JP4693116B2 - 角速度測定用トランスデューサ - Google Patents

Description

本発明は、角速度測定用トランスデューサに関する。

本発明は、一般的に、回転する単一のピエゾ電子同調フォークにより形成された角速度測定用トランスデューサに関する。この同調フォークはベースを有し、このベースから励起レグと検出レグが延びている。さらに、本発明は、検出レグ上に配置された検出電極の形成に関する。

従来技術から、特に特許文献１から、ベースを有する単一の同調フォークにより形成されたジャイロメータ（gyrometer）は公知である。このベースには、励起電極が形成される第１レグと検出電極が形成される第２レグとが延びる。

ヨーロッパ特許第０７５０１７７号明細書

図１は、ジャイロメータで使用されるこの種の同調フォーク１の一例を示す。図１ａの軸方向断面に示された同調フォーク１は、２個のレグ３、４が取り付けられたベース２を有する。この組立体は、ピエゾ電子水晶材料製である。図１ｂの横方向断面に示すように、各レグ３、４は、電極を有する。励起レグ３は、第１励起電極対５ａ、５ｂと第２励起電極対６ａ、６ｂとを有する。第１励起電極対５ａ、５ｂは互いに接続され、交番電気信号が図１ａの面に対応する面で、同調フォークの共振周波数で加えられる。一方、第２励起電極対６ａ、６ｂも互いに接続され、交番電気信号が第１励起電極対５ａ、５ｂに加えられるのとは逆の位相で加えられる。この交番電気信号を加えることにより励起し、同調フォーク１のレグ３と４が矢印９で示された第１面で機械的に振動する。検出レグ４は、互いに接続された第１検出電極対７ａ、７ｂと、互いに接続された第２検出電極対８ａ、８ｂとを有する。これらの対は、励起レグ３の機械的振動を電気信号に変換し、この電気信号は、前記電極が接続された検出回路で検出される。

同調フォークのジャイロメータ理論によれば、励起信号は第１励起電極対５ａ−５ｂ、第２励起電極対６ａ−６ｂに加えられる。同調フォーク１が長手軸１０の周囲で回転運動することにより、励起されたレグの移動方向と長手軸１０に対し、直交する方向にコリオリ（Corioli）の力を生成する。その結果、励起振動面に直交する面で検出レグ４の振動が、矢印１１で示すように行われる。この機械的振動は、同調フォーク１のピエゾ電子水晶体により電気信号に変換され、この電気信号を同調フォークの第１検出電極対７ａ−７ｂ、第２検出電極対８ａ−８ｂが検出する。

この検出電極構成における主な問題点の１つは、電極の電気パスが２つの検出電極の間で検出され、逆の電気信号がそこに加わり、直線状ではなくなる。従って、電界ラインの損失量は無視できない。従って、この検出構成／方法は最適ではない。

理論的に興味深い解決方法は、２つの第１検出電極対７ａ−７ｂ、第２検出電極対８ａ−８ｂを図１ｃに示すよう形成することである。しかし、この解決方法も欠点があり、製造方法が複雑となり、制御が難しくなることである。実際に、同調フォークの側面の電極は、「電極堆積」により構成され、これは、側面の全体厚にわたって行うことが必要である。かくして、電極堆積部分を２つの部分に分けて、所望の別個の電極７ｂ、８ｂを得ることは非常に困難である。さらに、この種のジャイロメータは、連続して形成され、すなわち互いに横に並んで形成される。かくして、同調フォークの外部横表面上の形成された電極堆積領域を別個の電極７ａ、８ａに分離することは非常に難しい。
さらにまた、さまざまな前記した解決方法は、さらなる欠点がある。すなわち、同調フォークが大きすぎることであり、基板上に乗るジャイロメータのアプリケーションでは出来るだけ小型の方が好ましい。

本発明の目的は、前記の欠点を解決することであり、本発明の角速度測定用のトランスデューサは、ピエゾ電子材料製の共振器の形態で形成され、この共振器は検出電極構造を有する同調フォークを有し、検出レグに形成された電界の最適な測定を可能とし、且つ製造方法が比較的単純である。

かくして、本発明の範囲内において、検出電極は、一方でその製造方法が単純となり、他方で検出レグで検出された電界ラインが、検出レグを通り、対向する電極の間をほぼ直線状の電気パスに沿って伝搬するよう構成される。

