JP2007127654A - マイクロメカニカルデバイス、共鳴構造、およびマイクロメカニカルデバイスの励起方法 - Google Patents
マイクロメカニカルデバイス、共鳴構造、およびマイクロメカニカルデバイスの励起方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 共鳴構造10を備えたマイクロメカニカルデバイス20であって、共鳴構造10は、所定方向に延びるビーム1と、ビーム1に取り付けられた少なくとも1つの質量要素2とを備える。共鳴構造10は、励起されると主に回転する励起運動を行い、共鳴構造10には、励起運動の大部分がが行われる励起面9が形成され、質量要素2は、共鳴構造10の回転慣性テンソルの主軸の全てが励起面9の法線と一致しないように構成されていることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
例えば角速度センサー等のデバイスの各部材は、センサー素子を備えた共鳴構造の励起が、励起運動の所望面に対して法線面でなされるように配置する必要がある。角速度センサーでは、センサーに含まれるセンサー素子が励起電極により、励起電極表面に略平行な動きに振動するよう励起されなくてはならない。つまり、このようなデバイスは、励起運動において、各部材が励起運動の所望面に対して法線方向になるように設計されなくてはならない。
このような問題は、前述したようなセンサへの適用に限らず、共鳴構造を使用する他のマイクロメカニカルデバイスにも同様の問題がある。
少なくとも1つの共鳴構造と、
前記共鳴構造に励起運動させる励起手段とを備え、
前記共鳴構造は、所定方向に延びるビームと、
前記ビームに取り付けられた少なくとも1つの質量要素とを備え、
前記共鳴構造は、
励起されると主に回転する励起運動を行うものであるとともに、
前記共鳴構造には、前記励起運動の大部分が行われる励起面が形成され、
前記質量要素は、該共鳴構造の回転慣性テンソルの主軸の全てが前記励起面の法線と一致しないように構成されていることを特徴とする。
ビームと、
該ビームに取り付けられた、少なくとも1つの質量要素とを備え、
前記共鳴構造は、励起されると主に回転する励起運動を行うものであるとともに、
前記共鳴構造には、前記励起運動の大部分が行われる励起面が形成され、
前記質量要素は、前記共鳴構造の回転慣性テンソルの主軸の全てが前記励起面の法線と一致しないように構成されている
ことを特徴とする。
共鳴構造の回転慣性テンソルの主軸がいずれも励起面の法線とならないように構成された形状を有する質量要素を少なくとも1つ設けておき、
前記共鳴構造が前記励起面の法線方向に励起運動するよう励起する
ことを特徴とする。
図2を参照すると、本実施形態の共鳴構造10は、例えば結晶シリコンの基板(図4の基板11参照)に構成される。この共鳴構造10は、所定方向(図2の紙面直交方向、図4のY軸方向)に延びるビーム1と、このビーム1に取り付けられた単一または複数の質量要素2とを備えている。共鳴構造10は、例えば、センサー素子としてもよく、また、車輪の回転からエネルギーを得てセンサーデバイスなどのデバイスを駆動する装置と一体として設けられてもよい。
これに対し、本実施形態の共鳴構造10では、質量要素2の端部形状を調整することにより、質量要素2の断面形状を不規則にし、これにより所望の励起特性を確保することができる。そして、励起特性の確保が質量要素2側で行えるようにすることで、ビーム1の断面形状による調整が不要となり、ビーム1の断面形状を単純な矩形とすることが可能となり、細かな部分の製造に伴う形状誤差の発生の可能性を大幅に低減することができ、製造公差の影響を大幅に緩和することができる。
従って、本発明に基づく共鳴構造によって、不規則なビーム断面を有する従来のデバイスと同等の動作が可能なセンサーデバイスが提供されるだけでなく、製造公差に対してより耐性のあるセンサーデバイスを提供することができる。
各図において、質量要素2の表面(XY平面)は共鳴構造10の励起面9となる。質量要素2の回転慣性テンソル主軸はX、Zとして示されており、質量要素2の断面形状の不規則化によって変更された主軸はそれぞれX´、Z´として示される。質量要素2の形状は、回転慣性テンソルの主軸が励起面9(XY平面)の法線(Z軸)にならないように構成されている。
一方、ビーム1は、励起面9の法線方向の断面形状が矩形など規則的な断面形状を有する。これにより、小さな部材が表面外におかれる励起モードとなり、例えばセンサー素子等の共鳴構造10の一方側から、共鳴構造10を励起させ、また検出することが可能になる。
図3Bに示すように、図3Aに示す質量要素2の形状を変形して、ビーム1の中心を通る軸について線対象となるが、面対称とはならないような形状にしてもよい。図3Bにおいては、一本のビーム1の中間に2つの質量要素2が配置され、各質量要素2にはその両端にそれぞれ比較的薄い辺縁部2Aおよび比較的厚い辺縁部2Bが形成されている。辺縁部2Aと辺縁部2Bとは、互いに質量要素2の上下逆側に形成されており、質量要素2の断面形状はビーム1の中心軸に対してほぼ点対称(質量要素2としてはビーム1の中心軸に対してほぼ線対称)となっている。ここで、辺縁部2Aと辺縁部2Bとの厚みの相違があるが、実用上問題にならない程度に収められればよい。
図3Cに示すように、ビーム1の先端に質量要素2を設け、その両側に辺縁部2A、辺縁部2Bを設けてもよい。このような構成においては前述した図3Bと同様な特性が得られる。
図3Dに示すように、ビーム1の先端に質量要素2を設け、その一方の側に辺縁部2Bだけを設けてもよい。このような構成においては前述した図3Aと同様な特性が得られる。
図3Eに示すように、ビーム1の先端に質量要素2を設け、そのビーム1と接続されるのとは反対側に辺縁部2Bを設けてもよい。このような構成においても、質量要素2の断面形状が不規則化されるため、その調整により所望の励起特性を得ることが可能となる。
マイクロメカニカルデバイス20は、結晶性シリコンウエハからなる基板11を有し、この基板11の中央に形成された開口部分にはビーム1がいわば橋状に掛け渡されている。ビーム1の中間部分には質量要素2が形成されている。
