JPH10239066A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】漏れ振動の影響をなくして、高精度で角速度を
検出できるようにする。 【解決手段】角速度センサ１０の振動片１２，１３の断
面形状を５角形にし、各外側面１２ｄ，１２ｅ，１３
ｄ，１３ｅに励振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，
１５ｂをそれぞれ添着するとともに、各正面１２ａ，１
３ａに検出用圧電素子１８，１９をそれぞれ添着する。
角速度「０」の状態で、励振用圧電素子１４ａ，１４
ｂ，１５ａ，１５ｂに等しい励振信号を付与して振動片
１２，１３をＸ軸方向に励振させて、検出用圧電素子１
８，１９によってＹ軸方向の漏れ振動を測定する。実際
の角速度の測定の検出の際には、前記励振信号の大きさ
を前記測定した漏れ振動に応じて調整して、振動片１
２，１３のＹ軸方向の漏れ振動をなくした状態で、振動
片１２，１３のＹ軸方向の振動を測定することによりコ
リオリ力によるＺ軸回りの角速度を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コリオリ力を利用
して角速度を検出する角速度センサに係り、特に振動片
を第１の方向に振動させた状態で同第１の方向と直交す
る第２の方向の振動片の振動を検出して、第１及び第２
の方向に共に直交する第３の方向に平行な軸線回りの角
速度を検出する角速度センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置は、例えば特開平７
−１２８０６９号公報に示されているように、音叉型に
形成した振動片の一側面に同振動片を前記第１の方向に
励振するための励振用圧電素子（励振手段）を添着する
とともに、前記一側面と直交する振動片の他側面に同振
動片の前記第２の方向の振動を検出するための検出用圧
電素子（振動検出手段）を添着し、さらに前記他側面と
平行な別の側面に調整用圧電素子を添着しておき、調整
用圧電素子によって振動片を第２の方向へ励振すること
により、前記第１の方向への励振による第２の方向への
漏れ振動を打ち消して、漏れ振動の影響を受けることな
く精度よく角速度を検出できるようにしている。この場
合、予め角速度「０」の状態で、励振用圧電素子により
振動片を第１の方向へ励振し、検出用圧電素子によって
漏れ振動を測定して同振動に対応した波形信号を記憶し
ておき、実際に角速度を検出する際に励振用圧電素子に
よる励振と同時に前記波形信号を反転した波形信号を表
す電圧信号を調整用圧電素子に印加して、第２の方向へ
の漏れ振動を打ち消すようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の装
置にあっては、調整用圧電素子に印加する電圧波形は正
弦波状であり、この電圧波形を記憶する場合には多数の
サンプル値を記憶しておく必要があると同時に、角速度
の実際の測定時には同サンプル値を順次読出す必要があ
る。そのために、比較的大きな容量の記憶回路と同記憶
回路の記憶内容を順次読出すための読出し回路が必要と
なるとともに、励振用圧電素子による振動片の励振と前
記読出した電圧波形による励振とを同期させる必要も生
じ、装置全体が複雑になる。

【０００４】

【発明の概要】本発明は上記問題に対処するためになさ
れたもので、その目的は、簡単な構成で精度よく角速度
を検出できる角速度センサを提供することにある。

【０００５】この目的を達成するために、本発明の構成
の特徴は、第１の方向に励振する励振手段を、第１の方
向からそれぞれ所定角度だけ第２の方向に傾いていると
共に同第１の方向を挟む第４及び第５の方向に振動片を
それぞれ励振する第１及び第２の励振手段で構成したこ
とにある。

【０００６】上記のように構成した本発明においては、
角速度「０」の状態で、第１及び第２の励振手段に同一
電圧信号を印加して第２の方向の振動片の振動を測定す
ることにより第２の方向への漏れ振動を予め測定しお
き、角速度を実際に検出する際には前記測定した漏れ振
動の正負の方向及び大きさに応じて第１及び第２の励振
手段に対する印加電圧の大きさを調整する。この場合、
第１及び第２の励振手段は、前記第４及び第５の方向に
振動片をそれぞれ励振させるので、これらの励振による
振動成分には第２の方向の振動成分も含まれており、こ
れらの各第２の方向の振動成分の大きさを異ならせるこ
とにより、前記第２の方向の漏れ振動を打ち消すことが
できる。したがって、本発明によれば、第１の方向への
励振による第２の方向の漏れ振動をなくすことができ、
角速度を精度よく検出できるようになる。また、本発明
によれば、漏れ振動をなくすために第１及び第２の励振
手段に対する印加電圧の大きさを調整するだけでよいの
で、前記従来装置のような複雑な回路を必要としない。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態に係る
角速度検出装置を車両に適用した例を用いて説明する
と、図１は同角速度検出装置の一部を構成する角速度セ
ンサ１０を斜視図により示すとともに、図２は角速度セ
ンサ１０を図１の２−２線に沿って見た断面図により示
している。

