JP3767303B2

JP3767303B2 - 角速度検出装置

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Publication number: JP3767303B2
Application number: JP2000044688A
Authority: JP
Inventors: 司舩坂; 文孝北村
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2000-02-22
Filing date: 2000-02-22
Publication date: 2006-04-19
Anticipated expiration: 2020-02-22
Also published as: JP2001235331A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、角速度検出装置の改良、特に、角速度検出装置における圧電振動子の腕部の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は従来の角速度検出装置（２脚ジャイロ又は角速度センサ）の一例を示す模式図であり、図７を参照して角速度検出装置１について説明する。
【０００３】
図７の角速度検出装置１はベース基板１ａに圧電振動子２が取り付けられた構造を有しており、圧電振動子２は基部３、２つの腕部４、５、駆動電極６Ａ、６Ｂ、グランド電極７Ａ、７Ｂ、検出電極８等を有している。
【０００４】
図８は図７における腕部のＡ−Ａ断面を示す断面図であり、図８を参照して腕部４、５の電極構造について説明する。腕部４は振動を検出するためのものであって、グランド電極７Ａ及び検出電極８が形成されている。検出電極８は腕部４の第３の面４ｃに形成されており、図７における基部３の外部電極に接続されている。グランド電極７Ａは、腕部４Ａにおける第１の面４ａ、第２の面４ｂ及び第４の面４ｄにわたって形成されている。
【０００５】
図８の腕部５は、駆動電源によって腕部４、５を振動させるものであって、駆動電極６Ａ、６Ｂ及びグランド電極７Ｂが形成されている。駆動電極６Ａは腕部５における第３の面５ｃの一部に形成されていて、駆動電極６Ｂは第４の面５ｄの一部に形成されている。グランド電極７Ｂは第１の面５ａから第３の面５ｃ及び第４の面５ｄの一部にかけて形成されている。また、グランド電極７Ｂは腕部４のグランド電極７Ａと電気的に接続されている。
【０００６】
次に、図７と図８を参照して従来の角速度検出装置の動作例について説明する。まず、図７の駆動電極６Ａ、６Ｂに駆動電圧が供給されると、圧電効果により腕部５が矢印α方向に振動する。この振動は腕部５から基部３を介して腕部４に伝達される。そして、圧電振動子２が軸ＣＬを中心に矢印θ方向に回転すると、腕部４、５にコリオリ力が矢印γ方向に生じる。そして、コリオリ力により検出電極８とグランド電極７Ａの間に生じる起電力を検出電圧として出力することにより、圧電振動子２の角速度を検出する。すなわち、検出電圧の大きさによってコリオリ力の大きさが検出され、コリオリ力の大きさにより角速度が検出される。
【０００７】
図７に示す角速度検出装置１においては、腕部５が振動して腕部４がコリオリ力による角速度を検出する構造を有している。このように一方の腕部５のみで駆動した場合、検出側の腕部４にノイズが乗りにくいという利点を有している。しかし、腕部４は腕部５の振動を拾って振動するため、腕部４の振動の立ち上がり時間が腕部５の立ち上がり時間に比べて遅くなってしまう。また、腕部４と腕部５の電極パターンが異なるため、腕部４、５の共振周波数が圧電効果により若干異なってしまう。具体的には、電界を印加された腕部５は見かけ上柔らかくなり、腕部４の共振周波数よりも低くなってしまう。従って、腕部４によって検出された角速度に誤差が生じやすいという問題がある。
【０００８】
そこで、圧電振動子の２つの腕部にそれぞれ駆動電極と検出電極が形成された角速度検出装置が提案されている。図９は角速度検出装置における圧電振動子の別の一例を示す断面図であり、図９を参照して圧電振動子２００について説明する。
【０００９】
