JP2011211452A - 音叉型水晶振動片の製造方法、水晶デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】 振動腕の表裏面から股部又は溝部の基部側の端面への角度が緩やかな音叉型水晶振動片の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 音叉型水晶振動片（１０Ａ）の製造方法は水晶材に成膜された耐食膜にレジストを塗布しレジストを露光して基部（１１）と振動腕（１２Ａ）と溝部（１３Ａ）とに対応する領域を露光するフォトリソグラフィ工程と、基部と振動腕と溝部とに対応する領域の以外の耐食膜をエッチングし且つ水晶材をエッチングして音叉型水晶振動片の外形を形成する第１エッチング工程と、水晶材に残っている耐食膜およびレジストを除去する除去工程と、除去工程後に水晶材をエッチング剤に浸漬して、一対の振動腕と基部との間に形成される第１股部（１４Ａ）又は溝部の基部側の端面の少なくとも一方をエッチングする第２エッチング工程と、を備える。
【選択図】 図６

Description

本発明は、一対の振動腕を有する音叉型水晶振動片の製造方法およびその音叉型水晶振動片を備える水晶デバイスに関する。

音叉型水晶振動片は、小型化されるとＣＩ値（クリスタルインピーダンス）又は等価直列抵抗が大きくなってしまう。そこで、特許文献１のように、音叉型水晶振動片の一対の振動腕の表裏面に溝部を形成する技術が提案されている。特許文献１の音叉型水晶振動片は、水晶振動片のＣＩ値の上昇を低く抑えることができる。その一方で、振動腕の表裏面に底面および側面を含む溝部を形成し、その底面および側面に励振電極を形成すると、振動腕の表裏面から側面へ角度が９０度折れ曲がる箇所で励振電極に断線等が生じてしまう問題が生じていた。

特許文献２は、この問題を解決するため、振動腕の表裏面から側面へ角度が小さく変わるように、溝部の基部側を基部に近づくにつれてその溝部の幅を狭くしている。このような溝部の形状にすることにより、振動腕の表裏面から側面への角度を緩やかにしている。

特開２００２−２０４１４１号公報 特開２００３−１３３８９５号公報

一般にＣＩ値を低減するには、振動腕における溝部の深さを一定値以上に深くする必要がある。したがって、溝部を形成するためのエッチングを一定時間以上行う必要がある。しかし、溝部における開口部の形状を、基部側に近づくにつれて幅狭として、エッチングを行った場合、前記の一定時間が経過すると、溝部における振動腕の表裏面から側面へ角度は９０度近くなる場合があるという問題があった。

本発明は、振動腕の表裏面から側面へ角度が緩やかな音叉型水晶振動片の製造方法を提供することを目的とする。

第１観点の音叉型水晶振動片の製造方法において、音叉型水晶振動片は水晶材からなり、表裏面を有する基部と、その基部からＹ軸方向に伸びる一対の振動腕と、一対の振動腕の表裏面にＹ軸方向に伸びる溝部とを有する。この音叉型水晶振動片の製造方法は、水晶材に成膜された耐食膜にレジストを塗布しレジストを露光して基部と振動腕と溝部とに対応する領域を露光するフォトリソグラフィ工程と、基部と振動腕と溝部とに対応する領域の以外の耐食膜をエッチングし且つ水晶材をエッチングして音叉型水晶振動片の外形を形成する第１エッチング工程と、水晶材に残っている耐食膜およびレジストを除去する除去工程と、除去工程後に水晶材をエッチング剤に浸漬して一対の振動腕と基部との間に形成される第１股部又は溝部の基部側の端面の少なくとも一方をエッチングする第２エッチング工程とを備える。

第２観点の音叉型水晶振動片の製造方法において、第１エッチング工程および第２エッチング工程が同じ温度および同じエッチング剤を使用し、第２エッチング工程のエッチング時間は、第１エッチング工程のエッチング時間よりも短い。

第３観点の音叉型水晶振動片の製造方法において、第２エッチング工程は除去工程で露出した音叉型水晶振動片の表裏面全体をエッチング剤に浸漬する。

第４観点の音叉型水晶振動片の製造方法において、第２エッチング工程は音叉型水晶振動片における第１股部又は端面の少なくとも一方以外をマスクで覆ってエッチング剤に浸漬する。

第５観点の圧電デバイスは、第１観点から第４観点のいずれか一項により製造された音叉型圧電振動片を収納するキャビティを有するパッケージを備える。

第６観点の圧電デバイスは、第１凹み部を有するリッド板と第２凹み部を有するベース板とを備え、第１観点から第４観点のいずれか一項により製造された音叉型圧電振動片をリッド板とベース板とで挟み込む。

本発明によれば、振動腕の表裏面から股部又は溝部の基部側の端面への角度が緩やかな音叉型水晶振動片の製造方法を提供できる。また、フォトリソグラフィ工程での光が角度の緩やかな股部又は端面に露光されるため、不要な金属膜が残って電気的な短絡が生じるという問題が発生しない。

第１音叉型水晶振動片１０Ａの斜視図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 図１のＢ−Ｂ断面図である。 図１の点線Ｃに囲まれた部分を＋Ｚ側から見た拡大平面図である。 図１のＤ−Ｄ断面図である。 第１音叉型水晶振動片１０Ａの製造方法を示したフローチャートである。 第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓを示した平面図である。 （ａ）は、第１音叉型水晶振動片１０Ａの外形を形成する円形の水晶ウエハ２０−１を示した平面図である。 （ｂ）は、第１音叉型水晶振動片１０Ａの外形を形成する矩形の水晶ウエハ２０−２を示した平面図である。 第２音叉型水晶振動片１０Ｂの平面図である。 図９の破線Ｇに囲まれた部分の拡大図である。 第３音叉型水晶振動片１０Ｃの平面図である。 第１変形例における第２音叉型水晶振動片半製品１０Ｂ−ｓを示した平面図である。 第２変形例における第３音叉型水晶振動片半製品１０Ｃ−ｓを示した平面図である。 第３変形例の第４音叉型水晶振動片１０Ｄを示した平面図である。 第４変形例の第５音叉型水晶振動片１０Ｅを示した平面図である。 （ａ）は、第１音叉型圧電振動片１０Ａを備えた圧電振動子１００の側面図である。 （ｂ）は、第４音叉型圧電振動片１０Ｄを備えた圧電振動子２００の側面図である。 （ａ）は、第５音叉型圧電振動片１０Ｅを備えた圧電振動子３００の分解斜視図である。 （ｂ）は、第５音叉型圧電振動片１０Ｅを備えた圧電振動子３００のＫ−Ｋ断面図である。

以下、本発明の各実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下の各実施形態において、水晶の結晶軸に合わせて振動腕が伸びる方向をＹ軸方向とし、振動腕の腕幅方向をＸ軸方向とし、そのＸ軸およびＹ軸方向と直交する方向をＺ軸方向とする。