【０００８】この角速度センサ１０は、ジュラルミン、
アルミニウム等の軽合金で音叉型に一体的に構成されて
おり、車体のほぼ重心位置に固定された基台１１上に上
方かつ平行に延設された断面５角形の一対の振動片１
２，１３を有する。振動片１２は、互いに平行な正面１
２ａ及び裏面１２ｂと、同正面１２ａ及び裏面１２ｂに
直交する内側面１２ｃと、前記正面１２ａ及び裏面１２
ｂに対して１３５度の角度をなすとともに互いに９０度
の角度をなす外側面１２ｄ，１２ｅとを備えている。振
動片１３は、振動片１２と対称に構成されており、振動
片１２と同様な正面１３ａ、裏面１３ｂ、内側面１３ｃ
及び外側面１３ｄ，１３ｅを備えている。なお、振動片
１２，１３の内側面１２ｃ，１３ｃに垂直な方向をＸ軸
とし、正面１２ａ，１３ａに垂直な方向をＹ軸とし、か
つ振動片１２，１３の延設方向をＺ軸とする。

【０００９】振動片１２，１３の各外側面１２ｄ，１２
ｅ，１３ｄ，１３ｅには、同振動片１２，１３をＸ軸方
向に励振するための同一に構成した励振用圧電素子１４
ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂがそれぞれ添着されてい
る。ただし、各励振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５
ａ，１５ｂは、それらの添着面に垂直に振動片１２，１
３を励振する。振動片１２，１３の内側面１２ｃ，１３
ｃには、同振動片１２，１３のＸ軸方向の振動をモニタ
するための同一に構成したモニタ用圧電素子１６，１７
がそれぞれ添着されている。振動片の各正面１２ａ，１
３ａには、振動片１２，１３のＹ軸方向の振動を検出す
るための同一に構成した検出用圧電素子１８，１９がそ
れぞれ添着されている。励振用圧電素子１４ａ，１４
ｂ，１５ａ，１５ｂはそれらの添着面に垂直に振動片１
２，１３を励振するもので、検出用圧電素子１８，１９
はそれらの添着面に垂直な振動片１２，１３の振動を検
出するものである。

【００１０】また、角速度検出装置は、図３に示すよう
に、角速度センサ１０の振動片１２，１３の振動に基づ
いてＺ軸回りの角速度を検出するための電気回路Ｅを備
えている。電気回路Ｅは、振動片１２，１３をＸ軸方向
に励振するためのオートゲインコントローラ回路２１及
びゲイン調整回路２２と、振動片１２，１３のＹ軸方向
の振動に応じてＺ軸回りの角速度を表す電気信号を取り
出すための差動増幅器３１と、振動片１２，１３のＹ軸
方向の漏れ振動を測定するための漏れ振動測定回路４１
とを備えている。

【００１１】オートゲインコントローラ回路２１は、整
流回路、検波回路、増幅器などにより構成されており、
モニタ用圧電素子１６，１７からの振動片１２，１３の
Ｘ軸方向の振動を表すモニタ信号を入力して、振動片１
２，１３が一定振幅でＸ軸方向に振動するように前記モ
ニタ信号の振幅を制御した励振信号を発生する。なお、
振動片１２，１３は、その固有振動数でＸ軸方向にて互
いに逆相に振動する。ゲイン調整回路２２は、外部から
供給される第１〜第４のゲイン制御信号によりオートゲ
インコントローラ回路２１からの励振信号のゲイン（振
幅）をそれぞれ制御して、励振用圧電素子１４ａ，１４
ｂ，１５ａ，１５ｂにそれぞれ出力する。

