JP2006262289A - 圧電振動子及び圧電振動子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 圧電振動子の平面部と側面部が当接する稜線角部において、電極配線が断線する問題がある。
【解決手段】振動部と基部とを備え、前記振動部または基部の平面部と側面部に、それぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線とを設け、前記平面部と前記側面部とが当接する稜線角部を有する圧電振動子であって、前記稜線角部の近傍に、前記平面配線と前記側面配線とに接続されると共に、前記稜線角部を渡るように配設された角部配線を備え、この角部配線の前記稜線角部を渡る渡り部を、前記平面配線の線幅よりも広くする。これにより、微細な電極形状パターンを有する電気的断線のない高精度かつ信頼性の高い圧電振動子を提供することができる。
【選択図】 図６

Description

本発明は、振動部と基部を備えた圧電振動子の振動子または基部の平面部と側面部に、それぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線を設けた圧電振動子の電極配線に関するものである。特に、平面配線と側面配線とが接続される接続部の構造に関する。

圧電振動子を用いた各種センサは小型化の一途を辿ってきており、これに伴い振動子上に配する電極配線も細線化、高集積化が進んでいる。振動子の特性を維持しつつ、上記の要求を満たすためには、電極配線の設計上および製造プロセス上の更なる工夫が必要となってきている。

圧電振動子の電極配線の形成方法としては、フォトリソグラフィー技術を用いた電極パターン形成が通常用いられている（例えば、特許文献１参照）。

以下に、図９（ａ）〜（ｃ）を用いて特許文献１の構成を説明する。図９（ａ）は音叉型水晶片１００の全体図である。図９（ｂ）は図９（ａ）のＦＦ部の断面であり、溝１０３ａに形成された溝電極１０３ｂを示している。図９（ｃ）は図９（ｂ）のＧ部の拡大図であり、溝電極１０３ｂが腕表面１０３ｅへ亘る部分を示した部分拡大図である。

音叉型水晶振動片１００は、基部１０１とこの基部１０１から突出するように形成されている２本の腕部１０２，１０３を有している。そして、この２本の腕部１０２、１０３には溝１０２ａ、１０３ａが形成されている。この溝１０２ａ，１０３ａにはフォトリソグラフィー技術を用いて、ＡｕＣｒの溝電極１０２ｂ、１０３ｂが形成される。

図９（ｃ）には、フォトリソグラフィー技術を用いて溝電極１０３ｂを形成するときに、溝電極１０３ｂの上にレジスト膜１０５を塗布した状態が示されている。溝電極１０３ｂは溝側壁１０３ｃ上に配設される溝側壁電極１０３ｄと腕表面１０３ｅ上に配設される溝表面電極１０３ｆを有し、溝側壁電極１０３ｄと溝表面電極１０３ｆの上にはレジスト膜１０５が塗布されている。エッジ部１０４は、溝側壁１０３ｃと腕表面１０３ｅとが当接する角部である。図からも分かるように、レジスト膜１０５は溝電極１０３ｂ上に塗布されているが均一の厚みではなく、エッジ部１０４では特に厚みが薄く形成されている。

次に、音叉型圧電振動子２００の腕部２０１に励振電極２０３を配設し、音叉型圧電振動子２００の基部２０２に検出電極２０４を配設した特許文献２について図１０を用いて説明する。

図１０に示すように、音叉型圧電振動子２００の平面部２０５に形成された励振電極２０３と検出電極２０４とが側面部２０６へ引き回されている。これら励振電極２０３と検出電極２０４は、平面部２０５と側面部２０６とが当接する角部２０７を通って平面部２０５から側面部２０６へ亘っている構造になっている。このとき、平面部２０５側の電極幅と側面部２０６側の電極幅とは同一幅に形成されている。

特開２００３−１３３８９５号公報 特開２００３−２２２５２２号公報

図９（ｃ）に示したように、溝電極１０３ｂのエッジ部１０４におけるレジスト膜１０５はレジスト膜特有の表面張力の影響をうけるため、エッジ部１０４から離れる方向へ引き寄せられる。この結果、エッジ部１０４におけるレジスト膜１０５は他の部分に比べて膜厚が薄くなってしまう。この状態で、電極パターンを形成する工程を進めると、レジスト膜が薄く形成されたエッジ部１０４では、フォトリソグラフィー工程の露光が過剰となりレジスト膜が消失してしまうことがある。このとき、エッジ部１０４を通る溝電極１０３ｂの電極幅が十分に太く形成されていない場合には、エッジ部１０４を挟んで溝側壁１０３ｃに配置されている溝側壁電極１０３ｄと、腕表面１０３ｅに配置されている溝表面電極１０３ｆとが断線してしまうという問題が生じる。