（第１実施形態）
＜第１音叉型水晶振動片１０Ａの全体構成＞
図１は、第１音叉型水晶振動片１０Ａの斜視図である。なお、図１において第１音叉型水晶振動片１０Ａの＋Ｚ側の面を「表面Ｍｅ」とし、−Ｚ側の面を「裏面Ｍｉ」とする。また、第１音叉型水晶振動片１０Ａは、表面Ｍｅから見た形状と裏面Ｍｉから見た形状とが同じであるため、表面Ｍｅから見た第１音叉型水晶振動片１０Ａの斜視図を一例として説明する。同様に、以降に言及される平面図においても、基本的に表面Ｍｅから見た平面図のみを一例として説明する。

図１に示された第１音叉型水晶振動片１０Ａは、例えば３２．７６８ｋＨｚで振動し、極めて小型となっている。例えば、第１音叉型水晶振動片１０ＡのＹ軸方向の全体長さが１．７ｍｍ程度、Ｘ軸方向の全体幅が０．５ｍｍ程度、Ｚ軸方向の厚さが０．４ｍｍ程度である。また、第１音叉型水晶振動片１０Ａはほぼ矩形状の基部１１と、基部１１から＋Ｙ軸方向に伸びて形成されている一対の振動腕１２Ａとを有している。また、一対の振動腕１２Ａの＋Ｙ側の先端にはＸ軸方向の幅が振動腕１２Ａより大きく形成された拡幅部（不図示）がそれぞれ形成されてもよい。拡幅部は第１音叉型水晶振動片１０Ａの一対の振動腕１２Ａを振動しやすくすることができる。

一対の振動腕１２Ａの表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉには、その表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉから凹んだＹ軸方向に伸びる溝部１３Ａがそれぞれ形成されているので、振動腕１２ＡのＡ−Ａ断面はほぼ「Ｈ」型（図２を参照）となっている。溝部１３Ａについては、以降の図２〜図４で詳しく説明する。

基部１１の−Ｙ側の両隅には互いに極性の異なる（図１では斜線及び網状線で示す）矩形状の基部電極１１１がそれぞれ形成される。一対の溝部１３Ａには互いに極性が異なる溝部励振電極１３１がそれぞれ形成されている。また、−Ｘ側の振動腕１２ＡのＸ軸方向の両外側には極性が同じ側面励振電極１２１がそれぞれ形成され、＋Ｘ側の振動腕１２ＡのＸ軸方向の両外側には−Ｘ側の振動腕１２Ａの側面励振電極１２１と極性の異なる側面励振電極１２１がそれぞれ形成されている。一対の振動腕１２Ａの＋Ｙ軸側の先端には振動腕１２Ａの両外側の側面励振電極１２１を接続させる金属膜１５１がそれぞれ形成されている。

また、基部電極１１１は接続電極１４１を介して側面励振電極１２１、溝部励振電極１３１にそれぞれ接続されている。このような構成によって、基部電極１１１は、側面励振電極１２１及び溝部励振電極１３１に導電している。また、基部電極１１１が導電性接着剤１１６（図１６（ａ）を参照）を介して外部電極１１８（図１６（ａ）を参照）に接続されれば、外部電極１１８と側面励振電極１２１及び溝部励振電極１３１とがそれぞれ導電し、第１音叉型水晶振動片１０Ａの振動腕１２Ａは励振する。

また各電極パターンは、５０オングストローム〜７００オングストロームのクロム（Ｃｒ）層の上に２００オングストローム〜３０００オングストロームの金（Ａｕ）層が形成された構成になっている。クロム（Ｃｒ）層の代わりに、タングステン（Ｗ）層、ニッケル（Ｎｉ）層又はチタン（Ｔｉ）層を使用してもよく、また金（Ａｕ）層の代わりに、銀（Ａｇ）層を使用してもよい。

＜溝部１３Ａの構成＞
図１に示されたように、一対の溝部１３Ａは底面Ｍ１と、その底面Ｍ１に接続された第１長側面Ｍ２１（図２を参照）、第２長側面Ｍ２２、第１短側面Ｍ３１及び第２短側面Ｍ３２とをそれぞれ有している。なお、Ｙ軸方向に伸びた第１長側面Ｍ２１（図２を参照）は底面Ｍ１の＋Ｘ側に設けられ、Ｙ軸方向に伸びた第２長側面Ｍ２２は底面Ｍ１の−Ｘ側に設けられている。また、第１短側面Ｍ３１は底面Ｍ１の−Ｙ側に設けられ、第２短側面Ｍ３２は底面Ｍ１の＋Ｙ側に設けられる。

図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。図２に示されたように溝部１３Ａが第１音叉型水晶振動片１０Ａの表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉから凹んで形成されているので、振動腕１２ＡのＡ−Ａ断面はほぼ「Ｈ」型となっている。また図２において、溝部１３ＡはウエットエッチングによりＺ軸方向で第１音叉型水晶振動片１０Ａの表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉから中央に向かって幅狭くなるように形成され、振動腕１２ＡのＸ軸方向での中心線Ｂｘに対してほぼ線対称となっている。また、溝部１３Ａの深さＷ２は、第１音叉型水晶振動片１０Ａの厚さＷ１の約３５〜４５％である。

ここで、溝部励振電極１３１と側面励振電極１２１とに交番電圧を印加すれば、溝部励振電極１３１と側面励振電極１２１との間で電界Ｅｘが矢印方向に沿って発生する。この電界Ｅｘは振動腕１２Ａ内で電極に垂直に、すなわち直線的に働くので、電界Ｅｘが大きくなる。その結果、第１音叉型水晶振動片１０Ａを小型化した場合でも等価直列抵抗の小さい水晶振動片が得られる。

図３は、図１のＢ−Ｂ断面図である。振動腕１２Ａ内に形成される溝部１３Ａはウエットエッチングにより形成される。基部１１側の第１短側面Ｍ３１は表面Ｍｅ又は裏面Ｍｉに対して所定の傾斜角度β１に傾いて形成された緩斜面となり、振動腕１２Ａの先端側の第２短側面Ｍ３２は表面Ｍｅ又は裏面Ｍｉに対して所定の傾斜角度β２に傾いて形成された緩斜面となる。ここで、傾斜角度β１は１２０°〜１６０°程度であることが好ましい。第１短側面Ｍ３１は、ウエットエッチングで溝部１３Ａが形成された後再びウエットエッチングされることで緩斜面になる。

このような構成によれば、溝部１３Ａに溝部励振電極１３１を形成する際、エッジ部分Ｅ（後述する第１短辺Ｓ１１、第２短辺Ｓ１２及び第３短辺Ｓ１３）において電極用金属膜の上にフォトレジストを均一の厚さで塗布することができる。またフォトリソグラフィで電極を形成する際に、紫外線が金属膜に照射されやすい。したがって、完成した電極パターンは断線などが発生することが少なくなる。