図９の圧電振動子２００の腕部２０１、２０２にはそれぞれ駆動電極２１０と検出電極２２０が形成されている。駆動電極２１０は、腕部２０１、２０２の第１の面２０１ａ、２０２ａ及び第２の面２０１ｂ、２０２ｂにそれぞれ形成されている。一方、検出電極２２０は、腕部２０１、２０２の第３の面２０１ｃ、２０２ｃ及び第４の面２０１ｄ、２０２ｄにそれぞれ２つずつ形成されている。
【００１０】
図９の圧電振動子２００において、駆動電極２１０に駆動電圧が印加されて腕部２０１、２０２が矢印α方向に振動する。そして、圧電振動子２００が矢印θ方向に回転すると、コリオリ力によって腕部２０１、２０２が矢印γ方向に振動する。コリオリ力の振動により発生する起電力が検出電極２２０から検出されて角速度の検出が行われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
図９の圧電振動子２００において、腕部２０１、２０２にそれぞれ駆動電極２１０と検出電極２２０を形成することによって、腕部２０１、２０２の双方で駆動及び検出を行うこととなる。これにより、駆動振動及び検出振動が安定して立ち上がり時間も早くすることができる。
【００１２】
しかし、圧電振動子２００において、駆動電極２１０と検出電極２２０は近接した構造を有している。従って、角速度検出装置の小型化の要請に伴い圧電振動子２００を小さくした場合、駆動電極２１０と検出電極２２０の間で電界が漏れてしまうという問題がある。具体的には、圧電振動子２００が小さくなると腕部２０１、２０２に形成された駆動電極２１０及び検出電極２２０の間隔も小さくなる。そして、駆動電極２１０から出力される電界が検出電極２２０に影響を及ぼしてしまい、検出電極２２０から検出される検出電圧にノイズが含まれてしまうという問題がある。
【００１３】
そこで本発明は上記課題を解消し、圧電振動子の腕部に溝を設けることによって、検出した角速度の精度を向上させることができる角速度検出装置を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の角速度検出装置は、ほぼ同一形状に形成された複数の腕部を有する圧電振動子と、前記圧電振動子を保持するためのベースとを有する角速度検出装置において、
前記圧電振動子は、前記複数の腕部が対向する対向面と、前記対向面と、前記各腕部において対向する外側面と、前記対向面とほぼ垂直な方向であって、前記複数の腕部が延出する方向にほぼ平行な主面と、を有し、前記外側面に駆動電極が形成され、前記主面に検出電極が形成され、前記主面には、前記駆動電極と前記検出電極の間に溝が形成されるとともに、前記溝にはグランド電極を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、溝を設けることによって駆動電極と検出電極の間に生じる電界の漏れを防止することができる。さらに、溝内にグランド電極を形成することによって、駆動電極から出力される電界は、グランド電極との間でのみ電界を形成するようになり、検出電極へ漏れる電界が低減される。これにより、検出電極により検出される検出電圧に含まれるノイズを低減することができる。
【００１６】
本発明の角速度検出装置では、前記グランド電極は、前記主面の少なくとも一部にまで形成されていることが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、グランド電極は溝から第１の主面の少なくとも一部にかけて形成されている。従って、グランド電極により検出電極及び駆動電極に対するシールド効果が得られるようになり、角速度の検出を感度良く行うことができる。
【００１８】
本発明の角速度検出装置では、前記検出電極は、複数形成されていて、前記対向面の少なくとも一部にまで形成されていることが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、検出電極を複数に分けることによって、検出電極を検出電極とした場合、検出した信号の不要成分をキャンセルすることができ、ノイズの低減を図ることができる。
【００２０】
本発明の角速度検出装置では、前記駆動電極は、前記主面の少なくとも一部にまで形成されていることが望ましい。
【００２１】
請求項４の構成によれば、第１の電極は、複数の電極パターンからなっており、それぞれ第１の面からこれに垂直な面にわたって形成されている。このように第１の電極を複数に分けることによって、第１の電極を検出電極とした場合、検出した信号の不要成分をキャンセルすることができ、ノイズの低減を図ることができる。