特に、図１０に示す音叉型圧電振動子２００の電極配線では、検出電極２０４と励振電極２０３とが平面部２０５から側面部２０６へ亘る角部２０７近傍において、電極幅が細くて同一に形成されている。そのために、上記したレジスト膜１０５の消失による断線が生じる可能性が非常に高い。音叉型圧電振動子は小型化が進んでいるために、電極パターンの微細化がより要求されるようになっていることを考えると、この問題は避けることができない。

本発明の目的は上記課題を解決し、電極の形状がより微細化、小型化しても圧電振動子の表面に電気的な不導通のない高精度かつ信頼性の高い小型の圧電振動子およびその製造方法を提供するものである。

本発明は、振動部と基部とを備え、前記振動部または基部の平面部と側面部に、それぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線とを設け、前記平面部と前記側面部とが当接する稜線角部を有する圧電振動子において、前記稜線角部の近傍に、前記平面配線と前記側面配線とに接続されると共に、前記稜線角部を渡るように配設された角部配線を備え、この角部配線の前記稜線角部を渡る渡り部が、前記平面配線の線幅よりも広いことを特徴とする。この構成により、圧電振動子の稜線角部において電極が電気的に不導通となることが抑止されて良好な電極パターニングが形成できる。

また、前記渡り部は、前記側面配線の線幅よりも広いことを特徴とする。

また、前記角部配線の前記渡り部と略平行に位置する線幅は、前記稜線角部に近づくにしたがって広くなることを特徴とする。この構成により、平面配線の線幅を角部配線のところで急激に大きくせずに緩やかに大きくすることができるので、電気的な断線を効果的に防止することが可能となる。特に、平面配線の線幅が極めて細い場合には有効となるので、圧電振動子を小型化する場合により適している。

また、前記渡り部は、７０μｍ〜２００μｍが好ましい。前記渡り部は最小でも７０μｍの幅を確保することにより、電気的導通の確実に取れる電極配線が可能となる。また、小型の圧電振動子の製造プロセス上、線幅は最大でも２００μｍ程度が好ましい。

また、前記渡り部が７０μｍ以上ある場合には、上記の理由により、角部配線の線幅は、前記平面配線と同じ線幅であっても構わない。

また、前記角部配線は、前記稜線角部から少なくとも１０μｍ離した所まで配設される。これにより、角部配線を確実に所望の位置へパターニングすることが可能となる。

また、前記圧電振動子は振動ジャイロ用の圧電振動子であることを特徴とする。これにより、小型で高精度及び信頼性の高い振動ジャイロセンサを実現できる。

また、本発明は、圧電基板をワイヤーソウ加工、エッチング加工等により、振動部と基部を有する圧電振動子を形成する振動子加工工程と、前記圧電振動子の表面に電極膜を形成する電極膜形成工程と、前記電極膜上にレジストを形成するレジスト形成工程と、前記レジストを露光・現像するとき、前記基部または前記振動部の平面部と側面部にそれぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線を設け、前記平面部と前記側面部とが当接する稜線角部を有するとともに、前記稜線角部の近傍に、前記平面配線と前記側面配線とに接続されると共に、前記稜線角部を渡るように配設された角部配線を有し、この角部配線の前記稜線角部を渡る渡り部を、前記平面配線の線幅よりも広くする露光・現像工程と、不要なレジストと電極膜を除去して所望の電極と配線を得るパターニング工程とを有することを特徴とする。この構成により、電極が電気的に不導通となることが抑止されて良好な電極パターニングを形成した圧電振動子を製造できる。

本発明によれば、電極の形状がより微細化、小型化しても圧電振動子の稜線角部を渡る渡り部において電極が電気的に不導通となることが抑止されて良好な電極パターニングが形成できるため、高精度かつ信頼性の高い圧電振動子及び圧電振動子の製造方法を提供できるという効果を有するものである。

以下に本発明を実施するための最良の形態を図１〜図８を用いて説明する。

（第１の実施形態）
以下に、図１〜図６を用いて本発明の第１の実施形態における圧電振動子及び圧電振動子の製造方法について説明する。

まず、振動子加工工程として図１に示すように、圧電基板1をワイヤ−ソウ加工、エッチング加工等により、圧電振動子としての振動子音叉片２に加工する。振動子音叉片２の近傍には、後述するフォトレジスト９の露光・現像工程で使用するアライメントマーク３を、この段階で予め成形させておく。以下の説明において、図面上では振動子音叉片２とアライメントマーク３の近傍領域を用いる。