図４は、図１の点線Ｃに囲まれた部分を＋Ｚ側から見た拡大平面図である。図を見やすくするために、各電極は図４では描かれていない。図４に示されたように、第１長側面Ｍ２１と表面ＭｅとはＹ軸方向に伸びた第１長辺Ｌ１１で交差し、第２長側面Ｍ２２と表面ＭｅとはＹ軸方向で伸びた第２長辺Ｌ１２で交差する。また、第１短側面Ｍ３１と表面Ｍｅとは、第１長辺Ｌ１１に接続された第１短辺Ｓ１１で交差し、第２長辺Ｌ１２に接続された第２短辺Ｓ１２で交差し、第１短辺Ｓ１１と第２短辺Ｓ１２とを連結するＸ軸方向に伸びた第３短辺Ｓ１３で交差する。

ここで、第１長辺Ｌ１１と第１短辺Ｓ１１とからなす第１角度θ１は第２長辺Ｌ１２と第２短辺Ｓ１２とからなす第２角度θ２より小さい。

＜第１股部１４Ａの構成＞
以下、第１股部１４Ａについて、図４及び図５を参照しながら詳しく説明する。図４に示されたように、第１股部１４Ａは一対の振動腕１２Ａ及び基部１１により構成されている。

図５は、図１のＤ−Ｄ断面図である。図５に示された第１股部１４Ａは、表面Ｍｅ及び裏面ＭｉからＺ軸方向の中央に斜めに伸びた２つの股部面Ｍ４１と、この２つの股部面Ｍ４１が第１音叉型水晶振動片１０Ａの厚さ方向のほぼ中央位置で交差するように形成された第１境界辺Ｓｂとを有している。ここで、股部面Ｍ４１と表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉとからなす傾斜角度β３は１２０°〜１６０°程度であることが好ましい。股部面Ｍ４１は、ウエットエッチングで第１股部１４Ａが形成された後、再びウエットエッチングされることで緩斜面になる。

このような構成によれば、第１股部１４Ａに接続電極１４１を形成する際、エッジ部分Ｅ（後述する第１股部辺Ｓ１４、第２股部辺Ｓ１５及び第３股部辺Ｓ１６）において電極用金属膜の上にフォトレジストを均一の厚さで塗布することができ、フォトリソグラフィの紫外線も照射しやすい。したがって、完成した電極パターンは断線などが発生することが少なくなる。

図４に戻り第１股部１４Ａを引き続き説明する。股部面Ｍ４１と表面Ｍｅとは第１股部辺Ｓ１４、第２股部辺Ｓ１５及び第３股部辺Ｓ１６で交差する。ここで、第１股部辺Ｓ１４とＹ軸とからなす第１鈍角θ３は第２股部辺Ｓ１５とＹ軸とからなす第２鈍角θ４より小さい。

＜第１音叉型水晶振動片１０Ａの製造方法＞
第１音叉型水晶振動片１０Ａの製造方法について、図６〜図８を参照しながら説明する。図６は、第１音叉型水晶振動片１０Ａの製造方法を示したフローチャートである。図７は、第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓを示した平面図である。図８（ａ）は第１音叉型水晶振動片１０Ａの外形を形成する円形の水晶ウエハ２０−１を示した平面図で、図８（ｂ）は第１音叉型水晶振動片１０Ａの外形を形成する矩形の水晶ウエハ２０−２を示した平面図である。

図６に示されたステップＳ１１１において、まずＺカットされた水晶ウエハ２０（図８を参照。ただし、図８は第１音叉型水晶振動片１０Ａが形成された後のウエハが描かれている。）が用意される。ここで水晶ウエハ２０は鏡面状に研磨された円形又は矩形のウエハである。そして、スパッタリングもしくは蒸着などの手法により、水晶ウエハ２０の全面に耐食膜としての金属膜が形成する。耐食膜としてクロム（Cr）層の上に金（Au）層を重ねた金属膜が使用される。

ステップＳ１１２において、耐食膜を形成した水晶ウエハ２０に、全面にスピンコートなどの手法でフォトレジスト層が均一に塗布される。フォトレジスト層としては、たとえば、ノボラック樹脂によるポジフォトレジストが使用される。

ステップＳ１１３において、露光装置（図示しない）を用いて、フォトマスクに描かれた第１音叉型水晶振動片１０Ａの外形パターンをフォトレジスト層が塗布された水晶ウエハ２０の両面に露光する。露光されたフォトレジストは、現像することで除去される。フォトレジスト層から露出した金層を、たとえばヨウ素とヨウ化カリウムの水溶液を用いて、金層をエッチングする。次いで、金層が除去されて露出したクロム層を、たとえば硝酸第二セリウムアンモニウムと酢酸との水溶液でエッチングする。これらのウエットエッチングは水溶液の濃度、温度および水溶液に浸している時間を調整して余分な箇所が侵食されないようにする。その後、露出された水晶ウエハ２０を第１音叉型水晶振動片１０Ａの平面外形（溝部なし）が形成されるようにウエットエッチング剤に浸漬させてウエットエッチングする。ここで水晶ウエハ２０に対するウエットエッチングにより、図７の実線で示されたように、股部と表面Ｍｅとの交差辺が一直線となっている第１股部半製品１４Ａ−ｓが形成される。

ステップＳ１１４において、ウエットエッチングされた水晶ウエハ２０全面にフォトレジスト層がスプレーなどの手法で均一に塗布される。

ステップＳ１１５において、露光装置（図示しない）を用いて、フォトレジスト層が塗布された水晶ウエハ２０の両面にフォトマスクに描かれた溝部半製品１３Ａ-ｓ（図７の実線を参照）のパターンが露光される。フォトマスクに描かれた溝部半製品１３Ａ-ｓのパターンはＺ方向から見て長方形である。その後、フォトレジスト層から露出した金層が、ウエットエッチングされる。次いで、金層が除去されて露出したクロム層がウエットエッチングされる。そして、露出された水晶ウエハ２０がウエットエッチングされて図７の実線に示されたような溝部半製品１３Ａ-ｓが形成される。以上の工程によって、図７の実線に示されたように溝部半製品１３Ａ-ｓ及び第１股部半製品１４Ａ−ｓを有している第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓが形成される。

次にステップＳ１１６において、第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓに残った耐食膜及びフォトレジストが除去される。これにより第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓ全体に耐食膜が無い状態となる。

ステップＳ１１７において、第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓ全体がマスクなしでウエットエッチング剤に浸漬させられてウエットエッチングされる。なお、ステップＳ１１７ではステップＳ１１３またはＳ１１５と同じ温度および同じバッファードフッ酸、又はフッ酸を用いてエッチングするが、そのエッチング時間がステップＳ１１３またはＳ１１５のエッチング時間より短い。これにより、第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓ全体がエッチングされ、溝部１３Ａ及び第１股部１４Ａは図４で示された形状になる。

ここで、第１音叉型水晶振動片半製品１０Ａ−ｓ全体をマスクなしでウエットエッチング剤に浸してウエットエッチングするが、図７の破線Ｆに示された部分のみに対してウエットエッチングされるようにゴム製のマスクを用いて図７の点線に示された溝部１３Ａ及び第１股部１４Ａ（図４を参照）を形成してもよい。

以上の工程を経て、図８（ａ）又は図８（ｂ）に示されたような水晶ウエハ２０−１、２０−２が形成される。円形の水晶ウエハ２０−１において、第１音叉型水晶振動片１０Ａを３個１ブロックとして、１３ブロック配置した状況を示している。円形の水晶ウエハ２０−１は、軸方向が特定できるように、水晶ウエハ２０−１の周辺部の一部には、水晶の結晶方向を特定するオリエンテーションフラット２１ｃが形成されている。なお、説明の都合上水晶ウエハ２０−１には３９個の第１音叉型水晶振動片１０Ａが描かれているが、実際には水晶ウエハ２０−１に数百数千もの第１音叉型水晶振動片１０Ａが形成される。また矩形の水晶ウエハ２０−２も同様である。

ステップＳ１１８において、溝部１３Ａ及び第１股部１４Ａが形成された水晶ウエハ２０が純水で洗浄される。そして、基部電極１１１、側面励振電極１２１、溝部励振電極１３１、接続電極１４１及び金属膜１５１（図１を参照）を形成するため、蒸着またはスパッタリング等の手法により例えばＡｕ/Ｃｒなどの電極用金属膜が水晶ウエハ２０に形成される。そして、電極用金属膜の上に均一にフォトレジストが塗布される。

ここで、ステップＳ１１７のウエットエッチングにより溝部１３Ａ及び第１股部１４Ａに、緩斜面となる第１短側面Ｍ３１（図３を参照）及び股部面Ｍ４１（図５を参照）が形成されている。それらのエッジ部分Ｅ（図３及び図５を参照）にフォトレジストを均一の厚さで塗布することができる。

次に、各電極パターンと対応したフォトマスクが用意され、各電極パターンをフォトレジスト層が塗布された水晶ウエハ２０に露光する。ここで、各電極パターンは第１音叉型水晶振動片１０Ａの両面に形成される。エッジ部分Ｅ（図３及び図５を参照）が鈍角であるため、フォトレジストに紫外線が適切に照射される。フォトレジスト層を現像後、感光したフォトレジスト層が除去される。残るフォトレジストは電極パターンと対応したフォトレジスト層になる。さらに電極となる金属膜のウエットエッチングが行われる。これにより、第１音叉型水晶振動片１０Ａの表裏面には基部電極１１１、側面励振電極１２１、溝部励振電極１３１、接続電極１４１及び金属膜１５１（図１を参照）が形成される。エッジ部分Ｅ（図３及び図５を参照）が鈍角であるため、断線などのない電極パターンが形成される。

ステップＳ１１９において、ダイシングソーで第１音叉型水晶振動片１０Ａを単位として水晶ウエハ２０が切断され、図１に示された第１音叉型水晶振動片１０Ａが完成する。

（第２実施形態）
図９は、第２実施形態の第２音叉型水晶振動片１０Ｂを示す。第２音叉型水晶振動片１０Ｂは、溝部１３Ｂ及び第１股部１４Ｂを除いた他の部分は第１実施形態と同じである。以下、第２音叉型水晶振動片１０Ｂの溝部１３Ｂ及び第１股部１４Ｂについて、図９及び図１０を参照しながら説明する。

＜溝部１３Ｂの構成＞
図９は、第２音叉型水晶振動片１０Ｂの平面図である。図１０は、図９の破線Ｇに囲まれた部分の拡大図である。また、図９及び図１０では理解を助けるため電極が図示されていない。

まず、振動腕１２Ｂの溝部１３Ｂは、底面Ｍ１と、その底面Ｍ１に接続された第１長側面Ｍ２１、第２長側面Ｍ２２、第１短側面Ｍ６１及び第２短側面Ｍ６２とをそれぞれ有している。なお、第１長側面Ｍ２１は底面Ｍ１の＋Ｘ側に設けられＹ軸方向に沿って伸び、第２長側面Ｍ２２は底面Ｍ１の−Ｘ側に設けられＹ軸方向に沿って伸びている。また、第１短側面Ｍ６１は底面Ｍ１の−Ｙ側に設けられ、第２短側面Ｍ６２は底面Ｍ１の＋Ｙ側に設けられる。

また、第１長側面Ｍ２１と表面ＭｅとはＹ軸方向に伸びた第１長辺Ｌ１１で交差し、第２長側面Ｍ２２と表面ＭｅとはＹ軸方向で伸びた第２長辺Ｌ１２で交差する。また、第１短側面Ｍ６１と表面Ｍｅとは、第１長辺Ｌ１１に接続された第１短辺Ｓ２１と、第２長辺Ｌ１２に接続された第２短辺Ｓ２２とで交差する。

また、図１０に示されたように第１長辺Ｌ１１と第１短辺Ｓ２１とからなす第１角度θ５は第２長辺Ｌ１２と第２短辺Ｓ２２とからなす第２角度θ６より小さい。

＜第１股部１４Ｂの構成＞
図９に示されたように、第１股部１４Ｂは表面Ｍｅ及び裏面ＭｉからＺ軸方向の中央に伸びた２つの股部面Ｍ７１と、その２つの股部面Ｍ７１が第２音叉型水晶振動片１０Ｂの厚さ方向のほぼ中央で交差するように形成された第１境界辺Ｓｂとを有している（図５を参照）。また、股部面Ｍ７１と表面Ｍｅとは第１股部辺Ｓ２４及び第２股部辺Ｓ２５で交差する。

また、図１０に示されたように第１股部辺Ｓ２４とＹ軸とからなす第１鈍角θ７は第２股部辺Ｓ２５とＹ軸とからなす第２鈍角θ８より小さい。

＜第２音叉型水晶振動片１０Ｂの製造方法＞
第２音叉型水晶振動片１０Ｂの製造方法において、図６のステップＳ１１７を除いた他のステップは第１音叉型水晶振動片１０Ａの製造方法と同じであるため、ステップＳ１１７のみについて説明する。

図６に示されたステップＳ１１７において、図９に示された溝部１３Ｂ及び第１股部１４Ｂが形成する。ここで、第２音叉型水晶振動片１０Ｂ全体をマスクなしでウエットエッチング剤に浸漬させてウエットエッチングしてもよいしマスクを用いて一部のみがウエットエッチング剤に浸漬させて、溝部１３Ｂ及び第１股部１４Ｂを形成してもよい。