このために、突起部が、同調フォークの検出レグの横表面に具備され、その結果、上部表面に配置された検出電極は、レグの底部表面上に配列された検出電極と容易に分離できる。

かくして、本発明は角速度測定用トランスデューサに関する。本発明は請求項１に記載のとうりである。

機械的分離手段が同調フォークのベースに具備され、さらに同調フォークを小型化している。

図２ａ、２ｂに示した本発明の第１実施例によれば、本発明の角速度測定装置は、回転する１個のピエゾ電子材料（従来は水晶）製の同調フォーク２１により形成されるトランスデューサを有する。この同調フォーク２１は、ベース２２により形成され、このベース２２から２本の平行な励起レグ２３と検出レグ２４が延び、それらはスロットにより分離されている。これらのレグは、それぞれ反対極性の電極を形成する導電性堆積部分を具備し、レグ内の交番電界を生成／検出する。交番電界は、ピエゾ電子材料の変形により同調フォークの振動を引き起こし、その逆も行われる。

励起手段２５、２６は、２本のレグの内の一方のレグ（励起レグ２３と称する）の上に配置され、励起信号に応答して所定の周波数で、好ましくはＸ−Ｙ面である第１方向で、同調フォークの共振周波数で、トランスデューサの振動を生成する。図２ｂに示した実施例によれば、励起レグ２３は、２つの上部横表面３１−３２と、底部横表面３５−３６とを有し、これらの横表面は、突起部３９−４０で分離されている。この突起部は、上部横表面と底部横表面からＸ軸に沿って伸びる。第１実施例によれば、励起手段は、第１励起電極対２５ａ、２５ｂ（すなわち励起レグの上部表面３１−３２と底部表面３５−３５にそれぞれ配置される）と、第２励起電極対２６ａ、２６ｂ（すなわち励起レグの２つの側部表面の一方と他方の上の全厚方向ににわたってそれぞれ配置される側面方向電極）とを有する。

これらの電極は、電気的に次ぎのように接続される。すなわち、従来通り、中央電極である第１励起電極対２５ａ、２５ｂは、励起ソースの一方の極に接続され、側面電極である第２励起電極対２６ａ、２６ｂは、励起ソースの反対（逆）極に接続される。これらの接続は、同調フォークそのものの上に堆積された導電性パスにより行われる。励起ソースは、図２ａでは発振器４３の形態で示されている。動作中においては、共振器の振動は、レグ２３、２４の面の横方向交番電界に起因して、同調フォークの励起レグ２３を曲げることにより維持される。

検出手段２７、２８は、同調フォークの検出レグ２４上に具備され、トランスデューサの第２振動に応答して、電気検出信号を生成する。この第２振動は、第１振動と長手軸１０の周囲の回転により発生し、同一の所定の周波数を有し、第１方向と直交する第２方向に振動する。この第２振動は、その振幅が角速度を表す有効な成分を有する。

前述した同調フォークを有するジャイロメータは、受信器である検出器４４として示す適宜の測定装置を有する。これに関しては、その構造は、トランデューサの角速度が測定することに依存して変わる。この測定装置は、電気検出信号から角速度を表す測定信号を生成する。

図２ｂに示す実施例よれば、検出レグ２４は、上部横表面３３−３４と底部横表面３７−３８とを有する断面部分を有する。これらの上部表面と底部表面は、突起部４１−４２により上部表面と底部表面に対し、Ｘ軸に沿って分離される。

検出手段は、互いに対向して配置される第１検出電極２７ａと第２検出電極２８ａを有する。第１検出電極２７ａは、上部横表面３３の上に配置され、第２検出電極２８ａは、上部横表面３４に配置される。かくして、２つの電極（第１検出電極２７ａと第２検出電極２８ａ）の間の電気パスは、検出レグ２４を通してほぼ直線状である。検出手段は、また、互いに向かい合って形成された第３検出電極２７ｂと第４検出電極２８ｂとを有する。第３検出電極２７ｂは底部横表面に３７に形成され、第４検出電極２８ｂは底部横表面３８上に形成される。かくして、２個の電極（第３検出電極２７ｂ、第４検出電極２８ｂ）の間の電気パスは、検出レグ２４を通って直線状となる。第１検出電極２７ａと第３検出電極２７ｂは、検出器４２の第１極に接続され、第２検出電極２８ａと第４検出電極２８ｂは、第１極とは逆の第２極に結合される。かくして、検出レグにより生成された電界の検出は最適化され、一方、特許文献１に開示されたものと類似の電極堆積方法をで形成可能である。