その後、電極膜形成工程として図２に示すように、真空蒸着法あるいはスパッタリング法等により、振動子音叉片２の表面全域に金属膜８を形成する。金属膜８の材質は、振動子音叉片２の母材となる圧電基板１によりその組成が異なってくるが、圧電基板１の母材として水晶を用いる場合は、クロム（Ｃｒ）と銀（Ａｇ）、クロムと金（Ａｕ）または、チタン（Ｔｉ）とパラジウム（Ｐｄ）といった組み合わせが用いられる。

図２に示すように、振動子音叉片２の上面側を平面部６、側面側を側面部７とする。また、振動子音叉片２の振動する部分を振動部５、振動子音叉片２の基部となる部分を基部４とする。

次に、レジスト形成工程として図３に示すように、電極膜８を形成した振動子音叉片２の表面全域にフォトレジスト９をスプレー式の塗布、または電着式の塗布等の技法を用いて塗布する。フォトレジスト９は、説明上塗布される部分を点線とハッチングで示している。

次に、フォトレジスト９を塗布した振動子音叉片２をベーキング（図示せず）する。これは、高精度の電極パターンを形成するには、フォトレジスト９を塗布することによって振動子音叉片２上に形成されるフォトレジスト９の厚みムラを一定の水準以上に均一にさ
せる必要があるためのものである。

図４は、図３のＡＡ部の断面を示した部分断面図である。図４に示すように、ベーキングによりフォトレジスト９の塗布面は均されるが、一方で表面張力の影響により、フォトレジスト９は振動子音叉片２の平面部６の中央側に引き寄せられる。そのため、図４に示すように、平面部６と側面部７とが当接する稜線角部の近傍に塗布される稜線角部レジスト１１の厚さは、平面部６の中央側に塗布される平面部レジスト１０に比べて極めて薄くなる。

この状態で、振動子音叉片２の片側の平面部６側に感光部１３と遮光部１４が形成されたフォトマスク１２を配置して、フォトマスク１２に対して光を照射し露光を行う。

次に、露光・現像工程とパターンニング工程を図５〜図７を用いて説明する。図５に示すように、フォトマスク１２を振動子音叉片２の一方の平面部６上に設置し、振動子音叉片２に成形したアライメントマーク３に、マスク側アライメントマーク１５を合わせこみ、露光を行う。フォトマスク１２は、振動子音叉片２の基部４または振動部５における稜線角部２０近傍に形成する電極配線に対応する部分に、拡張配線パターン１６ａ〜１６ｅを設ける。

同様に、反対側の平面部（図示せず）上に対しても、振動子音叉片２にフォトマスク１２を合わせこみ、露光を行う。このため、位置決め用のアライメントマーク３を振動子音叉片２の表面側と裏面側に対してそれぞれ１個以上形成させておく必要がある。

露光は片面ごとの処理の場合について説明をしたが、振動子音叉片２をフォトマスク１２の２枚で挟み込み、両面露光により一度の露光処理で済ませても良い。この露光処理が終了した後、現像処理を実施して露光・現像工程が完了する。

図６は、露光・現像工程の後にパターンニング工程を実施して所望の電極配線をパターンニングした振動子音叉片２を示したものである。図６（ａ）は、振動子音叉片２の全体斜視図である。図６（ｂ）は図６（ａ）のＢ部を拡大した部分斜視図、図６（ｃ）は図６（ａ）のＣ部を拡大した部分斜視図である。

平面部６に配線される電極配線を平面配線１７、側面部７に配線される電極配線を側面配線１８とする。平面部６と側面部７とが当接する部分を稜線角部２０とする。この稜線角部２０の近傍において、平面配線１７と側面配線１８とに接続され、かつ、稜線角部２０を渡るように配設される電極配線を角部配線２１ａ〜２１ｅ、角部配線２２とする。

角部配線２１ａ〜２１ｅは平面部６側に配設され、角部配線２２は側面部７側に配設される。本実施形態では、角部配線２１ａ〜２１ｅ、２２を略矩形形状とする。稜線角部２０と略平行に位置する角部配線の線幅は、変化せずに略同一幅となっている。

