JP2014216815A - 音叉型水晶振動子の製造方法 - Google Patents
音叉型水晶振動子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014216815A JP2014216815A JP2013092125A JP2013092125A JP2014216815A JP 2014216815 A JP2014216815 A JP 2014216815A JP 2013092125 A JP2013092125 A JP 2013092125A JP 2013092125 A JP2013092125 A JP 2013092125A JP 2014216815 A JP2014216815 A JP 2014216815A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- crystal
- wafer
- tuning fork
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title abstract description 20
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 20
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 136
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 119
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- DKNPRRRKHAEUMW-UHFFFAOYSA-N Iodine aqueous Chemical compound [K+].I[I-]I DKNPRRRKHAEUMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
【解決手段】音叉型水晶振動子のウェットプロセスの水晶エッチング加工の製造方法において、エッチングレート測定専用ウェハの板厚寸法を測定し、水晶エッチングを行い、ある一定時間経過後に、測定専用ウェハを引き上げ、測定専用のウェハの板厚寸法を測定して、測定専用ウェハの板厚寸法の変化量と、エッチング時間より、板厚方向のエッチングレートを算出して、水晶エッチング時間を決定する。
【選択図】 図2
Description
2 Cr層
3 Au層
4 レジスト
5 音叉腕
6 溝
10 水晶振動子
Claims (4)
- 音叉型水晶振動子のウェットプロセスの水晶エッチング加工の製造方法において、エッチングレート測定専用ウェハの板厚寸法を測定し、水晶エッチングを行い、ある一定時間経過後に、前記測定専用ウェハを引き上げ、前記測定専用のウェハの板厚寸法を測定して、前記測定専用ウェハの板厚寸法の変化量と、前記エッチング時間より、板厚方向のエッチングレートを算出して、水晶エッチング時間を決定することを特徴とする音叉型水晶振動子の製造方法。
- 前記測定専用ウェハを、前記音叉型水晶振動子を形成する水晶ウェハと同時に水晶エッチングを行い、水晶エッチング中に、板厚方向のエッチングレートを算出して、水晶エッチング時間を決定することを特徴とする請求項1に記載の音叉型水晶振動子の製造方法。
- 前記音叉型水晶振動子を形成する水晶ウェハを水晶エッチングを行う前に、前記測定専用ウェハの水晶エッチングを行い、板厚方向のエッチングレートを算出して、前記水晶ウェハの水晶エッチング時間を決定することを特徴とする請求項1に記載の音叉型水晶振動子の製造方法。
- 前記音叉型水晶振動子は、振動腕に少なくとも一つの溝を有し、前記測定専用ウェハの板厚寸法の変化量と、前記エッチング時間より、板厚方向のエッチングレートを算出して、溝を形成する水晶エッチング時間を決定することを特徴とする請求項1に記載の音叉型水晶振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013092125A JP6185744B2 (ja) | 2013-04-25 | 2013-04-25 | 音叉型水晶振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013092125A JP6185744B2 (ja) | 2013-04-25 | 2013-04-25 | 音叉型水晶振動子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014216815A true JP2014216815A (ja) | 2014-11-17 |
JP6185744B2 JP6185744B2 (ja) | 2017-08-23 |
Family
ID=51942173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013092125A Active JP6185744B2 (ja) | 2013-04-25 | 2013-04-25 | 音叉型水晶振動子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6185744B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107453726A (zh) * | 2017-08-08 | 2017-12-08 | 随州泰华电子科技有限公司 | 一种用于提升音叉晶振离子蚀刻速率的工艺 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11234073A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-08-27 | L Sauerlando Franz | 水晶ブランクウェハのエッチング方法及びエッチング装置 |
JP2003313091A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Seiko Epson Corp | 水晶片の製造方法及び製造装置 |
JP2008079033A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品 |
JP2009290169A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Canon Inc | 振動子の製造方法 |
JP2012178716A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | エッチング装置及びエッチング方法 |
-
2013
- 2013-04-25 JP JP2013092125A patent/JP6185744B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11234073A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-08-27 | L Sauerlando Franz | 水晶ブランクウェハのエッチング方法及びエッチング装置 |
JP2003313091A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Seiko Epson Corp | 水晶片の製造方法及び製造装置 |
JP2008079033A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品 |
JP2009290169A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Canon Inc | 振動子の製造方法 |
JP2012178716A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | エッチング装置及びエッチング方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107453726A (zh) * | 2017-08-08 | 2017-12-08 | 随州泰华电子科技有限公司 | 一种用于提升音叉晶振离子蚀刻速率的工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6185744B2 (ja) | 2017-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20180324724A1 (en) | Method And System For Precise Temperature And Timebase PPM Error Estimation Using Multiple Timebases | |
TW201712771A (zh) | 使用圖案化之晶圓幾何測量對製程引發的不對稱的偵測、量化及控制 | |
JP6185744B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造方法 | |
US8347469B2 (en) | Crystal oscillator piece and method for manufacturing the same | |
JP2010154513A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP6018962B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP4600140B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
JP4638682B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
KR102050628B1 (ko) | 유도성 자기 조립 프로세스에서의 제품 상의 노광 파라미터들의 도출 및 조정 | |
JP2015004597A (ja) | 光電式測定器用スケール、エンコーダ及びスケールの形成方法 | |
JP5769557B2 (ja) | 水晶振動子片の製造方法 | |
JP6240531B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
KR20040046696A (ko) | 반도체 소자의 응력 측정방법 | |
JP2008157845A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP5758642B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP2021118368A (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
JP2013207510A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
CN113741142B (zh) | 刻蚀偏移修正方法及系统和相关设备 | |
JP6055273B2 (ja) | 圧電素子の製造方法 | |
KR100476935B1 (ko) | 식각공정의 임계치수 제어방법 | |
JP6424076B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP2016072749A (ja) | 水晶振動子の製造方法及び水晶振動子 | |
JP2013214638A (ja) | 振動片の製造方法 | |
JP2007166242A (ja) | 水晶片の製造方法及びこの水晶片を用いた水晶デバイス | |
JP6444134B2 (ja) | 音叉型水晶振動子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170724 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170728 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6185744 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |