JP2006339729A - 圧電振動片の製造方法、並びに圧電振動片、並びに圧電デバイス、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
小型化された音叉型圧電振動片を形成する際の電極形成時のフォトリソ工程において、又部に対する露光精度を向上させることができる圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】
上記課題を解決する圧電振動片の製造方法は、複数の振動腕を備え、音叉型を成す圧電振動片を製造する際における電極形成時のフォトリソグラフィ工程において、マスク20を圧電振動片10の電極形成面に形成したレジスト19に接触させ、複数の前記振動腕間に形成される又部16に対する照射光が垂直に照射される方向に近づくように光源30を傾斜させて露光を行うことを特徴としたものである。
【選択図】 図3
Description
また、本発明に係る圧電デバイスは、前記圧電振動片を搭載したことを特徴とするものである。このような構成の圧電デバイスであれば、前記圧電振動片と同様に、製品としての信頼性が向上する。
まず、図1及び図2を参照して、本発明に係る圧電振動片の製造方法を用いて製造する圧電振動片について説明する。なお、図1は圧電振動片の全体を示す平面図である。また、図2(A)は図1に示す圧電振動片における又部の部分拡大平面図であり、図2(B)は同図(A)におけるA−A断面を示す図である。
フォトリソ工程の概略は次の通りである。まず、外形形成された圧電部材12の外周面にスパッタ等の技術により金属薄膜18を形成する。金属薄膜18の種類としては、クロム(Cr)を下地として金(Au)を蒸着させる2層構造のものが一般的である。また、圧電部材12としては、水晶(SiO2)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)等を挙げることができる。金属薄膜を形成した後、当該金属薄膜18の上層に積層するようにレジスト19(図4参照)を塗布する。レジスト19は紫外線等の照射光を受けることにより性質を変化させる感光性のものであれば良く、電極エッチングの際に金属薄膜18を保護する保護膜の役割を担う。レジスト19を塗布した後、金属薄膜18を除去する部位にスリットを設けたマスク20(図3参照)を介して、前記レジスト19に紫外線を照射して露光を行う。露光終了後、圧電振動片10を現像液に浸し、レジスト19の感光部位を除去する。その後、圧電振動片10を電極エッチング液に浸すことにより、レジストが除去された部位に位置する金属薄膜18がエッチングされ、前記マスク20の形状に合致した電極パターン14が形成される。電極エッチング終了後、レジスト19を剥離して圧電振動片10における電極パターン14形成のためのフォトリソ工程が終了する。
本発明に係る圧電デバイス100は、パッケージ40と、当該パッケージ40の内部に実装される圧電振動片10とを有する。前記パッケージ40は、ベース42とリッド44、圧電振動片10をベース42に対して接合支持するマウント部48、及びベース42とリッド44とを接合するためのシールリング46とより構成される。
また、前記圧電振動片10は、上述した方法を用いて製造された音叉型圧電振動片10である。
携帯電話装置200では、送信者からの音声信号は、マイクロフォン202によって電気信号に変換され、デモジュレータ・コーデック等を備える信号切替部206で変調等され、送信部208にて周波数変換等され、アンテナ212を介して基地局(不図示)に送信される。
このような信号制御が成される携帯電話装置200の動作は、CPU(Central Processing Unit)216によって全体が制御されている。CPU216は、液晶画面やキーボード等の入出力部218や、制御プログラムや電話帳等を記録するメモリ220をはじめ、信号の送受信を制御する切替スイッチ210の動作も制御している。
上記実施形態においては、圧電振動片は音叉型圧電振動片のみを対象としているように記載したが、本発明における圧電振動片は、音叉構造を有する圧電振動片であれば、ジャイロセンサに用いられる圧電振動片に対しても適用することができる。
Claims (6)
- 複数の振動腕を備え、音叉型を成す圧電振動片を製造する際における電極形成時のフォトリソグラフィ工程において、
マスクを圧電振動片の電極形成面に形成したレジストに接触させ、
複数の前記振動腕間に形成される又部の傾斜面に対する照射光が垂直に照射される方向に近づくように所定の角度で光源を傾斜させて露光を行うことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 複数の振動腕を備え、音叉型を成す圧電振動片を製造する際における電極形成時のフォトリソグラフィ工程において、
マスクを圧電振動片の電極形成面に形成したレジストに接触させ、
一方の光源は照射光が前記振動片の板面に垂直に照射されるように配置し、
他方の光源は照射光が複数の前記振動腕間に形成される又部の傾斜面に対して垂直に照射される方向に近づくように所定の角度で傾斜させて配置し、
それぞれの光源から照射光を照射して露光を行うことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記傾斜させる光源は、圧電振動片の板面に対して照射光を垂直に照射する位置に対して25度から30度の傾斜角を持つように配置することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電振動片の製造方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧電振動片の製造方法を用いて製造したことを特徴とする圧電振動片。
- 請求項4に記載の圧電振動片を搭載したことを特徴とする圧電デバイス。
- 請求項5に記載の圧電デバイスを搭載したことを特徴とする電子機器。
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