また、平面部６側に配設される角部配線２１ａが稜線角部２０を渡る部分を渡り部１９とする。平面部６側に配設される角部配線２１ｂと側面部７側に配設される角部配線２２との間であり、稜線角部２０を渡る部分を渡り部２４とする。尚、渡り部の説明として角部配線２１ａ、２１ｂ、２２を用いて説明するが、角部配線２１ｃ〜２１ｅにも当然に渡り部は存在する。

図４に示したように露光処理では、フォトレジスト９の厚い平面部レジスト１０に合わせて条件出しを行うため、フォトレジスト９の厚さの薄い稜線角部レジスト１１では、過剰な露光条件となる。そのため、図６（ｂ）に示すように、角部配線２１ａの渡り部１９
を、平面配線１７の線幅より広くすることにより、稜線角部２０に塗布されるフォトレジスト９が薄くなってもフォトレジスト９が現像を経ても残され、振動子音叉片２の稜線角部２０の配線は保護される。その結果、電気的に不導通のない所望の角部配線２１ａを得ることができる。尚、図６（ｂ）では、角部配線２１ａの渡り部１９と側面配線１８の線幅は同一としてある。

また、図６（ｃ）に示すように、振動子音叉片２の振動部５においても、角部配線２１ｂの渡り部２４は、平面配線１７の線幅より広く形成されている。側面部７側の角部配線２２は、平面部６側の角部配線２１ｂと同じ線幅に形成されているが、側面配線１８の線幅は角部配線２２よりも細く形成されている。このようにすれば、側面配線１８の線幅を細くすることができ、小型の振動子音叉片２に電極配線を形成するときに配線効率が良い。

角部配線２１ａ、２１ｂ、２２の渡り部１９、２４の線幅が７０μｍ以上ある場合は、稜線角部２０に塗布されるフォトレジスト９は、過剰な露光条件に晒されても十分に耐久できる。従って、この場合には角部配線２１ａ、２１ｂ、２２の渡り部１９、２４を平面配線１７と側面配線１８と同じ線幅にしても構わない。

図６（ｂ）に示すように、渡り部１９の線幅ｄ１は、７０μｍ〜２００μｍであることが望ましい。これは、線幅が７０μｍ未満であると、角部配線２１ａに塗布されるフォトレジスト９の耐久性が悪くなり、その結果、稜線角部２０に形成する電極配線の保護が非常に難しくなるからである。また、線幅の上限に関しては、特に技術的な制約はないが、小型振動子の製造プロセス上、線幅が２００μｍより大きくなると小型化に困難となる。

また、図６（ｂ）に示すように、角部配線２１ａの稜線角部２０から離れる距離Ｌ１が、１０μｍ以上であることが望ましい。これより短くした場合、電極配線のパターンずれや振動子音叉片２の加工精度等により、渡り部１９を含めた角部配線２１ａの線幅を確実に大きくすることが困難になるからである。角部配線２１ａを稜線角部２０から、少なくとも１０μｍ離した所まで配設することにより、角部配線２１ａに対して、線幅を確実に広げることができ、所望の位置へパターニングすることが可能となる。

以上、図１より図６を用いて本発明の圧電振動子及び圧電振動子の製造方法を説明したが、圧電振動子の基部４および振動部５にフォトレジスト９を露光・現像するとき、稜線角部を渡る角部配線の渡り部を、平面配線の線幅よりも広くして露光・現像することが重要である。その後、不要なフォトレジストと電極膜を除去することにより、微細な電極パターンを有する電気的に不導通のない小型の圧電振動子を、高精度かつ容易に作成することができる。

（第２の実施形態）
図７は本発明の第２の実施形態における圧電振動子を説明したものである。図７（ａ）は、振動子音叉片２の全体斜視図である。図７（ｂ）は図７（ａ）のＤ部を拡大した部分斜視図である。本実施形態における圧電振動子の製造方法は、前述した第１の実施形態と同様であるため説明は省略し、第１の実施形態と異なる部分のみを説明する。

本実施形態で第１の実施形態と異なる部分は、稜線角部２０の近傍において平面配線１７と側面配線１８とに接続され、かつ、稜線角部２０を渡るように配設される角部配線２３ａの渡り部２５と略平行に位置する線幅が稜線角部２０に近づくに従って広くなるところである。角部配線２３ａは、稜線角部２０に直交する２つの直線部２３ａ１と、この直線部２３ａ１と平面配線１７とに接続される２つの傾斜部２３ａ２とを有する。ここで、角部配線２３ａの渡り部２５と略平行に位置する線幅は、２つの傾斜部２３ａ２との間の
線幅であり、渡り部２５にほぼ平行に位置している。