（第３実施形態）
図１１は、第３実施形態の第３音叉型水晶振動片１０Ｃを示す。第３音叉型水晶振動片１０Ｃは、溝部１３Ｃを除いた他の部分が第１実施形態と同じである。以下、第３音叉型水晶振動片１０Ｃの溝部１３Ｃのみについて、図１１を参照しながら説明する。

＜溝部１３Ｃの構成＞
図１１に示されたように、一対の振動腕１２Ｃに設けられた溝部１３Ｃは−Ｙ側の第１溝部ユニット１３Ｃａ及び＋Ｙ側の第２溝部ユニット１３Ｃｂにそれぞれ分けて形成される。この構成は、一対の振動腕１２Ｃの強度を強化することができる。

詳しく説明すると、第３音叉型水晶振動片１０Ｃの第１溝部ユニット１３Ｃａは底面Ｍ１１と、その底面Ｍ１１に接続された第１長側面Ｍ２３、第２長側面Ｍ２４、第１短側面Ｍ８１及び第２短側面Ｍ８２とをそれぞれ有している。

Ｙ軸方向に伸びた第１長側面Ｍ２３は底面Ｍ１１の＋Ｘ側に設けられ、Ｙ軸方向に沿って伸びた第２長側面Ｍ２４は底面Ｍ１１の−Ｘ側に設けられている。また、第１短側面Ｍ８１は底面Ｍ１１の−Ｙ側に設けられ、第２短側面Ｍ８２は底面Ｍ１１の＋Ｙ側に設けられている。

第１長側面Ｍ２３と表面ＭｅとはＹ軸方向に伸びた第１長辺Ｌ２１で交差し、第２長側面Ｍ２４と表面ＭｅとはＹ軸方向で伸びた第２長辺Ｌ２２で交差する。また、第１短側面Ｍ８１と表面Ｍｅとは、第１長辺Ｌ２１に接続された第１短辺Ｓ３１と、第２長辺Ｌ２２に接続された第２短辺Ｓ３２と、第１短辺Ｓ３１と第２短辺Ｓ３２とを連結するＸ軸方向に伸びた第３短辺Ｓ３３とで交差する。

ここで、第１長辺Ｌ２１と第１短辺Ｓ３１とからなす第１角度θ９は第２長辺Ｌ２２と第２短辺Ｓ３２とからなす第２角度θ１０より小さい。

また、第２短側面Ｍ８２と表面Ｍｅとは、第１長辺Ｌ２１に接続された第４短辺Ｓ４１と、第２長辺Ｌ２２に接続された第５短辺Ｓ４２と、第４短辺Ｓ４１と第５短辺Ｓ４２とを連結するＸ軸方向に伸びた第６短辺Ｓ４３とで交差する。

ここで、第１長辺Ｌ２１と第４短辺Ｓ４１とからなす第３角度θ１１は第２長辺Ｌ２２と第５短辺Ｓ４２とからなす第４角度θ１２より小さい。

また図１１に示されたように、第３音叉型水晶振動片１０Ｃの第２溝部ユニット１３Ｃｂは底面Ｍ１２と、その底面Ｍ１２に接続された第１長側面Ｍ２５、第２長側面Ｍ２６、第１短側面Ｍ９１及び第２短側面Ｍ９２とをそれぞれ有している。

第１長側面Ｍ２５と表面ＭｅとはＹ軸方向に伸びた第１長辺Ｌ３１で交差し、第２長側面Ｍ２６と表面ＭｅとはＹ軸方向で伸びた第２長辺Ｌ３２で交差する。また、第１短側面Ｍ９１と表面Ｍｅとは、第１長辺Ｌ３１に接続された第１短辺Ｓ５１と、第２長辺Ｌ３２に接続された第２短辺Ｓ５２と、第１短辺Ｓ５１と第２短辺Ｓ５２とを連結するＸ軸方向に伸びた第３短辺Ｓ５３とで交差する。

ここで、第１長辺Ｌ３１と第１短辺Ｓ５１とからなす第１角度θ１３は第２長辺Ｌ３２と第２短辺Ｓ５２とからなす第２角度θ１４より小さい。このため、第１短辺Ｓ５１と第２短辺Ｓ５２とを連結しＸ軸方向に伸びた第３短辺Ｓ５３の垂直二等分線Ｇｘは、振動腕１２ＣのＸ軸方向での中心線Ｂｘより−Ｘ側にずれている。

上述のように、第３音叉型水晶振動片１０Ｃにおいて、第１溝部ユニット１３Ｃａの第１短側面Ｍ８１、第２短側面Ｍ８２及び第２溝部ユニット１３Ｃｂの第１短側面Ｍ９１は表面Ｍｅとの角度が１２０°〜１６０°である緩斜面を形成する。第１溝部ユニット１３Ｃａ及び第２溝部ユニット１３Ｃｂに溝部励振電極（図示しない）を形成する際、エッジ部分（図３を参照）に電極用金属膜の上にフォトレジストを均一の厚さで塗布することができ、またフォトレジストに紫外線を照射しやすい。このため、完成した電極パターンは断線などが生じることが極めて少ない。

また、第３実施形態では短側面と表裏面とが第１短辺、第２短辺及び第３短辺で交差する場合について説明したが、第２実施形態で説明されたように短側面と表裏面とが第１短辺及び第２短辺のみで交差してもよい。また、第３実施形態では股部面が第１実施形態で説明された第１股部１４Ａの形状となっているが、第２実施形態で説明された第１股部１４Ｂの形状となってもよい。

＜第３音叉型水晶振動片１０Ｃの製造方法＞
第３音叉型水晶振動片１０Ｃの製造方法において、図６のステップＳ１１５〜Ｓ１１７を除いた他のステップは第１音叉型水晶振動片１０Ａの製造方法と同じである。

図６に示されたステップＳ１１５において、露光装置（図示しない）を用いて、フォトマスクに描かれた矩形の第１溝部ユニット１３Ｃａ及び第２溝部ユニット１３Ｃｂの半製品（図示しない）のパターンがフォトレジスト層が塗布された水晶ウエハ２０の両面に露光される。次にフォトレジスト層から露出した金層がウエットエッチングされる。次いで、金層が除去されて露出したクロム層がウエットエッチングされる。そして、露出された水晶ウエハ２０がウエットエッチングされ、矩形の第１溝部ユニット１３Ｃａ及び第２溝部ユニット１３Ｃｂの半製品（図示しない）が形成される。

