JP2014195134A - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウェットエッチング法で、水晶ウエハーに複数の水晶振動子を形成する水晶振動子の製造方法であって、水晶振動子は、少なくとも一つの凹部を備え、水晶ウェハー上には、複数の水晶振動子とともに寸法測定部が設けられ、水晶振動子の外形を形成する外形エッチング工程と、水晶振動子に凹部を形成する凹部エッチング工程とを備え、凹部エッチング工程における寸法測定部の耐蝕膜の寸法変化量から、エッチングレートを算出し、凹部エッチング時間を決定する水晶振動子の製造方法。
【選択図】 図1
Description
また、下地の耐食膜はCrでなくともNiなどの素材でも良い。
2 寸法測定部
3 基部
4 振動腕
5 枠部
6 Au膜
7 Cr膜
8 レジスト膜
9 水晶ウエハー
10 溝(凹部)
Claims (4)
- ウェットエッチング法で、水晶ウエハーに複数の水晶振動子を形成する水晶振動子の製造方法であって、
前記水晶振動子は、少なくとも一つの凹部を備え、
前記水晶ウェハー上には、複数の前記水晶振動子とともに寸法測定部が設けられ、
前記水晶振動子の外形を形成する外形エッチング工程と、
前記水晶振動子に前記凹部を形成する凹部エッチング工程とを備え、
前記凹部エッチング工程における前記寸法測定部の耐蝕膜の寸法変化量から、エッチングレートを算出し、凹部エッチング時間を決定することを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 前記耐蝕膜の寸法変化量は、
前記凹部エッチング工程の開始時の寸法と、前記凹部エッチング工程の所定時間経過時の寸法との差であることを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子の製造方法。 - 前記耐蝕膜は、上層のAu膜と下層のCr膜の積層膜とからなり、
前記耐蝕膜の寸法変化量は、前記Cr膜の寸法を測定することを特徴とする請求項1または2に記載の水晶振動子の製造方法。 - 前記凹部エッチング工程の前に、前記寸法測定部に設けられた前記Cr膜の寸法測定領域上の前記Au膜を除去することを特徴とする請求項3に記載の水晶振動子の製造方法。
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