JP2006177945A - 角速度測定用トランデューサ - Google Patents
角速度測定用トランデューサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006177945A JP2006177945A JP2005361317A JP2005361317A JP2006177945A JP 2006177945 A JP2006177945 A JP 2006177945A JP 2005361317 A JP2005361317 A JP 2005361317A JP 2005361317 A JP2005361317 A JP 2005361317A JP 2006177945 A JP2006177945 A JP 2006177945A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- leg
- excitation
- electrode
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 130
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 87
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 abstract 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
Abstract
【解決手段】 ベース22から延びる励起レグ23と検出レグ24とを有する、ピエゾ電子材料製の同調フォーク21と、前記励起レグ上に配置され、第1振動を励起する手段と、前記検出レグ上に配置され、前記第1振動と同調フォークの回転に応答して生成された第2振動を検出する手段とを有し、前記検出レグの断面は、突起部41、42により分離された2個の上部横表面33、34と2個の底部横表面37、38を有し、対向配置された第1検出電極27a、28aと第2検出電極27b、28bは、上部横表面33、34の一方の上に配置され、第3と第4の検出電極は、底部横表面37、38の一方の上の配置され、前記第1と第2の検出電極との間の電界と、前記第3と第4の検出電極との間の電界は、検出レグを通り直線状である。
【選択図】 図2b
Description
さらにまた、さまざまな前記した解決方法は、さらなる欠点がある。すなわち、同調フォークが大きすぎることであり、基板上に乗るジャイロメータのアプリケーションでは出来るだけ小型の方が好ましい。
2 ベース
3,4 レグ
3 励起レグ
4 検出レグ
5a、5b 第1励起電極対
6a、6b 第2励起電極対
7a、7b 第1検出電極対
8a、8b 第2検出電極対
9 矢印
10 長手軸
21 同調フォーク
22 ベース
23,24 レグ
23 励起レグ
24 検出レグ
25,26 励起手段
25a、25b 第1励起電極対
26a、26b 第2励起電極対
27,28 検出手段
27a 第1検出電極
28a 第2検出電極
27b 第3検出電極
28b 第4検出電極
27a,28a 第1検出電極対
27b,28b 第2検出電極対
27c,28c 第3検出電極対
27d,28d 第4検出電極対
31,32,35,36 横表面
33,34 横表面
37,38 横表面
38 溝部分
39、40 突起部
41,42 突起部
43 発振器
44 検出器
45 ノッチ
46 固定部分
47,48 上部表面
49 底部表面
50 底部表面
51,52 溝
53,54 溝
55,56 溝
57,58 溝
Claims (8)
- (A) 回転する単一のピエゾ電子材料製の同調フォーク(21)と、
前記同調フォーク(21)は、ベース(22)から延びる振動する励起レグ(23)と検出レグ(24)とを有し、
(B) 前記励起レグ(23)上に配置され、同調フォークの第1振動を励起する手段(25a、25b、26a、26b)と、
(C) 前記検出レグ(24)の上に配置され、前記第1振動と同調フォークの回転に応答して生成された同調フォークの第2振動を検出する手段(27a、27b、28a、28b)と
を有し、
前記検出レグ(24)は、2個の上部横表面(33、34)と、2個の底部横表面(37、38)を有する断面を有し、
前記上部横表面と底部横表面は、前記上部横表面と底部横表面から突出した突起部(41、42)により分離され、
前記検出手段は、互いに向かい合って配列された第1検出電極(27a)と第2検出電極(28a)と、互いに向かい合って配列された第3検出電極(27b)と第4検出電極(28b)とを有し、
前記第1と第2の検出電極は、それぞれ、上部横表面(33、34)の一方の上に配置され、前記第1と第2の検出電極との間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
前記第3と第4の検出電極は、それぞれ、底部横表面(37、38)の一方の上の配置され、前記第3と第4の検出電極との間の電界は、検出レグを通り直線状である
ことを特徴とする角速度測定用トランデューサ。 - 前記励起レグ(23)は、2つの上部横表面(31、32)と2つの底部横表面(35、36)とを有する断面を有し、
前記上部表面と底部表面は、前記上部横表面と底部横表面から突出した第1突起部分(39)と第2突起部分(40)とにより分離され、
前記励起手段は、第1励起電極対(25a、25b)と、第2励起電極対(26a、26b)とを有し、
前記第1励起電極対は、上部横表面(31、32)と底部横表面(35、36)をそれぞれカバーしながら、励起レグの上部表面と底部表面にそれぞれ配置され、
前記第2励起電極対は、励起レグの一方の突起部分(39)あるいは他方の突起部分(40)の厚さ方向にわたって配置される
ことを特徴とする請求項1記載の角速度測定用トランデューサ。 - 前記励起レグ(23)は、2つの上部横表面(31、32)と2つの底部横表面(35、36)とを有する断面を有し、
前記上部表面と底部表面は、前記上部横表面と底部横表面から突出した第1突起部分(39)と第2突起部分(40)とにより分離され、
前記励起手段は、第1励起電極対(25a、25b)と、第2励起電極対(26a、26b)とを有し、
前記第1励起電極対は、上部横表面(31、32)と底部横表面(35、36)をそれぞれカバーせずに、励起レグの上部表面と底部表面にそれぞれ配置され、
前記第2励起電極対は、励起レグの一方の突起部分(39)あるいは他方の突起部分(40)の厚さ方向にわたって配置され、
前記第2励起電極対は、第1突起部分(39)の両側に配置された上部横表面(31)と底部横表面(35)と、第2突起部分(40)の両側に配置された上部横表面(32)と底部横表面(36)をそれぞれ少なくとも部分的にカバーする
ことを特徴とする請求項1記載の角速度測定用トランデューサ。 - 前記検出レグの断面は、2個の上部横表面(33、34)を接続する上部表面(48)と、2個の底部横表面(37、38)を接続する底部表面(50)とを有し、
前記上部表面と底部表面は、それぞれ、横方向側面を有する少なくとも1個の溝(55、58と59、60)を有し、
前記第1検出電極対の少なくとも一方(27a)は、前記上部表面の少なくとも1個の溝(55、59)の横側面の一方の上に配置され、2個の電極(27a、28a)の間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
前記第2検出電極対の少なくとも一方(27b)は、前記底部表面の少なくとも1個の溝(58、60)の横側面の一方の上に配置され、2個の電極(27b、28b)の間の電界は、検出レグ(24)を通り直線状である
ことを特徴とする請求項1−3のいずれかに記載の角速度測定用トランデューサ。 - 前記上部表面(48)と底部表面(50)は、1個の溝(59、60)を有し、
前記検出手段は、互いに向かい合う第3検出電極対(27c、28c)を有し、
前記一方の電極(28c)は、上部表面の前記溝(59)の他の横表面上配置され、
前記他方の電極(27c)は、上部横表面(34)の上に配置され、
2つの電極(27c、28c)の間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
前記検出手段は、互いに向かい合う第4検出電極対(27d、28d)を有し、
前記一方の電極(28d)は、上部表面の前記溝(60)の他の横表面上配置され、
前記他方の電極(27d)は、上部横表面(37)の上に配置され、
2つの電極(27d、28d)の間の電界は、検出レグを通り直線状である
ことを特徴とする請求項4記載の角速度測定用トランデューサ。 - 前記上部表面(48)と底部表面(50)は、2個の溝(55−56,57−58)を有し、
前記検出手段は、互いに向かい合う第3検出電極対(27c、28c)を有し、
前記一方の電極(28c)は、前記一方の溝(56)の横側面上配置され、