【００２２】
本発明の角速度検出装置では、前記腕部における幅と厚さは、ほぼ等しくなるように形成されてなることが望ましい。
【００２３】
この構成によれば、腕部の幅と厚さは、ほぼ等しくなるように形成されているので、腕部の幅方向の振動と厚さ方向の振動における共振周波数がほぼ一致することになる。これにより、駆動側と検出側の周波数が結合し、感度の良い角速度検出装置を提供することができる。
【００２４】
本発明の角速度検出装置では、前記溝は、略矩形状に形成されてなることが望ましい。
【００２５】
この構成によれば、溝は略矩形状に形成されているため、たとえば異方性エッチング等の製造方法により容易に製造することができる。
【００２６】
本発明の角速度検出装置では、前記溝は、略Ｖ字状に形成されてなることが望ましい。
【００２７】
この構成によれば、溝は略Ｖ字状に形成されているため、たとえばダイシングソーのような機械加工によって容易に製造することができる。
【００２８】
本発明の角速度検出装置では、前記溝は、貫通孔を形成してなることが望ましい。
【００２９】
この構成によれば、貫通孔を形成することによって、同電位での腕部の変化量が大きくなるため、駆動電極側の変形量も大きくなるとともに第２の電極の結合度合いも高まり、ノイズの弁別が良くなる。
【００３０】
本発明の角速度検出装置では、前記溝は、前記腕部の根本付近に少なくとも形成されてなることが望ましい。
【００３１】
この構成によれば、溝は腕部と基部の根本付近、すなわち腕部の接合部付近に形成されている。ここで、腕部の根本付近は駆動振動の歪み及び検出振動の歪みが最大となる。このため、溝が腕部と基部の根本付近に形成されることによって、検出電極と駆動電極の間に生じる電界の漏れを防止することができる。これにより、検出電極と駆動電極の結合係数を大きくして感度の向上とノイズの低減を図ることができる。
【００３２】
本発明の角速度検出装置では、前記材料は水晶の回転Ｚ板からなることが望ましい。
【００３３】
この構成によれば、圧電振動子は水晶からなっているので、温度特性が向上するとともに、エッチング等の行程を容易に行うことができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００３９】
図１は本発明の角速度検出装置の好ましい実施の形態を示す概略斜視図であり、図１を参照して角速度検出装置１０について説明する。図１の角速度検出装置１０は、筐体１１、ベース１２、リード１３、圧電振動子２０等を有している。圧電振動子２０は筐体１１内に配置されており、ベース１２により保持されている。また圧電振動子２０は、筐体１１とベース１２により真空封止されている。圧電振動子２０にはリード１３が電気的に接続されていて、リード１３は後述する駆動電極２４に駆動電圧を供給するとともに、検出電極２５により検出された検出電圧を外部に出力するものである。
【００４０】
図２は本発明の角速度検出装置における圧電振動子の好ましい実施の形態を示す平面図であり、図２を参照して圧電振動子２０について説明する。なお、図２（Ａ）は、圧電振動子２０における主面の一方である第1の主面２０ｃの平面図（図１における紙面表面）であり、図２（Ｂ）は圧電振動子２０における主面のもう一方である第2の主面２０ｄの平面図（図１における紙面裏面）である。
【００４１】
図２の圧電振動子２０は、基部２１、２つの腕部２２、２３、駆動電極２４、検出電極２５、グランド電極２６、溝２７等から構成されている。この圧電振動子２０は、たとえば水晶の回転Ｚ板からなっていて、分極方向は矢印Ｘ方向になるように形成されている。圧電振動子２０の材料として水晶を用いることによって、圧電振動子２０の温度特性を向上させるとともに、エッチングや機械加工等の形状加工を容易に行うことができる。
【００４２】
基部２１には同一の形状を有する２つの腕部２２、２３が形成されており、図３の腕部２２、２３の幅Ｗと厚さＤはほぼ同一になるように形成されている（Ｗ＝Ｄ）。すなわち、腕部２２、２３の断面形状はほぼ正方形状になっている。これにより、矢印Ｘ方向に振動する際の共振周波数（駆動振動）とＹ方向に振動する際の共振周波数（検出振動）をほぼ同一にすることができる。このため、駆動側と検出側の周波数が結合して、感度の向上を図ることができる。