小型化をするために、機械的分離手段４５が、同調フォークのベースをジャイロメータに固定する固定部分４６と、振動レグ２３、２４の間に具備される。これらの機械的分離手段は、第１実施例によれば、ベースの上部部分に形成されたノッチ４５により具備される。第２変形例（図示せず）よれば、これらの機械的分離手段は、ベース２２の上部中央部分に形成された孔により形成される。前述の変形例の組み合わせも可能である。

図２ｃ、３ａ、３ｂにおいては、発振器４３と検出器４４は、図面を単純化するために図示していない。

図２ｃは、図２ａ、２ｂの同調フォークの変形例を示す。この変形例は、励起レグ２３上の励起電極の配列の点で第１実施例と異なっている。

この変形例によれば、励起手段は、第１励起電極対２５ａ、２５ｂと第２励起電極対２６ａ、２６ｂとを有する。この第１励起電極対２５ａ、２５ｂは、上部横表面３１−３２と下部横表面３５−３６をカバーせずに、励起レグの上部表面と底部表面上にそれぞれ配置される。第２励起電極対２６ａ−２６ｂは、励起レグのそれぞれの突起部３９−４０の全厚さ方向に配列され、同時に少なくとも上部横表面３１と底部横表面３５、上部横表面３２と底部横表面３６のそれぞれを部分的にカバーする。

図３ａは、本発明の第２実施例のジャイロメータの同調フォークの横方向断面である。励起レグ２３と検出レグ２４は、それぞれ、２個の上部横表面３１−３２と３３−３４と、２個の底部横表面３５−３６と３７−３８とを有する。この上部表面と底部表面は、上部横表面と底部横表面に対し、Ｘ軸に沿ってそれぞれ突起した突起部３９−４０と４１−４２により分離されている。２本のレグのそれぞれは、上部表面４７、４８と底部表面４９、５０とをそれぞれＸ、Ｙ面に有する。

図３ａに示した実施例においては、励起レグ２３は、上部表面４７の上にエッチングで形成された２個の溝５１−５２と底部表面４９の上にエッチングで形成された２個の溝５３−５４とを有する。別の構成として、上部表面と底部表面のそれぞれに、１個の溝のみを具備することも可能である（図３ｂ）。

励起手段は、溝５１−５２をカバーするように、上部表面４７上に配置された第１励起電極２５ａと、溝５３−５４をカバーするように底部表面４９上に配置された第２励起電極２５ｂとを有する。励起手段は、第３励起電極２６ａと第４励起電極２６ｂとを有し、第１励起電極対２５ａ、２５ｂが接続されたのとは逆の電位に接続され、励起レグの突起部３９、４０の全体厚さ方向に配列され、且つ上部横表面３１、３２と底部横表面３５、３６を少なくとも部分的にカバーする。

同様に、検出レグ２４は、上部表面４８の上にエッチングで形成された２個の溝５５−５６と、底部表面５０の上にエッチングで形成された２個の溝５７−５８とを有する。各溝５５−５８は、横方向側面を有する。しかし、励起レグに関し、別の構成として、上部表面と底部表面のそれぞれに１個の溝のみを具備させることも可能である（図３ｂ）。両方の面に溝を具備することにより、対称的なレグ部分を形成し、その面の外側でのレグの変形を阻止する。溝が存在することにより、結晶の電気軸Ｘに沿った均一の電界の形成が可能である。

図３ａによれば、検出手段は、互いに向かい合って配列された第１検出電極対２７ａ−２８ａと、互いに向かい合って配列された第３検出電極対２７ｃ−２８ｃとを有する。電極２８ａは、上部横表面３３の上に配置され、他の電極２７ａは、溝５５の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ａ、２８ａの間の電界は、検出レグ２４を通り直線状となる。電極２７ｃは、上部横表面３４の上に配置され、他の電極２８ｃは、溝５６の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ｃ、２８ｃの間の電界は、検出レグ２４を通り直線状となる。対称的に、検出手段は、互いに向かい合って配列された第２検出電極対２７ｂ−２８ｂと、互いに向かい合って配列された第４検出電極対２７ｄ−２８ｄとを有する。電極２８ｂは、底部横表面３８の上に配置され、他の電極２７ｂは、溝５８の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ｂ、２８ｂの間の電界は、検出レグ２４を通り、直線状となる。電極２７ｄは、底部横表面３７上に配置され、他の電極２８ｄは、溝５７の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ｄ、２８ｄの間の電界は、検出レグ２４を通り直線状となる。