本実施形態では、平面部６側に設けられる角部配線２３ａ〜２３ｅの渡り部と略平行に位置する線幅が稜線角部２０に近づくに従って広くなっている。このように角部配線２３ａ〜２３ｅの渡り部と略平行に位置する線幅を緩やかに広くすることにより、平面配線１７の線幅を角部配線２３ａ〜２３ｅとの接続部で急激に大きくせずに少しずつ緩やかに大きくできるのでフォトレジスト９をより多く残すことができ、電気的な断線を効果的に防止することが可能となる。特に、平面配線１７の線幅が極めて細い場合には有効となるので、小型化にはより適している。

尚、本実施形態では、角部配線２３ａとして渡り部２５に直交する２つの直線部２３ａ１を備えた形状で説明したが、この直線部２３ａ１がなく、２つの傾斜部２３ａ２が稜線角部２０に当接するまで延出するようにしても構わない。

図７（ｂ）に示すように、角部配線２３ａの稜線角部２０を渡る渡り部２５の線幅ｄ２は、第１の実施形態と同様に７０μｍ〜２００μｍであることが望ましい。これは、線幅が７０μｍ未満であると、角部配線２３ａに塗布されるフォトレジスト９の耐久性が悪くなり、その結果、稜線角部２０に形成する電極配線の保護が非常に難しくなるからである。また、線幅の上限に関しては、特に技術的な制約はないが、小型振動子の製造プロセス上、線幅が２００μｍより大きくなると小型化に困難となる。

また、図７（ｂ）に示すように、角部配線２３ａにおける直線部２３ａ１の距離Ｌ２は、１０μｍ以上であることが望ましい。これより短くした場合、電極配線のパターンずれや振動子音叉片２の加工精度等により、角部配線２３ａの線幅を確実に大きくすることが困難になるからである。直線部２３ａ１を稜線角部２０から、少なくとも１０μｍ離した所まで配設することにより、角部配線２３ａの渡り部２５の線幅を確実に広げることができ、所望の位置へパターニングすることが可能となる。

尚、ｄ２、Ｌ２を角部配線２３ａを用いて説明したが、角部配線２３ａ以外の角部配線２３ｂ〜２３ｅでも同様である。

（第３の実施形態）
図８は本発明の第３の実施形態による圧電振動子の構成を示す斜視図である。本実施形態は本発明を振動子音叉片２の音叉又部２６に適用したものである。図８（ａ）は全体斜視図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）のＥ部を拡大した部分斜視図である。

図８（ｂ）に示すように、音叉又部２６の稜線角部２８に形成される平面部６側の角部配線２９および側面部７側の角部配線３０は、音叉又部２６の稜線角部２８を挟んで配設されている。また、平面部６側に配設される角部配線２９と側面部７側に配設される角部配線３０との間であり、稜線角部２８を渡る部分を渡り部２７とする。

この渡り部２７を、平面配線１７または側面配線１８の線幅よりも大きくとることにより、音叉又部２６の配線は保護され、電気的な不導通のない所望の角部配線２９、３０を得ることができる。また、図８（ｂ）における、角部配線２９、３０の渡り部２７の線幅ｄ３は、第１及び第２の実施形態と同様に、７０μｍ以上であることが望ましい。

以上、第１〜第３の実施形態を３脚音叉型水晶振動子を用いて説明したが、脚の本数には限定されるものではなく、通常の２脚音叉型振動子あるいは、多脚型の構造の振動子にも適用できる。また、第１〜第３の実施形態で用いた振動子音叉片２を振動ジャイロセンサに用いれば、小型で高精度及び信頼性の高い振動ジャイロセンサを実現できる。

以上のように、本発明による圧電振動子の製造方法によれば、圧電基板から微細な電極配線パターンを有する電気的に不導通のない小型の圧電振動子を、高精度かつ容易に作成することができるため、圧電振動子の形状や、電極膜の形状が超小型化しても、充分に高精度な圧電振動子を得ることが出来るという効果を有するものである。

したがって、図９を参照して前述したような、振動子音叉片２の稜線角部２０を引廻す電極配線が十分に太くないときに、露光および現像工程を経て、本来残す必要のある電極配線パターンの消失が起きてしまうという従来の問題は、本発明の場合には生じることがない。