ステップＳ１１６において、第３音叉型水晶振動片１０Ｃの半製品（図示しない）に残った耐食膜及びフォトレジストが除去される。
ステップＳ１１７において、第３音叉型水晶振動片１０Ｃの半製品（図示しない）全体がマスクなしでウエットエッチング剤に浸漬してウエットエッチングされる。これにより、図１１に示された溝部１３Ｃ及び第１股部１４Ａが形成される。なお、図１１に示された第１溝部ユニット１３Ｃａの第１短側面Ｍ８１、第２短側面Ｍ８２及び第２溝部ユニット１３Ｃｂの第１短側面Ｍ９１部分のみに対してウエットエッチングされるようにマスクを用いて図１１に示された溝部１３Ｃ及び第１股部１４Ａを形成してもよい。

（第１変形例）
ここまで説明された第１〜第３実施形態の水晶振動片は、図７の実線で示されたように、その溝部の形状が矩形となっている。しかし、図６のステップＳ１１１〜Ｓ１１５を経て形成される溝部の形状は矩形に限られない。以下、第２実施形態の第２音叉型水晶振動片１０Ｂの変形例を一例として、第１変形例を説明する。図１２は、第１変形例における第２音叉型水晶振動片半製品１０Ｂ−ｓを示した平面図である。

図６で説明されたステップＳ１１３までの工程により形成された第１股部半製品１４Ｂ−ｓと表面Ｍｅとの交差形状は、図１２の実線に描かれたように円弧状（Ｕ字型）となっている。これは第２音叉型水晶振動片１０Ｂの外形パターンを形成される際のフォトマスクが、円弧状に形成されているからである。なお、ステップＳ１１３までの工程では、図１２に示された溝部半製品１３Ｂ-ｓは形成されておらず、第２音叉型水晶振動片１０Ｂは平面形状である。

また、ステップＳ１１５の工程により溝部半製品１３Ｂ-ｓの短辺側は円弧状（Ｕ字型）に形成される。つまり、溝部半製品１３Ｂ-ｓと表面Ｍｅとの交差形状は、図１２の実線に描かれたように、Ｙ軸方向の両側状が円弧でＸ軸方向の両側が直線である角丸長方形となっている。フォトマスクの溝パターン形状が円弧に形成されているためである。

その後、図１２の実線に示された状態でステップＳ１１７を行い、図１２の点線に示されたような溝部１３Ｂ及び第１股部１４Ｂを形成する。

また、第１変形例は第２実施形態の変形例となっているが、第１実施形態にも適用される。すなわち、図６で説明されたステップＳ１１３及びＳ１１５において図１２に示された第１股部半製品１４Ｂ−ｓ及び溝部半製品１３Ｂ−ｓを形成した状態で、ステップＳ１１７を行って第１実施形態で説明された溝部１３Ａ及び第１股部１４Ａ（図４を参照）を形成してもよい。同様に、第３実施形態にも適用される。

（第２変形例）
以下、第３実施形態の第３音叉型水晶振動片１０Ｃ’の変形例を一例として、第２変形例について説明する。図１３は、第２変形例における第３音叉型水晶振動片半製品１０Ｃ’−ｓを示した平面図である。

図６で説明されたステップＳ１１３までの工程により形成された第１股部半製品１４Ｃ’−ｓは図１３の実線に描かれたように２つの直線より構成された「Ｖ」字型となっている。これは第３音叉型水晶振動片１０Ｃ’の外形パターンを形成される際のフォトマスクが、「Ｖ」字に形成されているからである。なお、ステップＳ１１３までの工程では、図１３に示された溝部半製品１３Ｃ’-ｓは形成されておらず、第３音叉型水晶振動片１０Ｃ’は平面形状である。

また、ステップＳ１１５の工程により溝部半製品１３Ｃ’-ｓの短辺側は図１３の実線に示されたように、「Ｖ」字型に形成される。フォトマスクの溝パターン形状が「Ｖ」字弧に形成されているためである。

その後、ステップＳ１１７を行い、図１３の点線に示されたような溝部１３Ｃ’及び第１股部１４Ａを形成する。また、第２変形例は第３実施形態の変形例となっているが、第１実施形態及び第２実施形態にも適用される。

（第３変形例）
以下、第３変形例の第４音叉型水晶振動片１０Ｄについて説明する。図１４は、第３変形例の第４音叉型水晶振動片１０Ｄを示した平面図である。第１実施形態と同じ構成要件に対して同じ符号を付して説明する。

＜第４音叉型水晶振動片１０Ｄの全体構成＞
図１４に示されたように、第４音叉型水晶振動片１０ＤはＹ軸方向に沿って伸びた軸Ａｘにより線対称となる。第４音叉型水晶振動片１０Ｄはほぼ矩形状の基部２１と基部２１から＋Ｙ軸方向に伸びて形成されている一対の振動腕１２Ａを有している。一対の振動腕１２Ａの表面には、一対の溝部１３Ａが形成されている。

また、第４音叉型水晶振動片１０Ｄは一対の振動腕１２Ａの両外側に基部２１から＋Ｙ軸方向に伸びて形成されている一対の支持腕２２を有している。一対の支持腕２２は、振動腕１２Ａの振動が第４音叉型水晶振動片１０Ｄの外部へ漏れる振動漏れを小さくする効果を有する。また一対の支持腕２２は、パッケージＰＫ（図１６（ｂ）を参照）の外部の温度変化、または衝撃の影響を受けづらくさせる効果を有する。ここで、一対の振動腕１２Ａ同士の距離Ｗと、振動腕１２Ａと支持腕２２とのＸ軸方向の距離Ｗとは同じになるように構成されている。

また、支持腕２２はその＋Ｙ側の先端に、支持腕２２の幅より幅広い幅広腕部２２２が形成されている。幅広腕部２２２は、パッケージＰＫの連結電極２１６（図１６（ｂ）を参照）と接続される箇所である。幅広腕部２２２が広い面積を有すると導電性接着剤２１５（図１６（ｂ））が塗布される接続領域の面積が大きくなる。これにより、接続領域がより大きくなって第４音叉型水晶振動片１０Ｄがより確実にパッケージＰＫ中に載置できる。

第４音叉型水晶振動片１０Ｄは、Ｘ軸方向で一対の振動腕１２Ａの両外側に振動腕１２Ａと支持腕２２と基部２１とから構成された第２股部２４を有している。また、一対の溝部１３Ａには互いに極性が異なる溝部励振電極１３１（図１４では斜線と網状線とで示す）がそれぞれ形成される。一対の振動腕１２ＡのＸ軸方向の両外側にはそれぞれに側面励振電極１２１が形成される。

一対の支持腕２２にはＹ軸方向に沿って伸びた引出電極２２１が形成されている。引出電極２２１は＋Ｙ軸方向において幅広腕部２２２まで伸び、−Ｙ軸方向において基部２１まで伸びている。また、引出電極２２１は接続電極１４１を介して側面励振電極１２１及び溝部励振電極１３１に接続されている。

