝導路56A,56B,57Aとして用いる材料の選択肢が広がるので
、より効果的に音叉型水晶振動片150のQ値の安定化や製造効率の向上を図ることが可
能になる。例えば、比較的厚い厚みで形成される熱伝導路56A,56B,57Aを、励
振電極136A,137Aの厚みに関係なく熱伝導路56A,56B,57Aの厚みだけ
を制御して形成すればよいので、材料の無駄が抑えられるとともに厚みの制御を精度よく
行うことができる。
また、励振電極136A,137Aとは別個に形成される熱伝導路56A,56B,5
7Aは導電性を必要としないので、例えば、図3に示す材料のうち、ダイヤモンドなどの
熱抵抗率の低い不導体材料を選択してQ値の低下をより効果的に抑えることができる。
実施することも可能である。
上記第2の実施形態の音叉型水晶振動片150において、熱伝導路56A,56B,5
7Aは励振電極136A,137Aなどの電極と重ならない位置に設ける構成としたが、
熱伝導路の形成用材料として不導体材料を用いれば、熱伝導路を電極と重ねて設けること
も可能となり、小型化が図れるなどの効果を奏する。
図5は、変形例の音叉型水晶振動片を模式的に説明するものであり、図5(a)は一主
面側の平面図、(b)は(a)のC−C線断面図である。
基部52と、その基部52の一端側から二股に別れて互いに平行に延出する一対の振動腕
53,54とからなる音叉型の外形を有している。また、各振動腕53,54の一方の主
面には、各振動腕53,54の基部52との付け根部分近傍を含む領域に設けられた励振
電極236A,237Aが形成されている。
52との付け根近傍の、上記第1の実施形態で説明した第1の領域と第2の領域(図1を
参照)とを熱的に接続する位置には、屈曲振動体としての水晶基板よりも熱抵抗率の低い
材料(例えば、図3を参照)のうち、不導体からなる熱伝導路156Aが設けられている
。熱伝導路156Aは、励振電極236A上を含む領域に設けられているが、不導体なの
で短絡などの電気的な不具合を回避できる。
同様に、振動腕54の励振電極237Aが形成された一方の主面側においても、振動腕
54の基部52との付け根近傍に、上記第1の領域と上記第2の領域とを熱的に接続する
位置に熱伝導路157Aが設けられている。
156Aと対向する位置に熱伝導路156Bが設けられている。
ここで、振動腕53の両主面に設けられた熱伝導路156A,156Bは、上記第1の
実施形態で説明した熱伝導路の厚みtthと同じ定義の厚みt21,t22(ここでt21=t22
)に調整されて形成されている。
これと同様に、振動腕54の他方の主面側においても、厚みt21を有する上記熱伝導路
157Aと対向する位置に、厚みt22を有する熱伝導路(図示せず)が設けられている。
なお、図示を省略したが、各振動腕53,54の励振電極236A,236B,237
A,237Bが形成された両主面と直交する両側面には、それぞれの振動腕53,54の
励振電極236A,236Bまたは励振電極237A,237Bとそれぞれ同電位の励振
電極が形成されている。
することなく、それらの電極上に熱伝導路156A,156B,157Aを設けることが
できるので、設計の自由度が増して小型化に有利である。また、電極と熱伝導路156A
,156B,157Aとの形成位置精度を緩くすることができるなど製造も容易になる。
上記第1の実施形態および変形例で説明した屈曲振動片としての音叉型水晶振動片50
,150,250は、圧電デバイスや、圧電デバイス以外の様々な電子部品に適用するこ
とができる。特に、上記パッケージ内に上記の音叉型水晶振動片50,150,250の
うちいずれかの屈曲振動片とともに、その屈曲振動片を発振させる発振回路素子が少なく
とも組み込まれて構成された発振器は、Q値が改善されて高性能化が実現されるとともに
小型化を図ることができる。
明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の
変更を加えることが可能である。
,150,250では、各振動腕53,54の両主面に熱伝導路56,57,156,1
57を設けた。すなわち、上記第1の実施形態で説明した熱伝導路56,57の厚みtth
(t1,t2)を規定する式tth≧(1/m)×tv×(ρth/ρv)において、熱伝導路の
数m=2としたが、これに限らない。熱伝導路は、屈曲振動体(音叉型水晶振動片の振動
腕)ごとに一つ、または三つであっても、上式の関係を満たすように各熱伝導経路の厚み
を確保すればよい。
0,150,250について説明した。これに限らず、本発明の屈曲振動片は、短冊状の
所謂ビーム型の屈曲振動片でもよく、また、三つ以上の振動腕を有する屈曲振動片であっ