【００１２】差動増幅器３１は、検出用圧電素子１８，
１９からの振動片１２，１３のＹ軸方向の振動をそれぞ
れ表す各検出信号を入力して、各検出信号の差振動を出
力することによりコリオリ力による振動片１２，１３の
Ｙ軸方向の振動を表す電気信号を同期検波回路３２に出
力する。同期検波回路３２は、オートゲインコントロー
ラ回路２１から入力した励振信号を用いて、差動増幅器
３１から出力された電気信号に含まれるあらゆる周波数
成分のうちの励振信号の周波数近傍の周波数成分のみを
取り出して、ローパスフィルタ３３及び直流増幅器３４
を介して出力する。ローパスフィルタ３３は、同期検波
回路３２から供給される電気信号を積分して出力すると
ともに、直流増幅器３４はローパスフィルタ２２の出力
信号を直流増幅して出力する。

【００１３】漏れ振動測定回路４１は、検出用圧電素子
１８，１９からの各検出信号及びオートゲインコントロ
ーラ回路２１からの励振信号を入力して、Ｙ軸方向の漏
れ振動に起因した振動片１２，１３の各振動方向のＸ軸
方向に対する傾き方向と、同Ｙ軸方向の各漏れ振動の大
きさとを測定して、同測定した各傾き方向及び各大きさ
をそれぞれ表す両測定信号を記憶回路４４に出力する。
この場合、振動片１２，１３の各振動方向のＸ軸方向に
対する傾き方向は、前記各検出信号と励振信号との各位
相関係によって測定されたもので、検出信号と励振信号
とが同相であれば振動片１２，１３の各振動のＸ軸方向
に対する傾き方向は図４に示す右上がりとして測定さ
れ、また検出信号と励振信号とが逆相であれば振動片１
２，１３の各振動のＸ軸方向に対する傾き方向は図５に
示す右下がりとして測定される。また、漏れ振動の大き
さは、検出用圧電素子１８，１９からの各検出信号を平
均するとともに、同平均した電気信号の各周期における
複数の振幅値を所定時間に渡って平均化することにより
測定される。この漏れ振動測定回路４１にはワンショッ
ト回路４２も接続されており、同ワンショット回路４２
はイグニッションスイッチ４３のオンに応答して所定の
短時間のハイレベル信号（パルス信号）を発生して、同
ハイレベル信号の発生中に前記漏れ振動測定回路４１に
よる漏れ振動の測定を許容する。

【００１４】漏れ振動測定回路４１の出力端には記憶回
路４４が接続されており、同回路４４は漏れ振動測定回
路４１にて測定された前記各振動の傾き方向及び各漏れ
振動の大きさをワンショット回路４２からのハイレベル
信号の立ち下がり時（トレーリングエッジ時）に取り込
み記憶する。記憶回路４４にはゲイン制御回路４５が接
続されており、同回路４５はワンショット回路４２から
ハイレベル信号の発生中等しい値を有する第１〜第４の
ゲイン制御信号をゲイン調整回路２２にそれぞれ出力
し、またハイレベル信号の立ち下がり後に前記記憶回路
４４に記憶された各振動の傾き方向及び各漏れ振動の大
きさに基づく第１〜第４のゲイン制御信号をゲイン調整
回路２２にそれぞれ出力する。

【００１５】この場合、振動片１２の振動の傾き方向が
図４に示す右上がりであれば、第１のゲイン制御信号は
振動片１２の漏れ振動の大きさに比例した量だけ第２の
ゲイン制御信号より大きく、振動片１２のＹ軸方向の漏
れ振動を打ち消すように設定される。また、振動片１２
の振動の傾き方向が図５に示す右下がりであれば、第２
のゲイン制御信号は振動片１２の漏れ振動の大きさに比
例した量だけ第１のゲイン制御信号より大きく、振動片
１２のＹ軸方向の漏れ振動を打ち消すように設定され
る。また、振動片１３に関する第３及び第４のゲイン制
御信号も、振動片１３の振動の傾き方向及びＹ軸方向の
漏れ振動の大きさに応じて同様に設定される。

