JP2009150678A - ジャイロセンサ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動振動脚及び検出振動脚を有する水晶片上に電極が形成されるジャイロセンサ素子の製造方法であり、水晶ウェハー上にマスク層を形成する工程と、マスク層を形成した水晶ウェハーをエッチングして水晶片が備わる水晶片基板を形成する工程と、水晶片基板に振動測定用電極を形成する工程と、水晶片基板に備わる水晶片の駆動及び検出振動周波数を測定する工程と、水晶片基板から振動測定用電極を除去する工程と、水晶片基板をウェットエッチングする工程と、ウェットエッチング後に水晶片基板に電極を形成する工程と、水晶片基板から電極が形成された水晶片を分離する工程を有する。
【選択図】図1
Description
のままでは、高い感度で且つ信頼性高く角速度を検出することはできない。
水晶ウェハー上に所望の形状のマスク層を形成するマスク層パターニング工程と、
マスク層を形成した水晶ウェハーをエッチングして、複数の水晶片が連結して備わる水晶片基板を形成する水晶片基板形成工程と、
水晶片基板に連結する複数の水晶片上に振動測定用電極を形成する振動測定用電極形成工程と、
水晶片基板に連結し振動測定用電極が形成された水晶片を励振させ、水晶片基板に連結する水晶片の駆動振動周波数と検出振動周波数を測定する振動測定工程と、
水晶片基板に連結する水晶片から振動測定用電極を除去する振動測定用電極剥離工程と、
振動測定用電極を剥離した水晶片が連結して備わる水晶片基板をウェットエッチング法によってエッチングする追加エッチング工程と、
追加エッチング工程の後に、水晶片基板に連結する複数の水晶片上に前記電極を形成する電極形成工程と、
水晶片基板から電極が形成された水晶片を分離する水晶片分離工程とを有している。
本発明の上記手段では、まず水晶ウェハー上に形成されたマスク層をエッチング保護膜として利用し、水晶ウェハーのマスク層に覆われていない露出部をエッチングすることで水晶片基板に水晶片を形成する。エッチング法は切削加工法等に比べて非常に精度良く微細に加工することができるので、小型化に適している。さらに、多数の水晶片を同時に一括して形成することができるので、生産性にも優れている。
図9は本発明のジャイロセンサ素子の構成と振動動作を示した図である。図9に示す本発明のジャイロセンサ素子10は温度特性に優れた材料である水晶からなる水晶片100と、その水晶片100上に形成され電気信号の入出力を行う電極200とで構成されている。
認する。なおこの時点で調整が足りなかった場合には、再度電極200を剥離して追加エッチング工程を行うことも可能である。
図8は本発明のマスク層を振動測定用電極にするジャイロセンサ素子の製造方法を示した図である。本実施形態は導電性を有するマスク層400を用い、そのマスク層400を
振動測定用電極350としても利用した例である。
μm厚のAu膜からなる積層膜をスパッタリング法で成膜した後、フォトリソグラフィー法でパターニングして電極200を形成した。
100、101、105、150、151 水晶片
110 振動脚
111、113、115 駆動振動脚
112、114、116 検出振動脚
120 基部
125 連結脚
152 モニター水晶片
200、205、210、215 電極
300、350 振動測定用電極
400 マスク層
410 水晶片パターン
420 枠部パターン
500 レジストパターン
600 錘部
1000 水晶ウェハー
1500 水晶片基板
1550 枠部
2000、2100 アライメントマーク
Claims (3)
- 電気信号の入出力を行う電極と、この電極からの電気信号の入力によって振動する駆動振動脚及び回転運動によって生じるコリオリ力を検出する検出振動脚を有する水晶片とを備えるジャイロセンサ素子の製造方法であって、
水晶ウェハー上に所望の形状のマスク層を形成するマスク層パターニング工程と、
前記マスク層を形成した水晶ウェハーをエッチングして、複数の前記水晶片が連結して備わる水晶片基板を形成する水晶片基板形成工程と、
前記複数の水晶片上に振動測定用電極を形成する振動測定用電極形成工程と、
前記振動測定用電極が形成された水晶片を励振させ、この水晶片の駆動振動周波数と検出振動周波数を測定する振動測定工程と、
前記水晶片から前記振動測定用電極を除去する振動測定用電極剥離工程と、
前記振動測定用電極を剥離した水晶片が連結して備わる水晶片基板をウェットエッチング法によってエッチングする追加エッチング工程と、
この追加エッチング工程の後に、前記水晶片基板に連結する複数の水晶片上に前記電極を形成する電極形成工程と、
前記水晶片基板から前記電極が形成された水晶片を分離する水晶片分離工程と、
を有することを特徴とするジャイロセンサ素子の製造方法。 - 前記振動測定用電極と前記電極を前記水晶片基板に備わるアライメントマークと位置合わせして形成したことを特徴とする請求項1に記載のジャイロセンサ素子の製造方法。
- 前記マスク層は導電性を有する導電性材料で形成され、前記振動測定用電極形成工程において、前記導電性を有するマスク層を所定の形状に加工して前記振動測定用電極を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載のジャイロセンサ素子の製造方法。
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