ても、上記した第1の実施形態および変形例と同様な効果を得ることができる。
腕を有する屈曲振動片の概略構成図であり、(a)〜(c)は電極形成の過程を示した斜
視図、(d)は(a)のA−A’断面図、(e)は(b)のB−B’断面図、(f)は(
c)のC−C’断面図である。
図6に示すように、圧電体素子10は、水晶基板からなる基部16とその一端から延出
する3本の振動腕18a,18b,18cを備え、振動腕18a,18b,18cは主面
12上に配置された下部電極20と、下部電極20上に配置された圧電膜22と、圧電膜
22上に配置された上部電極26と、を含み、振動腕18a,18cと振動腕18bとを
互い違いに上下に屈曲振動させる。換言すれば、基部16と振動腕18a,18b,18
bが形成された面と直交する方向に屈曲振動するとも言える。なお、本例の振動腕の振動
方向の幅aは、振動腕の厚み方向となる。
面を覆うように下部電極20を形成する。次に図6(b)、(e)に示すように下部電極
20および基部16の一部を覆うように圧電膜22を形成すると共に下部電極20と上部
電極26とを導通接続するための開口部24を形成する。次に図6(c)、(f)に示す
ように圧電膜22上に上部電極26を形成する。このとき、振動腕18a,18cの下部
電極20と振動腕18bの上部電極26とが接続され、振動腕18a,18cの上部電極
26と振動腕18bの下部電極20とが接続される。本実施例においては、下部電極20
を水晶基板よりも高い熱伝導率を有した電極材料から形成する。
、振動腕18a,18b,18cの振動方向の付け根部分の表裏面には、圧縮応力と引張
応力とが発生する。図中の振動腕で詳述すると、振動腕18a,18cが+Z軸方向に屈
曲振動すると、振動腕18a,18cの表面の第1の領域には圧縮応力が作用して温度が
上昇し、裏面の第2の領域には引張応力が作用して温度が下降する。一方、振動腕18b
は−Z軸方向に屈曲振動し、振動腕18bの表面の第1の領域には引張応力が作用して温
度が下降し、裏面の第2の領域には圧縮応力が作用して温度が上昇する。このように、振
動腕18a,18b,18cそれぞれの基部16との連結部の内部には、圧縮応力が作用
する部分と引張応力が作用する部分との間で温度勾配が生じ、その傾斜は、振動腕18a
,18b,18cの振動の向きによって逆向きになる。この温度勾配によって、熱が圧縮
側の部分から引張側の部分へ、すなわち、高温側から低温側へと伝達される。本実施形態
の音叉型水晶振動片では、この圧縮側の部分から伸張側の部分への熱の伝達が、振動腕1
8a,18b,18cの表面に形成した下部電極20の一部を熱伝導路として用いる。
電極と同様に圧電膜または上部電極を振動腕の外面全体に形成し、圧電膜または上部電極
を熱伝導路として用いても良い。
音叉型水晶振動片50,150,250について説明したが、水晶以外の圧電基板からな
る屈曲振動片であってもよい。
また、屈曲振動片の基材は材料からなる圧電基板に限らない。圧電基板を用いた圧電駆
動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁気を用いた磁気駆動型の屈曲振動
片においても、本発明の構成およびその効果を発揮させることができる。
3,4,53,54…振動腕、6,7…孔、10,12,110,112…第1の領域、
11,13,111,113…第2の領域、36A,36B,37A,37B,136A
,137A,236A,236B,237A…励振電極、56A,56B,156A,1
56B,157A…熱伝導路、66,67…外部接続電極。
Claims (7)
- 振動により圧縮応力または引張応力が作用する第1の領域と、前記第1の領域に圧縮応
力が作用する場合は引張応力が作用し前記第1の領域に引張応力が作用する場合は圧縮応
力が作用する関係にある第2の領域と、を有し、第1の面内で屈曲振動する屈曲振動体と
、
前記第1の領域と前記第2の領域の間に、前記屈曲振動体よりも高い熱伝導率を有する
材料からなり前記第1の領域と前記第2の領域とを熱的に接続する熱伝導路と、を有する
屈曲振動片であって、
前記熱伝導路の数をm、前記熱伝導路の熱抵抗率をρth、前記屈曲振動体の熱抵抗率を
ρV、前記屈曲振動体の前記第1の面と直交する方向の厚みをtv、前記熱伝導路の厚みを
tthとしたときに、tth≧(1/m)×tv×(ρth/ρv)の関係を満たすことを特徴と
する屈曲振動片。 - 請求項1に記載の屈曲振動片において、
前記熱伝導路は屈曲振動片の外面に形成されることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1または2に記載の屈曲振動片において、