【００１６】次に、上記のように構成した実施形態の動
作を説明する。車両の停止中、運転者がイグニッション
スイッチ４３をオンすると、図示しない電力供給線を介
して各種回路に電力が供給されて各種回路が作動を開始
する。オートゲインコントローラ回路２１は、励振用圧
電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ及びモニタ用圧
電素子１６，１７と協働して、振動片１２，１３を一定
振幅でＸ軸方向に励振させるための励振信号をゲイン調
整回路２２に出力する。これにより、振動片１２，１３
は、一定振幅かつその固有振動数でほぼＸ軸方向に振動
し始める。一方、ワンショット回路４２は前記イグニッ
ションスイッチ４３のオンに応答して所定の短時間だけ
ハイレベル信号を出力し、ゲイン制御回路４５が前記ハ
イレベル信号の発生中等しい値の第１〜第４のゲイン制
御信号をゲイン調整回路２２にそれぞれ出力する。した
がって、ゲイン調整回路２２は等しい振幅の励振信号を
励振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂにそれ
ぞれ供給する。

【００１７】励振用圧電素子１４ａ，１４ｂは外側面１
２ｄ，１２ｅと垂直方向（図示矢印方向）に振動片１２
を励振するとともに、励振用圧電素子１５ａ，１５ｂも
外側面１３ｄ，１３ｅと垂直方向（図示矢印方向）に振
動片１３を励振する。今、車両は停止中であってＺ軸回
りの角速度は「０」であり、かつ前記４方向への励振に
よる力は同じであるので、本来であれば振動片１２，１
３のＹ軸方向への振動成分すなわち漏れ振動は「０」で
ある。しかし、実際には、振動片１２，１３の非対称
性、圧電素子の添着位置のずれなどのために、Ｙ軸方向
の漏れ振動が発生し、振動片１２，１３はＸ軸方向に対
してそれぞれ所定の角度だけ傾いた方向へ励振すること
となる。

【００１８】したがって、検出用圧電素子１８，１９
は、この振動片１２，１３の各振動のうちＹ軸方向への
各漏れ振動を検出して、同検出した各漏れ振動を表す検
出信号を漏れ振動測定回路４１に供給する。漏れ振動測
定回路４１には励振信号もオートゲインコントローラ回
路２１から供給されており、同測定回路４１は、ワンシ
ョット回路４２からのハイレベル信号が供給されている
間、振動片１２，１３の各振動のＸ軸方向に対する傾き
方向とＹ軸方向の各漏れ振動の大きさを測定する。

【００１９】その後、ワンショット回路４２からのハイ
レベル信号が立ち下がると、記憶回路４４は振動片１
２，１３の各振動のＸ軸方向に対する傾き方向及びＹ軸
方向の各漏れ振動の大きさを表す値を記憶し、ゲイン制
御回路４５が前記記憶内容に従って第１〜第４のゲイン
制御信号をゲイン調整回路２２にそれぞれ出力し始め
る。以降、ゲイン調整回路２２は前記第１〜第４のゲイ
ン制御信号に応じてオートゲインコントローラ回路２１
からの励振信号のゲイン（振幅）をそれぞれ制御して励
振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂに供給す
るようになる。したがって、以降、励振用圧電素子１４
ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂは前記ゲイン制御された励
振信号により振動片１２，１３を図３の矢印方向にそれ
ぞれ励振する。

【００２０】この場合、振動片１２の振動のＸ軸方向に
対する傾き方向が図４に示す右上がりであれば、第１の
ゲイン制御信号は前記漏れ振動の大きさに比例した量だ
け第２のゲイン制御信号より大きく設定されるので、励
振用圧電素子１４ａによって振動片１２に付与される力
は、励振用圧電素子１４ｂによって振動片１２に付与さ
れる力よりも前記漏れ振動の大きさに対応した量だけ大
きくなる。したがって、前記付与される力の差により振
動片１２のＹ軸方向の漏れ振動が打ち消されて、振動片
１２はほぼＸ軸方向に振動することになる。逆に、振動
片１２の振動のＸ軸方向に対する傾き方向が図５に示す
右下がりであれば、第２のゲイン制御信号は前記漏れ振
動の大きさに比例した量だけ第１のゲイン制御信号より
大きく設定されるので、励振用圧電素子１４ｂによって
振動片１２に付与される力は、励振用圧電素子１４ａに
よって振動片１２に付与される力よりも前記漏れ振動の
大きさに対応した量だけ大きくなる。したがって、この
場合も、前記付与される力の差により振動片１２のＹ軸
方向の漏れ振動が打ち消されて、振動片１２はほぼＸ軸
方向に振動することになる。このことは、第３及び第４
のゲイン制御信号によって励振制御される振動片１３に
関しても同様であり、振動片１３もほぼＸ軸方向に振動
する。ただし、振動片１２，１３の前記Ｘ軸方向の振動
は互いに逆相である。

