JP2012085278A - 水晶振動子片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】溝形状に対応する金属パターンを形成するとき、上層の金属層のみをエッチングしクロム層を残すことにより第2のエッチング工程に要するエッチング時間を長くして、その分第1のエッチング工程に要する時間を短くする。
【選択図】図3
Description
スがくずれて特性が悪化したり、電極のショートが発生したりして歩留を悪化させるので問題である。
金属パターンをマスクにしてエッチングにより形成される水晶振動子片の表面の損傷を軽減し、歩留まりを向上させることが可能となる。
ング工程の時間は、本発明の製造方法では280分、従来の製造方法では215分となる。
3 クロム層
5 金層
7 フォトレジスト層
9 溝
11 基部
13 脚
15 電極
Claims (4)
- 溝が形成された振動脚を有する水晶振動子片の製造方法において、
水晶基板に第1の金属層を形成する第1の金属層形成工程と、
前記第1の金属層の上に第2の金属層を形成する第2の金属層形成工程と、
前記第2の金属層の上にレジスト層を形成するレジスト層形成工程と、
前記レジスト層を前記水晶振動子片の外形に応じた形状の第1のレジストパターンに加工する第1のレジスト層加工工程と、
前記第1のレジストパターンをマスクにして前記第2の金属層を第1の金属パターンに加工する第1の金属層加工工程と、
前記第1のレジストパターンを、前記溝に応じた形状を有する第2のレジストパターンに加工する第2のレジスト層加工工程と、
前記第1の金属パターンに加工された前記第2の金属層をマスクにして、前記水晶基板をエッチングして、前記振動脚の外形部分を加工する第1のエッチング工程と、
前記第2のレジストパターンをマスクにして前記第2の金属層のみを第2の金属パターンに加工する第2の金属層加工工程と、
前記第2の金属パターンに加工された前記第2の金属層をマスクにして前記第1の金属層と前記水晶基板とを一度にエッチングして、前記振動脚の外形部分と溝部分とを加工する第2のエッチング工程と、を備える
ことを特徴とする水晶振動子片の製造方法。 - 前記第1のエッチング工程において、前記第1の金属パターンに加工された前記第2の金属層をマスクにして、前記第1の金属層及び前記水晶基板を同時にエッチングして、前記振動脚の外形部分を加工する
ことを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子片の製造方法。 - 前記第1の金属層はクロム層である
ことを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子片の製造方法。 - 前記第2の金属層は金層である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の水晶振動子片の製造方法。
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2011
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