JPWO2018180861A1 - 音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第1の振動腕の表裏両主面にそれぞれ形成された両主面電極のうちの一方の主面電極が、前記基部の厚さ方向に設けられた一対の貫通電極のうちの一方の貫通電極を介して前記第1の振動腕の前記両主面電極のうちの他方の主面電極に接続され、かつ、前記第1の振動腕の前記一方の主面電極が、前記基部から伸長する前記第1,第2の振動腕の両根元部の間の又部を経由するように形成された引回し配線を介して、前記第2の振動腕の外側面と内側面の各々に設けられた一対からなる側面電極に接続されており、
前記第2の振動腕の表裏両主面にそれぞれ形成された両主面電極のうちの、前記第1の振動腕の前記一方の主面電極とは表裏が反対側となる主面に形成された他方の主面電極が、前記一対の貫通電極のうちの他方の貫通電極を介して前記第2の振動腕の前記両主面電極のうちの一方の主面電極に接続され、かつ、前記第2の振動腕の前記他方の主面電極が、前記又部を経由するように形成された引回し配線を介して、前記第1の振動腕の外側面と内側面の各々に設けられた一対からなる側面電極に接続されており、
前記第1の振動腕の前記両主面電極のうちの前記他方の主面電極が、前記第2の振動腕の側面に設けられた前記側面電極に接続されており、
前記第2の振動腕の前記両主面電極のうちの前記一方の主面電極が、前記第1の振動腕の側面に設けられた前記側面電極に接続されている。
前記音叉型圧電振動片は、前記第1,第2の振動腕の前記主面電極及び前記側面電極によって構成される励振電極から引出された接続電極を有し、前記接続電極が、前記パッケージを構成するベースの内部に設けられた搭載電極に導電接合され、前記音叉型圧電振動片が前記パッケージ内に気密封止されている。
t/D=1.0〜1.6
であるのが好ましい。
しかし、隣接する異極のスルーホールH2の周囲の引出し電極54との短絡を防止するためには、引回し配線531の幅は細い方が好ましい。したがって、この実施形態では、断線防止および短絡防止の観点から、引回し配線531の幅は、0.02mm〜0.04mmとしている。
基部2の一端側21から縮幅部79まで引き出されている。一方、振動片1の裏面側においては、図4に示すように、他端側22および突出部4の先端側まで引き出されている。そして図4に示すように、振動片1の裏面における基部2の他端側22の領域と突出部4の先端側の各領域とは、上記容器72の内部に設けられた一対の電極パッド74と各々電気機械的に接続される接続電極532,542となっている。
2 基部
31,32 振動腕
H1,H2 スルーホール(貫通電極)
34 又部
51 第1励振電極
52 第2励振電極
531,541 引回し配線
Claims (3)
- 基部と、当該基部の一端側から同方向に伸長する一対の第1,第2の振動腕を有する音叉型圧電振動片であって、
前記第1の振動腕の表裏両主面にそれぞれ形成された両主面電極のうちの一方の主面電極が、前記基部の厚さ方向に設けられた一対の貫通電極のうちの一方の貫通電極を介して前記第1の振動腕の前記両主面電極のうちの他方の主面電極に接続され、かつ、前記第1の振動腕の前記一方の主面電極が、前記基部から伸長する前記第1,第2の振動腕の両根元部の間の又部を経由するように形成された引回し配線を介して、前記第2の振動腕の外側面と内側面の各々に設けられた一対からなる側面電極に接続されており、
前記第2の振動腕の表裏両主面にそれぞれ形成された両主面電極のうちの、前記第1の振動腕の前記一方の主面電極とは表裏が反対側となる主面に形成された他方の主面電極が、前記一対の貫通電極のうちの他方の貫通電極を介して前記第2の振動腕の前記両主面電極のうちの一方の主面電極に接続され、かつ、前記第2の振動腕の前記他方の主面電極が、前記又部を経由するように形成された引回し配線を介して、前記第1の振動腕の外側面と内側面の各々に設けられた一対からなる側面電極に接続されており、
前記第1の振動腕の前記両主面電極のうちの前記他方の主面電極が、前記第2の振動腕の側面に設けられた前記側面電極に接続されており、
前記第2の振動腕の前記両主面電極のうちの前記一方の主面電極が、前記第1の振動腕の側面に設けられた前記側面電極に接続されている、
音叉型圧電振動片。 - 前記基部の表裏の各主面における前記貫通電極の平面視形状が、略円形である、
請求項1に記載の音叉型圧電振動片。 - 請求項1または2に記載の前記音叉型圧電振動片と、該音叉型圧電振動片が収容されるパッケージとを備え、
前記音叉型圧電振動片は、前記第1,第2の振動腕の前記主面電極及び前記側面電極によって構成される励振電極から引出された接続電極を有し、前記接続電極が、前記パッケージを構成するベースの内部に設けられた搭載電極に導電接合され、前記音叉型圧電振動片が前記パッケージ内に気密封止されている、
音叉型圧電振動子。
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