前記屈曲振動体の機械的な振動周波数をfr、前記屈曲振動片の熱緩和周波数をf20、
円周率をπ、前記屈曲振動体に用いた材料の振動方向の熱伝導率をk、前記屈曲振動体に
用いた材料の質量密度をρ、前記屈曲振動体に用いた材料の熱容量をCp、前記屈曲振動
体の振動方向の幅をaとし、f0=πk/(2ρCpa2)としたとき、1>fr/(f0+
(f20−f0)/3)の関係を満たすことを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1または2に記載の屈曲振動片において、
前記屈曲振動体の機械的な振動周波数をfr、円周率をπ、前記屈曲振動体に用いた材
料の振動方向の熱伝導率をk、前記屈曲振動体に用いた材料の質量密度をρ、前記屈曲振
動体に用いた材料の熱容量をCp、前記屈曲振動体の振動方向の幅をaとし、f0=πk/
(2ρCpa2)としたとき、1≧fr/f0であることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の屈曲振動片において、
前記熱伝導路が屈曲振動体に形成された励振電極の一部からなることを特徴とする屈曲
振動片。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の屈曲振動片において、
前記熱伝導路が不導体材料からなることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の屈曲振動片と、
該屈曲振動片を駆動させる発振回路とを少なくとも備えることを特徴とする発振器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010002669A JP2010252302A (ja) | 2009-03-25 | 2010-01-08 | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
US12/729,759 US8362854B2 (en) | 2009-03-25 | 2010-03-23 | Flexural vibration piece and oscillator using the same |
CN2010101483190A CN101847978B (zh) | 2009-03-25 | 2010-03-25 | 弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009073739 | 2009-03-25 | ||
JP2010002669A JP2010252302A (ja) | 2009-03-25 | 2010-01-08 | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010252302A true JP2010252302A (ja) | 2010-11-04 |
JP2010252302A5 JP2010252302A5 (ja) | 2013-02-14 |
Family
ID=42772462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010002669A Withdrawn JP2010252302A (ja) | 2009-03-25 | 2010-01-08 | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8362854B2 (ja) |
JP (1) | JP2010252302A (ja) |
CN (1) | CN101847978B (ja) |
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---|---|
CN101847978A (zh) | 2010-09-29 |
US20100244989A1 (en) | 2010-09-30 |
US8362854B2 (en) | 2013-01-29 |
CN101847978B (zh) | 2013-09-04 |
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Legal Events
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A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
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