このような構成によって、引出電極２２１は、側面励振電極１２１及び溝部励振電極１３１に導電されている。引出電極２２１が導電性接着剤２１５（図１６（ｂ）を参照）を介して外部電極２１７（図１６（ｂ）を参照）に接続されれば外部電極と励振電極とがそれぞれ導電し、第４音叉型圧電振動片１０Ｄの振動腕１２Ａは振動する。

＜第２股部２４の構成＞
図１４に示された第２股部２４は、表面Ｍｅ及び裏面ＭｉからＺ軸方向の中央に斜めに伸びた２つの股部面Ｍ１０１と、この２つの股部面Ｍ１０１が第４音叉型水晶振動片１０Ｄの厚さ方向のほぼ中央位置で交差するように形成された第２境界辺Ｓｂとを有している。ここで、股部面Ｍ１０１と表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉとから成す傾斜角度（図５を参照）は１２０°〜１６０°であることが好ましい。このような構成によれば、第２股部２４に接続電極１４１を断線なく形成できる。

また、股部面Ｍ１０１と表面Ｍｅとは第４股部辺Ｓ１７、第５股部辺Ｓ１８及び第３股部辺Ｓ１８で交差する。ここで、第４股部辺Ｓ１７とＹ軸とからなす第３鈍角θ１５は第５股部辺Ｓ１８とＹ軸とからなす第４鈍角θ１６より小さい。このため、第４股部辺Ｓ１７と第５股部辺Ｓ１８とを連結するＸ軸方向に伸びた第６股部辺Ｓ１９の垂直二等分線Ｊｘは、隣接した振動腕１２Ａ及び支持腕２２間の中心線Ｋｘより−Ｘ側にずれている。また、第３変形例の第２股部２４は、第２実施形態で説明された第１股部１４Ｂと同じ構成となってもよい。

＜第４音叉型水晶振動片１０Ｄの製造方法＞
第３変形例の第４音叉型水晶振動片１０Ｄは、第１実施形態で説明された図６のステップＳ１１３で基部２１、振動腕１２Ａおよび支持腕２２を形成することができる。また、第２股部２４は第１実施形態の第１股部１４Ａと同じ工程で形成することができる。すなわち、第１実施形態で説明された図６のステップＳ１１３及びステップＳ１１７を介して図１４に示された第２股部２４を形成することができる。

（第４変形例）
以下、第４変形例の第５音叉型水晶振動片１０Ｅについて、図１５を参照しながら説明する。図１５は、第４変形例の第５音叉型水晶振動片１０Ｅを示した平面図である。第３変形例と同じ構成要件に対して同じ符号を付して説明する。

図１５に示されたように、第５音叉型圧電振動片１０Ｅはほぼ第３変形例と同じ構成である。第５音叉型圧電振動片１０ＥはＸ軸方向で一対の振動腕１２Ａの両外側に励振基部２１から＋Ｙ軸方向に伸びて形成されている一対の支持腕３２を有している。また、第５音叉型圧電振動片１０Ｅはその外側に矩形状の外枠部３０をさらに有している。この外枠部３０は一対の支持腕３２を介して励振基部２１と連結されている。

第５音叉型圧電振動片１０Ｅにおいて、一対の支持腕３２の表裏面には引出電極３２１が形成されている。引出電極３２１は、それぞれに外枠部３０の一隅（＋Ｘ側、＋Ｙ側）及び外枠部３０の別の一隅（−Ｘ側、−Ｙ側）まで伸びて形成される。また、引出電極３２１は接続電極１４１を介して側面励振電極１２１及び溝部励振電極１３１に接続されている。

このような構成によって、引出電極３２１が貫通電極３１４Ａ、貫通電極３１４（図１７を参照）を介して外部電極３１５（図１７を参照）に接続されれば外部電極３１５と励振電極とがそれぞれ導電し第５音叉型圧電振動片１０Ｅの振動腕１２Ａは振動する。

第４変形例の第５音叉型水晶振動片１０Ｅの枠体３０は、第１実施形態で説明された図６のステップＳ１１３で基部２１、振動腕１２Ａなどと同時に形成することができる。

（第１圧電デバイス）
第１圧電デバイスとして第１実施形態で説明された第１音叉型水晶振動片１０Ａを用いた圧電振動子１００について説明する。図１６（ａ）は、第１音叉型水晶振動片１０Ａを備えた圧電振動子１００の側面図である。

図１６（ａ）に示されたように、圧電振動子１００はベース１１２と、壁１１３と、蓋体１１４とにより構成されたキャビティＣＴを有するパッケージＰＫを備えている。パッケージＰＫは第１音叉型水晶振動片１０ＡをキャビティＣＴ内に収納している。ベース１１２及び壁１１３は、例えば圧電体、セラミック又はガラスなどで形成されている。また、蓋体１１４は、圧電体、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金（コバール）などの平板状の金属、又はガラスなどにより構成される。キャビティＣＴ内は窒素ガスや真空などでシーム溶接などの手法により気密的に封止する。

また、ベース１１２の−Ｙ側にはベース１１２及び壁１１３に接触するように台座１１５が設けられている。台座１１５もベース１１２及び壁１１３と同じに圧電体、セラミック又はガラスなどで形成される。また、第１音叉型水晶振動片１０Ａは基部１１を台座１１５に載置し導電性接着剤１１６を介して台座１１５に固定される。

基部１１に形成された基部電極１１１（図１を参照）は、導電性接着剤１１６及び連結電極１１７を介して外部電極１１８にそれぞれ接続されている。連結電極１１７はベース１１２と壁１１３との間を通過してベース１１２の底面に設けられた一対の外部電極１１８に接続される。このような構成にすれば、一対の外部電極１１８に交番電圧が印加された場合第１音叉型水晶振動片１０Ａの振動腕１２が励振される。

また、第１音叉型水晶振動片１０Ａを用いた圧電振動子１００について説明したが、第１音叉型水晶振動片１０Ａの替わりに第２〜第３実施形態又は第１、第２変形例で説明された音叉型水晶振動片を用いてもよい。

（第２圧電デバイス）
第２圧電デバイスとして第３変形例で説明された第４音叉型圧電振動片１０Ｄを用いた圧電振動子２００について説明する。図１６（ｂ）は、第４音叉型圧電振動片１０Ｄを備えた圧電振動子２００の側面図である。

図１６（ｂ）に示されたように、圧電振動子２００はベース２１１と、壁２１２と、蓋体２１３とにより構成されたキャビティＣＴを有するパッケージＰＫを備えている。パッケージＰＫは第４音叉型圧電振動片１０ＤをキャビティＣＴ内に収納している。ベース２１１のＹ軸方向のほぼ中央部には台座２１４が設けられている。台座２１４もベース２１１及び壁２１２と同じに圧電体、セラミック又はガラスなどで形成される。また、第４音叉型圧電振動片１０Ｄは支持腕２２の幅広腕部２２２を台座２１４に載置し導電性接着剤２１５を介して台座２１４に固定される。支持腕２２に形成された引出電極２２１（図１４を参照）は、導電性接着剤２１５及び連結電極２１６を介して外部電極２１７に接続されている。