本実施形態において、質量要素2は一つであるが、複数がビーム1に設置されてもよい。一つの基板11に複数のビーム1が設けられていてもよい。ビーム1は両端が基板11に固定される両持ち形式に限らず、一方の端部だけが基板11に固定されるいわゆる片持ち形式としてもよく、この場合には質量要素2はビーム1の固定されていない端部に配置されていてもよい。
マイクロメカニカルデバイス20は、励起手段である励起電極5および検出手段である検出電極6を備え、かつ励起面9(XY平面)に平行な軸廻りの角速度を感知する。励起電極5は使用時に、励起面の法線方向に共鳴構造10が励起運動をするよう励起する。一方で検出電極6は、励起電極5により引き起こされたのではない励起面の法線方向の動きを検出する。デバイス20はこのような共鳴構造10を1つ以上備えていてもよい。
2 質量要素
2A,2B 辺縁部
5 励起手段である励起電極
6 検出手段である検出電極
9 励起面
10 共鳴構造(センサー素子)
20 マイクロメカニカルデバイス
Claims (15)
- 少なくとも1つの共鳴構造と、
前記共鳴構造に励起運動させる励起手段とを備えたマイクロメカニカルデバイスであって、
前記共鳴構造は、所定方向に延びるビームと、
前記ビームに取り付けられた少なくとも1つの質量要素とを備え、
前記共鳴構造は、
励起されると主に回転する励起運動を行うものであるとともに、
前記共鳴構造には、前記励起運動の大部分が行われる励起面が形成され、
前記質量要素は、前記共鳴構造の回転慣性テンソルの主軸の全てが前記励起面の法線と一致しないように構成されている
ことを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1に記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記共鳴構造の前記ビームは前記励起面に直交する方向の断面が矩形であることを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1または請求項2に記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記共鳴構造の前記質量要素は、前記ビームの断面形状の中心を通る軸線について非対称に、かつ、前記ビームの長手方向軸線に平行に構成されていることを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1または請求項2に記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記共鳴構造の前記質量要素が、前記ビームの断面形状の中心を通る軸線について線対称であり、かつ前記ビームの長手方向軸線に平行に構成されているが、前記ビームの断面形状の中心を通る軸線について面対称にはなっていないことを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記共鳴構造はセンサー素子であることを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記マイクロメカニカルデバイスはセンサーデバイスであり、
前記励起手段は使用時に、前記励起面の法線方向に前記共鳴構造が励起運動をするよう励起し、
前記マイクロメカニカルデバイスはさらに、使用時に前記励起手段によらない前記励起面の法線方向の動きを検出する検出手段を備えた
ことを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記共鳴構造は励起されると主に回転運動を行うように構成されていることを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記マイクロメカニカルデバイスはエネルギー発生装置であり、
前記共鳴構造は励起されると主に回転運動を行うように構成され、
前記共鳴構造は使用時に、励起状態にある前記共鳴構造の回転軸が車輪の回転軸に略直交するように前記車輪に固定され、
前記マイクロメカニカルデバイスはさらに、使用時に、励起状態にある前記共鳴構造のコリオリの力を変換しエネルギーを発生させる
ことを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - 請求項1ないし請求項8のいずれかに記載のマイクロメカニカルデバイスにおいて、
前記励起手段が前記共鳴構造の励起運動を静電駆動することを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。 - マイクロメカニカルデバイスに使用される共鳴構造であって、
前記共鳴構造は、
ビームと、前記ビームに取り付けられた、少なくとも1つの質量要素とを備え、
前記共鳴構造は、励起されると主に回転する励起運動を行うものであるとともに、
前記共鳴構造には、前記励起運動の大部分が行われる励起面が形成され、
前記質量要素は、前記共鳴構造の回転慣性テンソルの主軸の全てが前記励起面の法線と一致しないように構成されている
ことを特徴とする共鳴構造。 - 請求項10に記載の共鳴構造において、
前記ビームはその断面が前記励起面の法線となることを特徴とする共鳴構造。 - 請求項10または請求項11に記載の共鳴構造において、
前記質量要素は、前記ビームの断面形状の中心を通る軸線について非対称に、かつ、前記ビームの長手方向軸線に平行に構成されていることを特徴とする共鳴構造。 - 請求項10または請求項11に記載の共鳴構造において、
前記質量要素が、前記ビームの断面形状の中心を通る軸線について線対称であり、かつ前記ビームの長手方向軸線に平行に構成されているが、前記ビームの断面形状の中心を通る軸線について面対称にはなっていないことを特徴とする共鳴構造。 - 請求項10ないし請求項13のいずれかに記載の共鳴構造において、
前記共鳴構造はセンサー素子であることを特徴とする共鳴構造。 - マイクロメカニカルデバイスの励起面で共鳴構造を励起するマイクロメカニカルデバイスの励起方法であって、
共鳴構造の回転慣性テンソルの主軸がいずれも励起面の法線とならないように構成された形状を有する質量要素を少なくとも1つ設けておき、
前記共鳴構造が前記励起面の法線方向に励起運動するよう励起する
ことを特徴とするマイクロメカニカルデバイスの励起方法。
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