【００４３】
基部２１から腕部２２、２３の長手方向（矢印Ｚ方向）に向かって、駆動電極２４、検出電極２５、グランド電極２６、溝２７が形成されている。また、腕部２２、２３に形成されている電極パターンは、ＹＺ平面に対してほぼ対称になるように形成されている。基部２１には貫通穴３１、リード線を取り出すための電極パッド３２、３３、３４、３５が形成されている。電極パッド３２、３３は、駆動電極２４とそれぞれ電気的に接続されているとともに、発振回路４０と接続されている。一方、電極パッド３４、３５は検出電極２５とそれぞれ電気的に接続されているとともに、検出回路４１と接続されている。
【００４４】
図３は図２の圧電振動子２０におけるＡ−Ａ断面を示す断面図であり、図２と図３を参照して駆動電極２４について説明する。図２の駆動電極２４は外側面２２ｂ、２３ｂから第１の主面２２ｃ、２３ｃ及び第２の主面２２ｄ、２３ｄの一部にかけて形成されている。ここで、第１の主面２２ｃ、２３ｃは、面２０ｃと同一平面であり、第２の主面２２ｄ、２３ｄは、面２０ｄと同一平面である。駆動電極２４は、ＹＺ平面に対してほぼ対称になるように腕部２２、２３に形成されている。駆動電極２４はグランド電極２６との間に電界を発生させることにより、圧電効果を利用して腕部２２、２３を矢印Ｘ方向に振動させるものである。
【００４５】
次に、図２と図３を参照して検出電極２５について説明する。検出電極２５は、コリオリ力により腕部２２、２３が矢印Ｙ方向に振動したとき、圧電効果によりに生じる起電力を検出電圧として出力するものである。図３の検出電極２５はたとえば第１電極２５ａ、第２電極２５ｂからなっていて、第１電極２５ａは腕部２２、２３が対向する面、すなわちの対向面２２ａ、２３ａから第１の主面２２ｃ、２３ｃにかけてそれぞれ形成されている。一方、第２電極２５ｂは腕部２２、２３が対向する面、すなわち対向面２２ａ、２３ａから第２の主面２２ｄ、２３ｄにかけてそれぞれ形成されている。
【００４６】
このように、検出電極２５を第１電極２５ａ、第２電極２５ｂの２つの電極パターンで構成することによって、検出電極２５での検出信号に含まれる不要成分をキャンセルすることができ、ノイズの低減を図ることができる。
【００４７】
次に、図２と図３を参照してグランド電極２６及び溝２７についてそれぞれ説明する。図３の溝２７は、腕部２２、２３において対向面２２ａ、２３ａに対してほぼ垂直な面である第１の主面２２ｃ、２３ｃ及び第２の主面２２ｄ、２３ｄにぞれぞれ形成されている。この溝２７は図２に示すように腕部２２、２３の根本付近から矢印Ｚ方向に向かって形成されている。ここで、腕部２２、２３の根本付近は駆動振動の歪み及び検出振動の歪みが最大となる。このため、溝２７が腕部２２、２３の根本付近に形成されることによって、駆動電極２４と検出電極２５の間に生じる電界の漏れを効率よく防止することができる。
【００４８】
また、溝２７の内側から第１の主面２２ｃ、２３ｃ及び第２の主面２２ｄ、２３ｄの一部にかけてグランド電極２６が形成されている。グランド電極２６は、駆動電極２４との間で電界を発生させるものであって、これにより腕部２２、２３が音叉振動するようになる。また、グランド電極２６は、検出電極２５との間においてもコリオリ力により電界を発生させて、検出電圧を出力させるものである。
【００４９】
溝２７はたとえばほぼ矩形状もしくはほぼＶ字状に形成されている。このとき、溝２７をほぼ矩形状に形成する際には異方性エッチング等により容易に形成することができる。一方、溝２７をほぼＶ字状に形成する際にはダイシングソー等による機械加工で容易に形成することができる。この溝２７は駆動電極２４から出力された電界が検出電極２５へ漏れるのを防止するものである。これにより、駆動電極２４により生じる振動の振幅を増大させ駆動振動を効率よく発生させることができるとともに、検出電極２５との結合係数を大きくすることができる。従って、検出電極２５から検出される検出電圧に含まれるノイズが低減させるものである。
【００５０】
また、この溝２７内にグランド電極２６を形成することによって、駆動電極２４から出力される電界は、グランド電極２６との間でのみ電界を形成するようになり、検出電極２５へ漏れる電界が低減される。これにより、検出電極２５により検出される検出電圧に含まれるノイズが低減されることとなる。