この第２実施例によれば、励起レグと検出レグの上部表面と底部表面のそれぞれの上に軸方向にエッチングされた溝５５−５８の深さは、レグの深さの２０％−４５％の間であり、好ましくは３０％台である。

レグの厚さ方向にエッチングされた溝内に電極を配置することにより、ピエゾ電子結合が増強される。等しい寸法では、この増加は同調フォークの等価傾向を減少させ、それに関連した発振器の電力消費を減少させる。その理由は、等しいＱ係数（quality factor）ではこの配置により共振器の寸法が小さくなるからである。

この第２実施例の変形例によれば、図３ｂに示すように、励起レグと検出レグは、上部表面と底部表面のそれぞれに１個の溝のみを有する。この場合、励起電極は、対応する溝を横方向でカバーする励起レグの上部表面と底部表面の上に配置される。検出手段は、互いに向かい合って配列された第１検出電極対２７ａ−２８ａと、互いに向かい合って配列された第３検出電極対２７ｃ−２８ｃとを有する。電極２８ａは、上部横表面３３の上に配置され、他の電極２７ａは、溝５９の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ａ、２８ａの間の電界は、検出レグ２４を通り直線状となる。電極２７ｃは、上部横表面３４の上に配置され、他の電極２８ｃは、溝５９の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ｃ、２８ｃの間の電界は、検出レグ２４を通り直線状となる。対称的に、検出手段は、互いに向かい合って配列された第２検出電極対２７ｂ−２８ｂと、互いに向かい合って配列された第４検出電極対２７ｄ−２８ｄとを有する。電極２８ｂは、底部横表面３８の上に配置され、他の電極２７ｂは、溝６０の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ｂ、２８ｂの間の電界は、検出レグ２４を通り直線状となる。電極２７ｄは、底部横表面３７の上に配置され、他の電極２８ｄは、溝６０の横方向面の一方の上に配列される。その結果、２つの電極２７ｄ、２８ｄの間の電界は、検出レグ２４を通り直線状となる。

図２ｂ、２ｃ、図３に示すように、ピエゾ電子材料製の同調フォークは水晶製であり、その上部表面と底部表面は、水晶の光学軸（ｚ）に直交し、レグは水晶の機械軸（ｙ）に沿って延びる。

本発明の変形例として、検出レグと励起レグを反転させ、励起レグを検出レグとして用いることもできる。あるいはその逆も可能である。また、機械的分離手段を、ここに述べた実施例のそれぞれに用いることが出来る。いわゆる交差した電極の同調フォーク、すなわち、一対の励起電極と検出電極が２本のレグの間で反転させることも可能であり、これも本発明の範囲に含まれる。

以上の説明は、本発明の一実施例に関するもので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。特許請求の範囲の構成要素の後に記載した括弧内の番号は、図面の部品番号に対応し、発明の容易なる理解の為に付したものであり、発明を限定的に解釈するために用いてはならない。また、同一番号でも明細書と特許請求の範囲の部品名は必ずしも同一ではない。これは上記した理由による。

従来技術に係るジャイロメータで使用される同調フォークの軸方向断面図。 図１ａの同調フォークの励起レグと検出レグの線Ｉ−Ｉで切った横方向断面図。 理論的に最適の検出電極を具備した同調フォークの励起レグと検出レグの横方向断面図。 本発明の第１実施例によるジャイロメータの同調フォークの軸方向断面図。 図２ａの同調フォークの励起レグと検出レグの線ＩＩ−ＩＩで切った横方向拡大断面図。 本発明の第１実施例の変形例による同調フォークの２本のレグの横方向拡大断面図。 本発明の第２実施例による同調フォークの励起レグと検出レグの横方向拡大断面図。 本発明の第２実施例の変形例の同調フォークの励起レグと検出レグの横方向拡大断面図。

