JP2013009166A - 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 261
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 117
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 19
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 16
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 14
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
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- H—ELECTRICITY
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H2003/026—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks the resonators or networks being of the tuning fork type
Abstract
【解決手段】屈曲振動片21は、基部22から延出する断面矩形の振動腕24が下面24b及び上面24aと左側面24c及び右側面24dとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面27a,28aと上面及び下面に交わる段差側面27b,28bとからなる第1、第2段差部27,28を有し、左右側面の第1、第4検出電極29a,29dと段差側面の第2、第3検出電極29b,29cとが、電極膜を形成していない段差面27a,28aの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第1〜第4検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。
【選択図】図1
Description
振動腕の少なくとも一方の側面の電極が、その厚さ方向に分離されている第1電極と第2電極とからなり、
振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、第1電極とそれに対応する該振動腕の他方の側面の電極との間に発生する電界の向きと、第2電極とそれに対応する該他方の側面の電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
振動腕が、一方の側面と上面又は下面との間に形成されている段差部を有し、該段差部が、一方の側面に交わる段差面と、上面又は下面に交わる段差側面とからなり、第1電極と第2電極とが、段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、一方の側面と段差側面とに形成されていることを特徴とする。
振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、第1電極とそれに対応する第3電極との間に発生する電界の向きと、第2電極とそれに対応する第4電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
振動腕が、他方の側面と上面又は下面との間に形成されている第2の段差部を更に有し、第2の段差部が、他方の側面に交わる第2の段差面と、上面又は下面に交わる第2の段差側面とからなり、第3電極と第4電極とが、第2の段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、他方の側面と第2の段差側面とに形成されている。
振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、第5電極とそれに対応する振動腕の左側面の電極との間に発生する電界の向きが、第6電極とそれに対応する振動腕の右側面の電極との間に発生する電界の向きとは互いに同じ向きになり、長手方向溝を設けていない下面側又は上面側において左側面の電極と右側面の電極との間に発生する電界の向きとは逆向きになるように、前記各電極が設けられている。
ウエハから屈曲振動片の外形を有する振動素子片を加工する過程と、
振動素子片の表面に電極膜を被着させ、その上にフォトレジスト膜を形成する過程と、
振動素子片の上面、下面及び段差面のフォトレジスト膜を上面側及び下面側から露光してパターニングする過程と、
該パターニングにより露出した電極膜の部分をエッチングにより除去して、振動腕の側面にその厚さ方向に分離した電極を形成する過程と、
残存するフォトレジスト膜を除去する過程とを含む方法が提供される。
Claims (7)
- 基部と、
前記基部から延出し、上面、下面及び左右側面を有する断面多角形の振動腕と、
前記振動腕の前記左右側面にそれぞれ設けられている電極とを備え、
前記振動腕の少なくとも一方の前記側面の前記電極が、その厚さ方向に分離されている第1電極と第2電極とからなり、
前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第1電極とそれに対応する前記振動腕の他方の前記側面の前記電極との間に発生する電界の向きと、前記第2電極とそれに対応する前記振動腕の他方の前記側面の前記電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
前記振動腕が、前記一方の側面と前記上面又は下面との間に形成されている段差部を有し、前記段差部が、前記一方の側面に交わる段差面と、前記上面又は下面に交わる段差側面とからなり、前記第1電極と第2電極とが、前記段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、前記一方の側面と前記段差側面とに形成されていることを特徴とする屈曲振動片。 - 前記振動腕の前記他方の側面の前記電極が、その厚さ方向に分離されている第3電極と第4電極とからなり、
前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第1電極とそれに対応する前記第3電極との間に発生する電界の向きと、前記第2電極とそれに対応する前記第4電極との間に発生する電界の向きとが互いに逆向きになるように、前記各電極が設けられ、
前記振動腕が、前記他方の側面と前記上面又は下面との間に形成されている第2の段差部を更に有し、前記第2の段差部が、前記他方の側面に交わる第2の段差面と、前記上面又は下面に交わる第2の段差側面とからなり、前記第3電極と第4電極とが、前記第2の段差面の電極膜が形成されていない部分により分離して、前記他方の側面と前記第2の段差側面とに形成されていることを特徴とする請求項1記載の屈曲振動片。 - 前記振動腕が、前記上面又は下面に凹設されている長手方向の溝を有し、前記長手方向溝の一方の内側面に形成されている第5電極と他方の内側面に形成されている第6電極とを有し、前記第5電極と前記第6電極とが、前記長手方向溝の底面の電極膜が形成されていない部分により分離され、
前記振動腕がその上下面に垂直な方向に沿って屈曲振動する際に、前記第5電極とそれに対応する前記振動腕の左側面の前記電極との間に発生する電界の向きが、前記第6電極とそれに対応する前記振動腕の右側面の前記電極との間に発生する電界の向きとは互いに同じ向きになり、前記長手方向溝を設けていない前記下面側又は上面側において前記左側面の前記電極と前記右側面の前記電極との間に発生する電界の向きとは逆向きになるように、前記各電極が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の屈曲振動片。 - 前記段差部が複数の段差からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の屈曲振動片。
- 前記振動腕が、その上下面に垂直な方向に沿う前記屈曲振動を、該振動腕に設けられている前記電極から出力される電気信号として検出するための検出用振動腕であり、
前記基部から前記検出用振動腕の延出方向に沿って延長する駆動用振動腕と、前記駆動用振動腕をその上下面に平行な方向に沿って屈曲振動させるように、前記駆動用振動腕に設けられている駆動電極とを更に有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の屈曲振動片。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の屈曲振動片を製造する方法であって、
ウエハから前記屈曲振動片の外形を有する振動素子片を加工する過程と、
前記振動素子片の表面に電極膜を被着させかつその上にフォトレジスト膜を形成する過程と、
振動素子片の前記上面、下面及び段差面の前記フォトレジスト膜を上面側及び下面側から露光してパターニングする過程と、
前記パターニングにより露出した前記電極膜の部分をエッチングにより除去して、前記振動腕の側面にその厚さ方向に分離している前記電極を形成する過程と、
残存する前記フォトレジスト膜を除去する過程とを含むことを特徴とする屈曲振動片の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の屈曲振動片を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011140618A JP5724672B2 (ja) | 2011-06-24 | 2011-06-24 | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
CN201210209939XA CN102843117A (zh) | 2011-06-24 | 2012-06-20 | 弯曲振动片及其制造方法以及电子设备 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011140618A JP5724672B2 (ja) | 2011-06-24 | 2011-06-24 | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013009166A true JP2013009166A (ja) | 2013-01-10 |
JP5724672B2 JP5724672B2 (ja) | 2015-05-27 |
Family
ID=47361200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011140618A Active JP5724672B2 (ja) | 2011-06-24 | 2011-06-24 | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9083307B2 (ja) |
JP (1) | JP5724672B2 (ja) |
CN (1) | CN102843117A (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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