前記他方の電極(27c)は、上部横表面(34)の上に配置され、
2つの電極(27c、28c)の間の電界は、検出レグを通り直線状であり、
前記検出手段は、互いに向かい合う第4検出電極対(27d、28d)を有し、
前記一方の電極(28d)は、前記他方の溝(60)の横側面上配置され、
前記他方の電極(27d)は、上部横表面(37)の上に配置され、
2つの電極(27d、28d)の間の電界は、検出レグを通り直線状である
ことを特徴とする請求項4記載の角速度測定用トランデューサ。 - 前記ピエゾ電子材料は、水晶であり、
前記水晶の上部表面(48)と底部表面(50)とは、水晶の光学軸(z)に直交し、
前記レグは、水晶の機械軸(y)に沿って延びる
ことを特徴とする請求項1−6のいすれかに記載の角速度測定用トランデューサ。 - 前記ベース(22)は、ベースを固定する部分(46)と同調フォークのレグ(23、24)の間に機械的分離手段(45)を具備する
ことを特徴とする請求項1−7のいずれかに記載の角速度測定用トランデューサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP04106714.1 | 2004-12-20 | ||
EP04106714A EP1672316B1 (fr) | 2004-12-20 | 2004-12-20 | Transducteur de mesure d'une vitesse angulaire |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006177945A true JP2006177945A (ja) | 2006-07-06 |
JP4693116B2 JP4693116B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=34930086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005361317A Active JP4693116B2 (ja) | 2004-12-20 | 2005-12-15 | 角速度測定用トランスデューサ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7412886B2 (ja) |
EP (1) | EP1672316B1 (ja) |
JP (1) | JP4693116B2 (ja) |
CN (1) | CN100587493C (ja) |
AT (1) | ATE392602T1 (ja) |
DE (1) | DE602004013170T2 (ja) |
HK (1) | HK1093097A1 (ja) |
TW (1) | TWI382151B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011141266A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-07-21 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、物理量センサー、及び電子機器 |
JP2013009166A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
JP2015087256A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体 |
JP2015087257A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体並びに振動片の製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4409979B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-02-03 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子 |
JP4668739B2 (ja) * | 2005-08-29 | 2011-04-13 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動ジャイロ |
US20110227458A1 (en) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator element, piezoelectric device, and electronic apparatus |
JP5592812B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2014-09-17 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計 |
JP7239905B2 (ja) * | 2019-07-10 | 2023-03-15 | 株式会社村田製作所 | 分析装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002340559A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶角速度センサ |
JP2003133885A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP2004301552A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および物理量測定装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4930351A (en) * | 1988-03-24 | 1990-06-05 | Wjm Corporation | Vibratory linear acceleration and angular rate sensing system |
SE512378C2 (sv) * | 1991-01-08 | 2000-03-06 | Colibri Pro Dev Ab | För stämgaffelgyro avsett elektrodmönster |
FR2735869B1 (fr) * | 1995-06-21 | 1997-08-08 | Asulab Sa | Dispositif et procede de mesure de vitesse angulaire |
FR2735868B1 (fr) * | 1995-06-21 | 1997-08-08 | Asulab Sa | Dispositif de mesure d'une vitesse angulaire |
JP3739492B2 (ja) * | 1996-02-21 | 2006-01-25 | 富士通株式会社 | 音叉型圧電振動ジャイロ |
JP3335122B2 (ja) * | 1998-05-06 | 2002-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
TW479131B (en) * | 1999-11-22 | 2002-03-11 | American Gnc Corp | Processing method for motion measurement |
US6894428B2 (en) * | 2001-01-15 | 2005-05-17 | Seiko Epson Corporation | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic device |
JP3812724B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2006-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
EP1403616B1 (en) * | 2002-06-10 | 2012-11-07 | Panasonic Corporation | Angular velocity sensor |
US7122945B2 (en) * | 2003-07-22 | 2006-10-17 | Daishinku Corproation | Tuning fork resonator, tuning fork unit, and method for producing tuning fork resonator |
ATE374355T1 (de) * | 2004-12-20 | 2007-10-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Wandler zur winkelgeschwindigkeitsmessung |
-
2004