圧電振動子の外形形状を示した斜視図である。 振動子音叉片に電極膜を形成したことを説明する斜視図である。 振動子音叉片にレジスト膜を塗布したことを説明する斜視図である。 図３の振動子音叉片のＡＡ部において、ベーキング処理を施した振動子音叉片に、フォトマスクを用いて露光することを示す断面図である。 振動子音叉片にフォトマスクを用いて露光し、電極を形成することを説明する斜視図である。 本発明を用いて第１の実施形態の電極パターンを形成した振動子音叉片を示す斜視図である。（ａ）は振動子音叉片の全体斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ部を拡大した部分斜視図、（ｃ）は（ａ）のＣ部を拡大した部分斜視図である。 本発明を用いて第２の実施形態の電極パターンを形成した振動子音叉片を示す斜視図である。（ａ）は振動子音叉片の全体斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＤ部を拡大した部分斜視図である。 本発明を用いて第３の実施形態の電極パターンを形成した振動子音叉片を示す斜視図である。（ａ）は、振動子音叉片の全体斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＥ部を拡大した部分斜視図である。 特許文献１における電極パターンを形成した振動子音叉片を示す説明図である。（ａ）は、振動子音叉片の全体平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＦＦ部を拡大した部分断面図であり、（ｃ）は（ｂ）のＧ部を拡大した部分断面図である。 特許文献２における電極パターンを形成した振動子音叉片を示す斜視図である。

符号の説明

１ 圧電基板
２ 振動子音叉片
３ アライメントマーク
４ 基部
５ 振動部
６ 平面部
７ 側面部
８ 金属膜
９ フォトレジスト
１０ 平面部レジスト
１１ 稜線角部レジスト
１２ フォトマスク
１３ 感光部
１４ 遮光部
１５ マスク側アライメントマーク
１６ａ〜１６ｅ 拡張配線パターン
１７ 平面配線
１８ 側面配線
１９、２４、２５、２７ 渡り部
２０、２８ 稜線角部
２１ａ〜２１ｅ、２２、２３ａ〜２３ｅ、２９、３０ 角部配線
２３ａ１ 直線部
２３ａ２ 傾斜部
１００ 音叉型水晶片
１０１ 基部
１０２ 腕部
１０２ａ、１０３ａ 溝
１０２ｂ、１０３ｂ 溝電極
１０３ 腕部
１０３ｃ 溝側壁
１０３ｄ 溝側壁電極
１０３ｅ 腕表面
１０３ｆ 溝表面電極
１０４ エッジ部
１０５ レジスト膜
２００ 音叉型圧電振動子
２０１ 腕部
２０２ 基部
２０３ 励振電極
２０４ 検出電極
２０５ 平面部
２０６ 側面部
２０７ 角部

Claims (8)

1. 振動部と基部とを備え、前記振動部または基部の平面部と側面部に、それぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線とを設け、前記平面部と前記側面部とが当接する稜線角部を有する圧電振動子において、
   前記稜線角部の近傍に、前記平面配線と前記側面配線とに接続されると共に、前記稜線角部を渡るように配設された角部配線を備え、
   この角部配線の前記稜線角部を渡る渡り部は、前記平面配線の線幅よりも広いことを特徴とする圧電振動子。
2. 前記側面配線は、前記渡り部と略同じ線幅を有することを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
3. 前記渡り部は、前記側面配線の線幅よりも広いことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
4. 前記角部配線の前記渡り部と略平行に位置する線幅は、前記稜線角部に近づくにしたがって広くなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電振動子。
5. 前記渡り部は、７０μｍ〜２００μｍであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧電振動子。
6. 前記角部配線は、前記稜線角部から少なくとも１０μｍ離れた所まで配設されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧電振動子。
7. 前記圧電振動子がジャイロセンサ用の圧電振動子であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電振動子。
8. 圧電基板をワイヤーソウ加工、エッチング加工等により、振動部と基部
   を有する圧電振動子を形成する振動子加工工程と、
   前記圧電振動子の表面に電極膜を形成する電極膜形成工程と、
   前記電極膜上にレジストを形成するレジスト形成工程と、
   前記レジストを露光・現像するとき、前記基部または前記振動部の平面部と側面部にそれぞれ電気的に配線した平面配線と側面配線を設け、前記平面部と前記側面部とが当接する稜線角部を有するとともに、前記稜線角部の近傍に、前記平面配線と前記側面配線とに接続されると共に、前記稜線角部を渡るように配設された角部配線を有し、この角部配線の前記稜線角部を渡る渡り部を、前記平面配線の線幅よりも広くする露光・現像工程と、
   不要なレジストと電極膜を除去して所望の電極と配線を得るパターニング工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。

Images