JP2008079033A - 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属膜に対して水晶振動子の溝部に対応する開口部を形成する前に、金属膜の外形を水晶振動子の外形よりも小さく形成しておき、その後金属膜のエッチングと水晶振動子のエッチングとを行う。
【選択図】図3
Description
基部から伸び出している複数の振動腕部の各々に溝部が形成されている圧電振動子の製造方法において、
圧電基板である基板の表面に金属膜を形成する工程と、
この金属膜の表面に、圧電振動子の形状部分が残るようにパターニングされたレジスト膜を形成して、金属膜に対してエッチングによりパターンを形成する工程と、
前記レジスト膜を全て剥離する工程と、
前記金属膜の表面に、前記金属膜のパターンの外形よりも片側3μm〜12μm小さい外形と、振動腕部の溝部に相当する部分が開口した開口部と、を有するパターンのレジスト膜を形成する工程と、
前記基板をエッチング液に接触させて、前記金属膜をマスクとして圧電振動子の外形を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとして、前記振動部の溝部に相当する部分の金属膜を除去すると共に、前記レジスト膜の外形よりも外側の金属膜を除去するエッチング工程と、
前記基板をエッチング液に接触させて、前記金属膜をマスクとして、前記複数の振動腕部に各々溝部を形成すると共に振動腕部における金属膜の外縁よりも外側にはみ出ている部分を除去することにより、当該振動腕部の外形を前記金属膜の外形に応じた形状にエッチングする工程と、を含むことを特徴とする。
前記レジスト膜において、前記金属膜のパターンの外形よりも片側3μm〜12μm小さい外形とは、このレジスト膜の形状が片側だけでなく、周縁部全体に亘って前記金属膜の外形より3μm〜12μm小さい(内側に狭まっている)ことを意味している。
前記複数の振動腕部に各々溝部を形成すると共に振動腕部の外形を前記金属膜の外形に応じた形状にエッチングする工程の後に、
前記レジスト膜及び金属膜を除去する工程と、
次いで、前記複数の振動腕部に形成された溝部を含む領域に電極となる金属膜を形成する工程と、
この金属膜の表面にパターニングされたレジスト膜を形成して、金属膜をエッチングし、電極パターンを形成する工程と、
前記レジスト膜を全て剥離する工程と、を含むことが好ましい。
前記圧電振動子が音叉型水晶片により形成されていても良い。
本発明の電子部品は、
前記圧電振動子と、前記圧電振動子を収納するための容器と、前記容器の外面に形成され、前記圧電振動子の電極に電気的に接続された外部電極と、を備えたことを特徴とする。
その後、レジスト膜63及び金属膜61を除去する(図4(k))。以上の工程により、電極パターンが形成されていない状態の水晶片65が製造される。
2a 振動腕部
2b 振動腕部
5 水晶振動子
60 水晶ウェハ
61 金属膜
62 レジスト膜
63 レジスト膜
65 水晶片
71 金属膜
72 レジスト膜
Claims (5)
- 基部から伸び出している複数の振動腕部の各々に溝部が形成されている圧電振動子の製造方法において、
圧電基板である基板の表面に金属膜を形成する工程と、
この金属膜の表面に、圧電振動子の形状部分が残るようにパターニングされたレジスト膜を形成して、金属膜に対してエッチングによりパターンを形成する工程と、
前記レジスト膜を全て剥離する工程と、
前記金属膜の表面に、前記金属膜のパターンの外形よりも片側3μm〜12μm小さい外形と、振動腕部の溝部に相当する部分が開口した開口部と、を有するパターンのレジスト膜を形成する工程と、
前記基板をエッチング液に接触させて、前記金属膜をマスクとして圧電振動子の外形を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとして、前記振動部の溝部に相当する部分の金属膜を除去すると共に、前記レジスト膜の外形よりも外側の金属膜を除去するエッチング工程と、
前記基板をエッチング液に接触させて、前記金属膜をマスクとして、前記複数の振動腕部に各々溝部を形成すると共に振動腕部における金属膜の外縁よりも外側にはみ出ている部分を除去することにより、当該振動腕部の外形を前記金属膜の外形に応じた形状にエッチングする工程と、を含むことを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 前記複数の振動腕部に各々溝部を形成すると共に振動腕部の外形を前記金属膜の外形に応じた形状にエッチングする工程の後に、
前記レジスト膜及び金属膜を除去する工程と、
次いで、前記複数の振動腕部に形成された溝部を含む領域に電極となる金属膜を形成する工程と、
この金属膜の表面にパターニングされたレジスト膜を形成して、金属膜をエッチングし、電極パターンを形成する工程と、
前記レジスト膜を全て剥離する工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記圧電振動子が音叉型水晶片により形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子の製造方法。
- 請求項1から請求項3のいずれか一に記載の方法によって製造された圧電振動子。
- 請求項4に記載された圧電振動子と、前記圧電振動子を収納するための容器と、前記容器の外面に形成され、前記圧電振動子の電極に電気的に接続された外部電極と、を備えたことを特徴とする電子部品。
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