JP2008187322A - メサ型圧電振動素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平行平板からなる圧電基板の両主面に金属膜を形成する金属膜形成工程と、金属膜の表面上にフォトレジスト膜を塗布する塗布工程と、フォトレジスト膜を所定のフォトマスクを介して選択的に露光してフォトレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、フォトレジストパターンを保護膜として金属膜をエッチングして金属膜パターンを形成する金属膜パターン形成工程と、金属膜パターンとフォトレジストパターンとを保護膜として圧電基板をエッチングしてメサ段部を形成するメサ段部形成工程と、圧電基板上の金属膜パターン及びフォトレジストパターンをエッチングする第1のエッチング工程と、第1のエッチング工程により形成された圧電振動片をエッチングする第2のエッチング工程とを含むようにした。
【選択図】図1
Description
図7は、メサ型圧電振動素子の外観構造例であり、(a)は上面図、(b)は(a)に示したA−A断面図である。
この図7に示すメサ型圧電振動素子101は、圧電振動片102の両主面のほぼ中央部にメサ段部103を形成したものであり、メサ段部103の表裏に励振電極104を形成し、さらに引き出しリード電極105とパッド電極106とを形成したものである。
図8はメサ型圧電振動素子の従来の製造工程を模式的に示した図である。
先ず、圧電基板を加工し、図8(a)に示すように所定形状の平行平板からなる圧電基板107とする。次に、図8(b)に示すように加工した圧電基板107の両面の表面上に金属膜108を蒸着した後、金属膜108の表面にフォトレジスト膜109を塗布する。そして、図8(c)に示すように、圧電基板107を、所定の形状のフォトマスクを用いて露光して現像した後、露出した金属膜108をエッチングにより剥離する。
次に、図8(d)に示すように、金属膜108のエッチングにより露出した圧電基板107を所定の板厚までエッチングして肉薄部110を形成する。そして、図8(e)に示すように残留しているフォトレジスト膜109と金属膜108を剥離すると、所望の圧電振動片111が完成する。図示していないが、その後、圧電振動片111のメサ段部の両面に励振電極を形成し、さらに引き出しリード電極とパッド電極を形成することでメサ型圧電振動素子が得られる。
図10はフォトリソグラフィ法を用いて圧電振動片に励振電極とリード電極を形成する工程を模式的に示した図であり、図10(a)に示すように圧電振動片111のメサ段部111aの端面に逆テーパ112が形成されている場合、メサ段部111aの上面及び側面に形成した金属膜115上に所望のエッチングを施すためのフォトレジスト膜114を形成した際に逆テーパ112によりフォトレジスト膜114が途切れる可能性がある。この結果、フォトレジスト膜114を保護膜として金属膜115をエッチングすると、図10(b)に示すように、フォトレジスト膜114が途切れた逆テーパ112部分において金属膜115が剥離されるため、メサ段部111の側面に形成された金属膜115、即ちリード電極部分において断線を引き起こすおそれがあった。
図11に示すように、圧電振動片111のメサ段部111aにメタルマスクを使用した蒸着法により金属膜116を形成した場合は、円で囲って示したように逆テーパ112部分において金属膜116の膜厚が薄くなり、リード電極117の導通不良や断線が発生するおそれがあった。
本発明は、上述したような問題を解決するためになされたものであって、圧電振動片のメサ段部の端面に発生する逆テーパにより導通不良や断線が発生することがないメサ型圧電振動素子の製造方法を提供することを目的とする。
このような本発明によれば、第1のエッチング工程により圧電基板上の金属膜パターン及びフォトレジストパターンを除去した後に、第2のエッチング工程によりエッチングを行うことで、メサ段部の端面に発生しやすい逆テーパを面取りすることが可能となった。従って、メサ段部の端面が滑らかとなり、リード電極を形成した際に生ずるメサ段部の端面における断線を防止することができる。この結果、圧電振動素子の製造歩留まりや、信頼性を向上させる上で大きな効果を発揮する。
このような本発明によれば、各電極をフォトリソグラフィの手法により形成したので、寸法精度の高い電極が形成でき、優れた性能の圧電振動素子が提供可能となる。
このような本発明によれば、メサ型圧電振動素子の製造方法は、各電極を、メタルマスクを使用した蒸着法の手法により形成したので、製造工程が簡易化され、低コストの圧電振動素子の提供が可能となる。
このような本発明によれば、メサ型圧電振動素子の製造方法は、圧電基板が水晶やリチウムタンタレートのように異方性を有する基板であっても、製造歩留まりや信頼性を向上させることができ、メサ型圧電振動素子を製造する上で大きな効果を発揮する。
図1及び図2は本発明に係るメサ型圧電振動素子の第1の実施形態の製造方法を示すフローチャートであり、図3及び図4は図1及び図2に示した各工程を模式的に示した図である。なお、本実施形態では圧電基板として水晶基板を用いる場合を例に挙げて説明する。