１ 同調フォーク
２ ベース
３，４ レグ
３ 励起レグ
４ 検出レグ
５ａ、５ｂ 第１励起電極対
６ａ、６ｂ 第２励起電極対
７ａ、７ｂ 第１検出電極対
８ａ、８ｂ 第２検出電極対
９ 矢印
１０ 長手軸
２１ 同調フォーク
２２ ベース
２３，２４ レグ
２３ 励起レグ
２４ 検出レグ
２５，２６ 励起手段
２５ａ、２５ｂ 第１励起電極対
２６ａ、２６ｂ 第２励起電極対
２７，２８ 検出手段
２７ａ 第１検出電極
２８ａ 第２検出電極
２７ｂ 第３検出電極
２８ｂ 第４検出電極
２７ａ，２８ａ 第１検出電極対
２７ｂ，２８ｂ 第２検出電極対
２７ｃ，２８ｃ 第３検出電極対
２７ｄ，２８ｄ 第４検出電極対
３１，３２，３５，３６ 横表面
３３，３４ 横表面
３７，３８ 横表面
３８ 溝部分
３９、４０ 突起部
４１，４２ 突起部
４３ 発振器
４４ 検出器
４５ ノッチ
４６ 固定部分
４７，４８ 上部表面
４９ 底部表面
５０ 底部表面
５１，５２ 溝
５３，５４ 溝
５５，５６ 溝
５７，５８ 溝

Claims (8)