【００２１】このような状態で、車両が走行するととも
に旋回すると、Ｚ軸方向と平行であって振動片１２，１
３の中心位置の軸線回りに角速度が発生する。この場
合、振動片１２，１３はＸ軸方向に互いに逆相に振動し
ているので、コリオリ力によって振動片１２，１３は前
記角速度に比例した振幅でＹ軸方向に互いに逆相に振動
し始める。そして、検出用圧電素子１８，１９が振動片
１２，１３の前記各コリオリ力によるＹ軸方向の振動を
検出し、差動増幅器３１がこれらの各検出信号の差を取
ることにより合成して出力するので、同差動増幅器３１
から前記角速度に比例した振幅の振動波形信号が出力さ
れることになる。そして、この振動波形信号は同期検波
回路３２によって同期検波されて前記角速度を表す電圧
信号に変換され、この電圧信号はローパスフィルタ３３
によって積分されるとともに、直流増幅器３４によって
直流増幅されて外部に取り出される。

【００２２】上記作動説明のように、上記実施形態にお
いては、車両の停止状態における角速度「０」の状態
で、励振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂに
等しい大きさの励振信号を印加して振動片１２，１３を
Ｘ軸方向に励振し、Ｙ軸方向の漏れ振動による振動片１
２，１３の振動の方向及び漏れ振動の大きさを測定する
ようにした。そして、車両走行中における実際の角速度
の検出時には、前記測定結果に応じて、励振用圧電素子
１４ａ，１４ｂ間及び励振用圧電素子１５ａ，１５ｂ間
にそれぞれ異なる大きさの励振信号を印加して前記漏れ
振動を打ち消すようにした。その結果、上記実施形態に
よれば、Ｙ軸方向の漏れ振動の影響を受けることなく、
角速度を高精度で検出できるようになる。

【００２３】次に、上記実施形態の変形例について説明
する。この変形例は、角速度検出装置を車両に実装する
前に角速度センサ１０の漏れ振動を予め測定しておき、
角速度検出装置には前記漏れ振動を測定する装置を設け
ることなく測定結果のみを利用するようにしたものであ
る。すなわち、角速度センサ１０の生産時に、図６に示
すように、角速度センサ１０のモニタ用圧電素子１６，
１７と励振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ
との間にオートゲインコントローラ回路２１を接続する
とともに、検出用圧電素子１８，１９に漏れ振動測定回
路４１を接続して、振動片１２，１３を等しい大きさの
励振信号で励振し、漏れ振動測定回路４１によりＹ軸方
向の漏れ振動による振動片１２，１３の各振動のＸ軸方
向に対する傾き方向及び各漏れ振動の大きさを測定する
ようにする。なお、オートゲインコントローラ回路２１
及び漏れ振動測定回路４１としては、上記実施形態にて
用いたものを利用できる。また、この場合には、漏れ振
動測定回路４１に代えて、振動片１２，１３の変位を直
接的に検出するレーザドップラー変位計を用いることも
できる。

【００２４】そして、車両に実装される角速度検出装置
は、図７に示すように構成される。この角速度検出装置
は、上記実施形態における漏れ振動測定回路４１、ワン
ショット回路４２、記憶回路４４及びゲイン制御回路４
５を省略するとともに、上記実施形態のゲイン調整回路
２２を多少変形して構成したものである。この変形した
ゲイン調整回路２２Ａは、同回路２２Ａ内に前記測定し
たＹ軸方向の漏れ振動による振動片１２，１３の各振動
のＸ軸方向に対する傾き方向及び各漏れ振動の大きさを
記憶する記憶回路を内蔵させておいて、オートゲインコ
ントローラ回路２１からの励振信号のゲイン（振幅）を
前記記憶回路の記憶内容に応じて上記実施形態の場合と
同様に制御する。この場合、前記測定結果を人手を介し
て記憶回路に記憶させるようにしてもよいし、前記図６
の測定装置に連動して前記測定結果が自動的に記憶回路
に書き込まれるようにしてもよい。他の回路について
は、上記実施形態の場合と全く同様に動作する。したが
って、この変形例によれば、上記実施形態の場合と同様
な効果が期待される他、車両に実装される角速度検出装
置から漏れ振動を測定するための回路装置が不要になる
という効果を期待できる。