【００５１】
さらに、図３の腕部２２、２３のそれぞれにおいて、駆動電極２４、検出電極２５、グランド電極２６及び溝２７は、ＸＺ平面及びＹＺ平面に対してほぼ対称になるように形成されている。すなわち、腕部２２、２３は、ほぼ上下左右対称になるように形成されている。これにより、矢印Ｘ方向の駆動振動と矢印Ｙ方向の検出振動の不要成分を少なくすることができ、ノイズの低減を図ることができる。
【００５２】
次に、図１乃至図３を参照して角速度検出装置１０の動作例について詳しく説明する。まず、図３の駆動電極２４の振動対の共振周波数に近い周波数を供給すると、圧電効果により腕部２２、２３が音叉振動を開始する。このとき、腕部２２、２３の振動周波数（共振周波数）は図２の腕部２２、２３の長さＬ及び幅Ｗによって決定する。
【００５３】
そして、図１の圧電振動子２０が軸ＣＬを中心に矢印θ方向に回転すると、矢印Ｙ方向にコリオリ力が働く。具体的には、たとえば圧電振動子２０の音叉が開く運動をしている際には、矢印θ１方向の回転が加えられると、腕部２２は矢印Ｙ１方向にゆがみ、腕部２３は矢印Ｙ２方向にゆがむ。その後、音叉が閉じる運動をしている際には、腕部２２、２３はそれぞれ矢印Ｙ２方向及び矢印Ｙ１方向に戻ろうとする。これにより、腕部２２、２３は矢印Ｙ方向に振動し始める。この振動により発生する検出信号が検出電極２５から図２の電極パッド３４、３５を介して差動アンプにノイズ成分を除去され増幅される。その後、増幅された検出信号は検出回路４１により角速度に換算される。
【００５４】
このとき、腕部２２、２３にはそれぞれ溝２７が形成されているため、駆動電極２４から検出電極２５への電界の漏れが低減され、検出電圧に含まれるノイズ成分を低減させることができる。また、図４は溝を形成しない場合と溝を形成した場合の回転速度ωと感度の関係を示すグラフ図であるが、図４において、回転速度ωが速くなるほど、溝２７を設けた角度検出装置１０の感度が従来例に比べて高くなっていることがわかる。
【００５５】
さらに、図５は溝２７の深さと感度及びノイズとの関係を示すグラフ図であるが、図５において、溝２７の深さが深くなるほど感度が上がっているのがわかる。一方、溝２７の深さがふかくなるほどノイズが低減されていることがわかる。従って、溝２７の深さは深ければ深いほどよく、また第１の主面２２ｃ、２３ｃの溝２７と第２の主面２２ｄ、２３ｄの溝２７が貫通していてもよい。溝２７が深くなるということは、同電位での腕部２２、２３の変化量が大きくなるということであり、それに伴って、検出側の変形量も大きくなり、かつ検出電極２５の結合度合いも高まるため、ノイズとの弁別が良くなる。
【００５６】
図６は本発明の角度検出装置における圧電振動子の別の実施の形態を示す断面図であり、図６を参照して圧電振動子７０、１２０、２２０について説明する。なお、図３の圧電振動子２０と同一の構成を有する部位には同一の符号を付してその説明を省略する。また、図６において、腕部２３のみ言及することとし、腕部２２は腕部２３とＹＺ平面で対称になるように電極パターンが形成されているものとする。
【００５７】
図６の圧電振動子７０において、検出電極７５は、腕部２３の第１の主面２３ｃ及び第２の主面２３ｄにのみ形成されていて、対向面２３ａには形成されていない。このように、腕部２３の平面部に当たる第１の主面２３ｃ及び第２の主面２３ｄにのみ検出電極７５が形成されるだけで、腕部２３の内側に当たる第１の面２３ａに電極パターンを形成する必要がなくなる。このため、フォトリソグラフィー行程が簡便になり、効率よく角速度検出装置１０を製造することができる。
【００６０】
上記実施の形態において、腕部２２、２３の第３の面２２ｃ、２３ｃ及び第４の面２２ｄ、２３ｄにそれぞれ溝２７を形成することによって、検出電極２５により検出される検出電圧のノイズが低減され、検出精度の向上を図ることができる。また、２つの腕部２２、２３の双方で駆動し検出するため、駆動の立ち上がり時間を短縮することができるとともに、２つの腕部２２、２３の共振周波数をほぼ同一にすることができる。
【００６１】