（第３デバイス）
第３圧電デバイスとして第４変形例で説明された第５音叉型圧電振動片１０Ｅを用いた圧電振動子３００について、図１７を参照しながら説明する。図１７（ａ）は、第５音叉型圧電振動片１０Ｅを備えた圧電振動子３００の分解斜視図であり、図１７（ｂ）は、第５音叉型圧電振動片１０Ｅを備えた圧電振動子３００のＫ−Ｋ断面図である。

図１７（ａ）に示されたように、圧電振動子３００は、最上部のリッド部３０１、最下部のベース部３０２及び中央部の第５音叉型圧電振動片１０Ｅから構成される。リッド部３０１、ベース部３０２及び第５音叉型圧電振動片１０Ｅは圧電材から形成される。リッド部３０１はウエットエッチングにより形成されたリッド用凹部３１１を第５音叉型圧電振動片１０Ｅ側の片面に有している。ベース部３０２は、ウエットエッチングにより形成されたベース用凹部３１２を第５音叉型圧電振動片１０Ｅ側の片面に有している。したがって、リッド用凹部３１１及びベース用凹部３１２によりキャビティＣＴが形成される。

また、ベース部３０２の＋Ｚ側のＹ軸方向の両側にはベース部接続電極３１３がそれぞれ設けられている。ベース部接続電極３１３の下には貫通電極３１４がそれぞれ設けられている。さらに、図１７（ｂ）に示されたように貫通電極３１４は外部電極３１５にそれぞれ接続され、貫通電極３１４は外部電極３１５に接続されている。

圧電振動子３００は、図１７（ｂ）に示されたように第５音叉型圧電振動片１０Ｅを中心として、その裏面にベース部３０２が接合され、その表面にリッド部３０１が接合されている。つまり、リッド部３０１は第５音叉型圧電振動片１０Ｅに、ベース部３０２は第５音叉型圧電振動片１０Ｅにシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ）技術により封止した構成になっている。

このような構成によれば、第５音叉型圧電振動片１０Ｅにおいて引出電極３２１がベース部接続電極３１３及び貫通電極３１４を介して外部電極３１５に導電される。また、リッド部３０１、第５音叉型圧電振動片１０Ｅ及びベース部３０２は、例えば陽極接合技術などによって接合されてもよい。

以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。たとえば、本発明は、圧電振動子以外にも、発振回路を組み込んだＩＣなどをベース部上に配置させた圧電発振器にも適用できる。

１０Ａ〜１０Ｅ … 音叉型水晶振動片
１０Ａ−ｓ、１０Ｂ−ｓ、１０Ｃ’−ｓ … 音叉型水晶振動片半製品
１１、２１ … 基部
１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ … 振動腕
１２Ａ−ｓ、１２Ｂ−ｓ、１２Ｃ’−ｓ … 振動腕半製品
１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ … 溝部
１３Ｃａ、１３Ｃｂ … 溝部ユニット
１３Ａ−ｓ、１３Ｂ−ｓ、１３Ｃ’−ｓ … 溝部半製品
１４Ａ、１４Ｂ、２４ … 股部
１４Ａ−ｓ、１４Ｂ−ｓ、１４Ｂ’−ｓ … 第１股部半製品
２２、３２ … 支持腕
１００、２００、３００ … 圧電振動子
１１１ … 基部電極、 １２１ … 側面励振電極、 １３１ … 溝部励振電極、 １４１ … 接続電極、 １５１ … 金属膜
Ａｘ、Ｂｘ … 対称線
Ｍ１、Ｍ１１、Ｍ１２ … 底面
Ｍ２１、Ｍ２２、Ｍ２３、Ｍ２４、Ｍ２５、Ｍ２６ … 長側面
Ｍ３１、Ｍ３２、Ｍ６１、Ｍ６２、Ｍ８１、Ｍ８２、Ｍ９１、Ｍ９２ … 短側面
Ｍ４１、Ｍ７１ … 股部面
Ｍｅ … 表面、 Ｍｉ … 裏面
Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ３１、Ｌ３２ 長辺
Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ３１、Ｓ３２、Ｓ３３、Ｓ４１、Ｓ４２、Ｓ４３、Ｓ５１、Ｓ５２、Ｓ５３ … 短辺
Ｓ１４、Ｓ１５、Ｓ１６、Ｓ１７、Ｓ１８、Ｓ１９、Ｓ２４、Ｓ２５ … 股部辺
θ１〜θ１６、α、β１、β２、β３ … 角度

Claims (6)

1. 水晶材からなり、表裏面を有する基部と、その基部からＹ軸方向に伸びる一対の振動腕と、前記一対の振動腕の表裏面に前記Ｙ軸方向に伸びる溝部とを有する音叉型水晶振動片の製造方法において、
   前記水晶材に成膜された耐食膜にレジストを塗布し、前記レジストを露光して前記基部と前記振動腕と前記溝部とに対応する領域を露光するフォトリソグラフィ工程と、
   前記基部と前記振動腕と前記溝部とに対応する領域の以外の前記耐食膜をエッチングし且つ前記水晶材をエッチングして、前記音叉型水晶振動片の外形を形成する第１エッチング工程と、
   前記水晶材に残っている前記耐食膜および前記レジストを除去する除去工程と、
   前記除去工程後に、前記水晶材をエッチング剤に浸漬して、前記一対の振動腕と前記基部との間に形成される第１股部又は前記溝部の前記基部側の端面の少なくとも一方をエッチングする第２エッチング工程と、
   を備える音叉型水晶振動片の製造方法。
2. 前記第１エッチング工程および前記第２エッチング工程が同じ温度および同じエッチング剤を使用し、前記第２エッチング工程のエッチング時間は、前記第１エッチング工程のエッチング時間よりも短い請求項１に記載の音叉型水晶振動片の製造方法。
3. 前記第２エッチング工程は、前記除去工程で露出した前記音叉型水晶振動片の表裏面全体をエッチング剤に浸漬する請求項１または請求項２に記載の音叉型水晶振動片の製造方法。
4. 前記第２エッチング工程は、前記音叉型水晶振動片における前記第１股部又は前記端面の少なくとも一方以外をマスクで覆ってエッチング剤に浸漬する請求項１または請求項２に記載の音叉型水晶振動片の製造方法。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項より製造された音叉型圧電振動片を収納するキャビティを有するパッケージを備える圧電デバイス。
6. 第１凹み部を有するリッド板と第２凹み部を有するベース板とを備え、
   請求項１から請求項４のいずれか一項より製造された音叉型圧電振動片を前記リッド板と前記ベース板とで挟み込んだ圧電デバイス。