【００２５】なお、上記実施形態及びその変形例におい
ては、振動片１２，１３の外側面１２ｄ，１２ｅ及び１
３ｄ，１３ｅが互いに９０度の角度をなすように構成し
たが、前記角度を９０度以外の値に設定してもよい。ま
た、図８に示すように、振動片１２，１３の断面形状を
非対称に形成して、外側面１２ｄ，１３ｄと正面１２
ａ，１３ａとのなす各角度と、外側面１２ｅ，１３ｅと
裏面１２ｂ，１３ｂとのなす各角度をそれぞれ異ならせ
るようにしてもよい。さらに、振動片１２，１３の各断
面形状を５角形以外の形状にしたり、励振用圧電素子１
４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの形状を異ならせてもよ
い。ただし、これらの場合には、ゲイン調整回路２２に
て制御される励振信号のゲインを、励振用圧電素子１４
ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂによる振動片１２，１３の
Ｙ軸方向への励振成分の大きさをも考慮して決定しなけ
ればならない。要するに、振動片１２，１３の断面形状
及び励振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの
形状は種々に変形することができ、励振用圧電素子１４
ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを振動片１２，１３に添着
した状態で、励振用圧電素子１４ａ，１４ｂが振動片１
２をＸ軸方向に励振すると同時にＹ軸方向の正負反対に
励振し、かつ励振用圧電素子１５ａ，１５ｂが振動片１
３をＸ軸方向に励振すると同時にＹ軸方向の正負反対に
励振することができるものであればよい。

【００２６】また、上記実施形態及びその変形例におけ
る振動片１２，１３自体を圧電材料で構成するようにし
てもよい。この場合、上記実施形態及びその変形例の励
振用圧電素子１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ及び検出
用圧電素子１８，１９を導電体で構成した電極板に代え
ればよい。

【００２７】さらに、上記実施形態及びその変形例にお
いては、本発明に係る角速度センサ１０を含む角速度検
出装置を車両に実装した例について説明したが、本発明
は、角速度の検出を必要とするものであれば、車両以外
の種々の装置にも適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態に係る各速度センサの概
略斜視図である。

【図２】 図１の２−２線に沿って見た断面図である。

【図３】 図１の角速度センサを含む角速度検出装置の
全体ブロック図である。

【図４】 図１の角速度センサにおける漏れ振動による
振動片の一振動態様を示す作動説明図である。

【図５】 図１の角速度センサにおける漏れ振動による
振動片の他の振動態様を示す作動説明図である。

【図６】 前記実施形態の変形例に係り、振動片の漏れ
振動を測定する装置のブロック図である。

【図７】 同変形例に係り、振動片の角速度を検出する
角速度検出装置のブロック図である。

【図８】 角速度センサの振動片の断面形状を非対称に
した変形例を示す断面図である。

【符号の説明】

１０…角速度センサ、１２，１３…振動片、１２ａ，１
３ａ…正面、１２ｄ，１２ｅ，１３ｄ，１３ｅ…外側
面、１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ…励振用圧電素
子、１６，１７…モニタ用圧電素子、１８，１９…検出
用圧電素子、２１…オートゲインコントローラ回路、２
２…ゲイン調整回路、３１…差動増幅器、３２…同期検
波回路、４１…漏れ振動測定回路、４４…記憶回路、４
５…ゲイン制御回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動片を第１の方向に励振する励振手段
   と、前記第１の方向と直交する第２の方向の前記振動片
   の振動を検出する振動検出手段とを前記振動片に設け、
   前記励振手段により前記振動片を前記第１の方向に振動
   させた状態で前記振動検出手段によって前記第２の方向
   の振動を検出することにより、前記第１及び第２の方向
   に共に直交する第３の方向に平行な軸線回りの角速度を
   検出する角速度センサにおいて、前記励振手段を、前記
   第１の方向からそれぞれ所定角度だけ前記第２の方向に
   傾いていると共に同第１の方向を挟む第４及び第５の方
   向に前記振動片をそれぞれ励振する第１及び第２の励振
   手段で構成したことを特徴とする角速度センサ。