1. （Ａ） 回転する単一のピエゾ電子材料製の同調フォーク（２１）と、
   前記同調フォーク（２１）は、ベース（２２）から延びる振動する励起レグ（２３）と検出レグ（２４）とを有し、
   （Ｂ） 前記励起レグ（２３）上に配置され、同調フォークの第１振動を励起する手段（２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ）と、
   （Ｃ） 前記検出レグ（２４）の上に配置され、前記第１振動と同調フォークの回転に応答して生成された同調フォークの第２振動を検出する手段（２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ）と
   を有し、
   前記検出レグ（２４）は、２個の上部横表面（３３、３４）と、２個の底部横表面（３７、３８）を有する断面を有し、
   前記上部横表面と底部横表面は、前記上部横表面と底部横表面から突出した突起部（４１、４２）により分離され、
   前記検出手段は、互いに向かい合って配列された第１検出電極（２７ａ）と第２検出電極（２８ａ）と、互いに向かい合って配列された第３検出電極（２７ｂ）と第４検出電極（２８ｂ）とを有し、
   前記第１と第２の検出電極（２７ａ，２８ｂ）は、それぞれ、上部横表面（３３、３４）の一方の上に配置され、底面前記第１と第２の検出電極との間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
   前記第３と第４の検出電極（２７ｂ，２８ｂ）は、それぞれ、底部横表面（３７、３８）の一方の上の配置され、前記第３と第４の検出電極との間の電界は、検出レグを通り直線状である
   前記第１、第２、第３、第４の検出電極は、前記突起部（４１，４２）の上部表面と底部表面には配置されていない
   ことを特徴とする角速度測定用トランスデューサ。
2. 前記励起レグ（２３）は、２つの上部横表面（３１、３２）と２つの底部横表面（３５、３６）とを有する断面を有し、
   前記上部表面と底部表面は、前記上部横表面と底部横表面から突出した第１突起部分（３９）と第２突起部分（４０）とにより分離され、
   前記励起手段は、第１励起電極対（２５ａ、２５ｂ）と、第２励起電極対（２６ａ、２６ｂ）とを有し、
   前記第１励起電極対（２５ａ、２５ｂ）は、前記上部横表面（３１、３２）と前記底部横表面（３５、３６）とを、前記第１突起部分（３９）と第２突起部分（４０）の上部表面と底部表面とをそれぞれ含めて、それぞれカバーしながら、前記励起レグの上部表面と底部表面にそれぞれ配置され、
   前記第２励起電極対（２６ａ、２６ｂ）は、前記励起レグの一方の突起部分（３９）あるいは他方の突起部分（４０）の厚さ方向にわたって配置される
   ことを特徴とする請求項１記載の角速度測定用トランスデューサ。
3. 前記励起レグ（２３）は、２つの上部横表面（３１、３２）と２つの底部横表面（３５、３６）とを有する断面を有し、
   前記上部表面と底部表面は、前記上部横表面と底部横表面から突出した第１突起部分（３９）と第２突起部分（４０）とにより分離され、
   前記励起手段は、第１励起電極対（２５ａ、２５ｂ）と、第２励起電極対（２６ａ、２６ｂ）とを有し、
   前記第１励起電極対（２５ａ、２５ｂ）は、前記上部横表面（３１、３２）と底部横表面（３５、３６）をそれぞれカバーせずに、励起レグの上部表面と底部表面にそれぞれ配置され、
   前記第２励起電極対（２６ａ、２６ｂ）は、励起レグの第１突起部分（３９）あるいは第２突起部分（４０）の厚さ方向にわたって配置され、
   前記第２励起電極対（２６ａ、２６ｂ）は、前記第１突起部分（３９）の両側に配置された上部横表面（３１）と底部横表面（３５）と、第２突起部分（４０）の両側に配置された上部横表面（３２）と底部横表面（３６）を、前記第１突起部分（３９）と第２突起部分（４０）の上部表面と底部表面とをそれぞれ含めて、それぞれ少なくとも部分的にカバーする
   ことを特徴とする請求項１記載の角速度測定用トランスデューサ。
4. 前記検出レグの断面は、２個の上部横表面（３３、３４）を接続する上部表面（４８）と、２個の底部横表面（３７、３８）を接続する底部表面（５０）とを有し、
   前記上部表面と底部表面は、それぞれ、横方向側面を有する少なくとも１個の溝（５５、５８と５９、６０）を有し、
   前記第１検出電極対の少なくとも一方（２７ａ）は、前記上部表面の少なくとも１個の溝（５５、５９）の横側面の一方の上に配置され、２個の電極（２７ａ、２８ａ）の間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
   前記第２検出電極対の少なくとも一方（２７ｂ）は、前記底部表面の少なくとも１個の溝（５８、６０）の横側面の一方の上に配置され、２個の電極（２７ｂ、２８ｂ）の間の電界は、検出レグ（２４）を通り直線状である
   ことを特徴とする請求項１−３のいずれかに記載の角速度測定用トランスデューサ。
5. 前記上部表面（４８）と底部表面（５０）は、１個の溝（５９、６０）を有し、
   前記検出手段は、互いに向かい合う第３検出電極対（２７ｃ、２８ｃ）を有し、
   前記一方の電極（２８ｃ）は、上部表面の前記溝（５９）の他の横表面上配置され、
   前記他方の電極（２７ｃ）は、上部横表面（３４）の上に配置され、
   ２つの電極（２７ｃ、２８ｃ）の間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
   前記検出手段は、互いに向かい合う第４検出電極対（２７ｄ、２８ｄ）を有し、
   前記一方の電極（２８ｄ）は、上部表面の前記溝（６０）の他の横表面上配置され、
   前記他方の電極（２７ｄ）は、上部横表面（３７）の上に配置され、
   ２つの電極（２７ｄ、２８ｄ）の間の電界は、検出レグを通り直線状である
   ことを特徴とする請求項４記載の角速度測定用トランスデューサ。
6. 前記上部表面（４８）と底部表面（５０）は、２個の溝（５５−５６，５７−５８）を有し、
   前記検出手段は、互いに向かい合う第３検出電極対（２７ｃ、２８ｃ）を有し、
   前記一方の電極（２８ｃ）は、前記一方の溝（５６）の横側面上配置され、
   前記他方の電極（２７ｃ）は、上部横表面（３４）の上に配置され、
   ２つの電極（２７ｃ、２８ｃ）の間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
   前記検出手段は、互いに向かい合う第４検出電極対（２７ｄ、２８ｄ）を有し、
   前記一方の電極（２８ｄ）は、前記他方の溝（６０）の横側面上配置され、
   前記他方の電極（２７ｄ）は、上部横表面（３７）の上に配置され、
   ２つの電極（２７ｄ、２８ｄ）の間の電界は、検出レグを通り直線状である
   ことを特徴とする請求項４記載の角速度測定用トランスデューサ。
7. 前記ピエゾ電子材料は、水晶であり、
   前記水晶の上部表面（４８）と底部表面（５０）とは、水晶の光学軸（ｚ）に直交し、
   前記レグは、水晶の機械軸（ｙ）に沿って延びる
   ことを特徴とする請求項１−６のいすれかに記載の角速度測定用トランスデューサ。
8. 前記ベース（２２）は、ベースを固定する部分（４６）と同調フォークのレグ（２３、２４）の間に機械的分離手段（４５）を具備する
   ことを特徴とする請求項１−７のいずれかに記載の角速度測定用トランスデューサ。

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