さらに、腕部２２、２３の幅Ｗと厚さＤをそれぞれほぼ同一の大きさにして、腕部２２、２３の断面形状をほぼ正方形とすることにより、腕部２２、２３の駆動電圧による共振周波数と、コリオリ力による共振周波数をほぼ同一にすることができる。これにより、出力される検出電圧を最大にして効率よく角速度を検出することができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、溝を設けることによって駆動電極と検出電極の間に生じる電界の漏れを防止することができる。さらに、溝内にグランド電極を形成することによって、駆動電極から出力される電界は、グランド電極との間でのみ電界を形成するようになり、検出電極へ漏れる電界が低減される。これにより、検出電極により検出される検出電圧に含まれるノイズを低減することができる。その結果、検出した角速度の精度を向上させることができる角速度検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の角度検出装置の好ましい実施の形態を示す概略斜視図。
【図２】本発明の角度検出装置における圧電振動子の好ましい実施の形態を示す平面図。
【図３】図２の圧電振動子においけるＡ−Ａ断面を示す断面図。
【図４】本発明の角度検出装置を用いた場合の角速度と感度の関係の一例を示すグラフ図。
【図５】本発明の角度検出装置を用いた場合の溝の深さとノイズ及び感度の関係の一例を示すグラフ図。
【図６】本発明の角度検出装置の別の実施の形態を示す断面図。
【図７】従来の角速度検出装置の一例を示す模式図。
【図８】図７の角度検出装置における腕部の一例を示す断面図。
【図９】従来の角速度検出装置の別の一例を示す断面図。
【符号の説明】
１０・・・角速度検出装置
１１・・・筐体
１２・・・ベース
１３・・・リード
２０、７０、１２０、２２０・・・圧電振動子
２１・・・基部
２２、２３・・・腕部
２２ａ、２３ａ・・・対向面
２２ｂ、２３ｂ・・・外側面
２２ｃ、２３ｃ・・・第１の主面
２２ｄ、２３ｄ・・・第２の主面
２４、１２４、２２４・・・駆動電極
２５、１２５、２２５・・・検出電極
２６・・・グランド電極
２７・・・溝
Ｄ・・・腕部の厚さ
Ｗ・・・腕部の幅

Claims

ほぼ同一形状に形成された複数の腕部を有する圧電振動子と、前記圧電振動子を保持するためのベースとを有する角速度検出装置において、
前記圧電振動子は、
前記複数の腕部が対向する対向面と、
前記対向面と、前記各腕部において対向する外側面と、
前記対向面とほぼ垂直な方向であって、前記複数の腕部が延出する方向にほぼ平行な主面と、を有し、
前記外側面に駆動電極が形成され、
前記主面に検出電極が形成され、
前記主面には、前記駆動電極と前記検出電極の間に溝が形成されるとともに、前記溝にはグランド電極
を有することを特徴とする角速度検出装置。
前記グランド電極は、前記主面の少なくとも一部にまで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の角速度検出装置。
前記検出電極は、複数形成されていて、前記対向面の少なくとも一部にまで形成されていることを特徴とする請求項１から請求項２のいずれかに記載の角速度検出装置。
前記駆動電極は、前記主面の少なくとも一部にまで形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の角速度検出装置。
前記腕部における幅と厚さは、ほぼ等しくなるように形成されてなることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の角速度検出装置。
前記溝は、略矩形状に形成されてなることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の角速度検出装置。
前記溝は、略Ｖ字状に形成されてなることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の角速度検出装置。
前記溝は、貫通孔を形成してなることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の角速度検出装置。
前記溝は、前記腕部の根本付近に少なくとも形成されてなる請求項１から請求項８のいずれかに記載の角速度検出装置。
前記材料は水晶の回転Ｚ板からなる請求項１から請求項９のいずれかに記載の角速度検出装置。