この場合、先ず、ステップ1において、圧電基板を加工し所定の形状の圧電基板1を形成する(図3(a))。次に、ステップ2において、圧電基板1の両主面の表面上に金属膜2を蒸着した後(図3(b))、ステップ3において、金属膜2の表面にフォトレジスト膜3を塗布する(図3(c))。続くステップ4において、圧電基板1のメサ段部の形状に対応したフォトマスク4を圧電基板1の両面に夫々配置し、紫外線を照射することによりフォトレジスト膜3を選択的に露光する(図3(d))。そして、ステップ5において、フォトレジスト膜3を現像することにより、紫外線が照射された部分のフォトレジスト膜3を剥離して所定のパターンのフォトレジストパターン5を形成する(図3(e))。
上記第1のエッチング工程により得られた圧電振動片7は、前述したようにメサ段部の端面に逆テーパ8が発生している可能性が高い。そこで、本実施形態においては、第2のエッチング工程として、ステップ9において、圧電振動片7のエッチングを短時間行うようにした(図3(i))。このように第2のエッチング工程を実施することにより、圧電振動片7のメサ段部の端面に逆テーパ8が発生した場合でも、逆テーパ8は面取りされて、圧電振動片7のメサ段部の端面は滑らかな構造となる。従って、次工程において、圧電振動片7にリード電極を形成した際に、リード電極が断線するのを防止することができる。
なお、第1のエッチング工程であるステップ7における圧電基板1のエッチング時間が5〜6分程度であるのに対して、第2のエッチング工程であるステップ9におけるエッチング時間は約1分未満であり、第2のエッチング工程のエッチング時間は第1のエッチング工程に比べて短時間のエッチングとなる。
次に、ステップ13において、圧電振動片9を現像すると、紫外線が照射されたフォトレジスト膜11が剥離され、所定のパターンのフォトレジストパターン13が形成される(図4(d))。そして、ステップ14において、フォトレジストパターン13を保護膜として金属膜12のエッチングを行い、金属膜12を剥離した後(図4(e))、ステップ15において、残留するフォトレジストパターン13をエッチングにより剥離すると(図4(f))、所望の電極が形成されたメサ型圧電振動素子14が完成する。
第2の実施形態は、圧電振動片に、励振電極、リード電極、及びパッド電極を、メタルマスクを使用した蒸着による手法により形成したものである。また第2の実施形態において、圧電振動片を製造する工程は、図1及び図3に示した工程と同一であるので説明は省略する。
図5は本発明に係るメサ型圧電振動素子の第2の実施形態の製造方法の特徴的な工程を示したフローチャートであり、図6は図5に示した工程を模式的に示した図である。
この場合は、図1に示すステップ9の工程において完成した圧電振動片9を、蒸着装置内に載置する。そして、ステップ16において、圧電振動片9の両面に、励振電極、リード電極、及びパッド電極の形状に対応した開口を有するメタルマスク15を配置して、電極材料から放出される電極材料粒子16を圧電振動片9に蒸着させると(図6(a))、圧電振動片9に所望の電極18が形成された圧電振動素子17が完成する(図6(b))。
なお、本実施形態では圧電基板の圧電材料として、異方性を有する水晶を例に挙げて説明したが、これはあくまでも一例であり、圧電材料としては水晶以外にも例えば、LiTaO3(リチウムタンタレート)なども適用可能である。
また、本実施形態において説明した製造工程はあくまでも一例であり、本発明の圧電振動素子の製造方法は、本実施形態において説明した製造方法に限定されるのでなく、工程手順などは適宜変更限定されるものではない。例えば、本実施形態では、金属膜2(10)とフォトレジストパターン5(13)を保護膜として圧電基板1をエッチングする場合を例に挙げたが、フォトレジストパターン5(13)を除去して金属膜2(10)のみを圧電基板1のエッチング用保護膜として用いることも可能である。
Claims (4)
- 圧電基板の両主面に金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜の表面上にフォトレジスト膜を塗布する塗布工程と、
前記フォトレジスト膜を所定のフォトマスクを介して選択的に露光、現像してフォトレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記フォトレジストパターンに被覆されていない前記金属膜をエッチングして金属膜パターンを形成する金属膜パターン形成工程と、
前記金属膜パターン及び/または前記フォトレジストパターンを保護膜として前記圧電基板をエッチングしてメサ段部を形成するメサ段部形成工程と、
前記保護膜をエッチングする第1のエッチング工程と、
前記第1のエッチング工程により形成された圧電振動片をエッチングする第2のエッチング工程と、を含むことを特徴とするメサ型圧電振動素子の製造方法。 - 前記圧電振動片に、励振電極、リード電極、及びパッド電極を、フォトリソグラフィ法により形成したことを特徴とする請求項1に記載のメサ型圧電振動素子の製造方法。
- 前記圧電振動片に、励振電極、リード電極、及びパッド電極を、蒸着法により形成したことを特徴とする請求項1に記載のメサ型圧電振動素子の製造方法。
- 前記圧電基板は、水晶、またはリチウムタンタレートからなることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載のメサ型圧電振動素子の製造方法。
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