- 2004-12-20 EP EP04106714A patent/EP1672316B1/fr active Active
- 2004-12-20 DE DE602004013170T patent/DE602004013170T2/de active Active
- 2004-12-20 AT AT04106714T patent/ATE392602T1/de not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-12-15 JP JP2005361317A patent/JP4693116B2/ja active Active
- 2005-12-15 TW TW094144538A patent/TWI382151B/zh active
- 2005-12-15 US US11/300,482 patent/US7412886B2/en active Active
- 2005-12-20 CN CN200510132671A patent/CN100587493C/zh active Active
-
2006
- 2006-12-18 HK HK06113872.0A patent/HK1093097A1/xx unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002340559A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶角速度センサ |
JP2003133885A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP2004301552A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Ngk Insulators Ltd | 振動子および物理量測定装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011141266A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-07-21 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、物理量センサー、及び電子機器 |
US8633637B2 (en) | 2009-12-10 | 2014-01-21 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, physical quantity sensor, and electronic equipment that have steps on a side surface of a vibrating arm |
JP2013009166A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
US9083307B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-07-14 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibrator element, electronic device, and method of manufacturing flexural vibrator element |
JP2015087256A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体 |
JP2015087257A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体並びに振動片の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4693116B2 (ja) | 2011-06-01 |
ATE392602T1 (de) | 2008-05-15 |
EP1672316A1 (fr) | 2006-06-21 |
CN100587493C (zh) | 2010-02-03 |
TWI382151B (zh) | 2013-01-11 |
TW200626874A (en) | 2006-08-01 |
US20060130578A1 (en) | 2006-06-22 |
DE602004013170T2 (de) | 2009-06-18 |
US7412886B2 (en) | 2008-08-19 |
DE602004013170D1 (de) | 2008-05-29 |
CN1793934A (zh) | 2006-06-28 |
EP1672316B1 (fr) | 2008-04-16 |
HK1093097A1 (en) | 2007-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4711414B2 (ja) | 角速度測定用トランスデューサ | |
JP4693116B2 (ja) | 角速度測定用トランスデューサ | |
JP4001029B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及びその製造方法、圧電デバイス | |
JPH07113645A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2013024721A (ja) | 振動ジャイロ素子、ジャイロセンサー及び電子機器 | |
JP2006201118A (ja) | 圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ | |
JP2007163200A (ja) | 振動片、角速度センサ | |
JP2007163248A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
US7296467B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP2001235331A (ja) | 角速度検出装置 | |
WO2012081457A1 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2006308359A (ja) | 慣性センサ素子及び慣性センサ素子の製造方法 | |
JP2005345404A (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法 | |
JP2008107271A (ja) | 角速度センサ | |
JP2001264068A (ja) | 角速度センサ | |
JPH1137859A (ja) | 圧力センサ用圧電振動子 | |
WO2023079849A1 (ja) | 振動型ジャイロスコープ及びこれを備えた角速度センサ | |
JPH10318756A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3698840B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用圧電振動子 | |
JP2006275630A (ja) | 振動ジャイロの音叉型振動子搭載構造 | |
JP2015152305A (ja) | 圧電センサ及びその製造方法 | |
JP3685224B2 (ja) | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ | |
JP6198595B2 (ja) | 圧電センサ及びその製造方法 | |
JP3640003B2 (ja) | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ | |
JP2003057035A (ja) | 振動ジャイロおよび振動ジャイロ素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101001 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101005 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110105 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110218 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110218 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4693116 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |