JP4711414B2 - 角速度測定用トランスデューサ - Google Patents
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Description
さらにまた、さまざまな前記した解決方法は、さらなる欠点がある。すなわち、同調フォークが大きすぎることであり、基板上に乗るジャイロメータのアプリケーションでは出来るだけ小型の方が好ましい。
2 ベース
3,4 レグ
3 励起レグ
4 検出レグ
5a、5b 第1励起電極対
6a、6b 第2励起電極対
7a、7b 第1検出電極対
8a、8b 第2検出電極対
9 矢印
10 長手軸
21 同調フォーク
22 ベース
23,24 レグ
23 励起レグ
24 検出レグ
25,26 励起手段
25a、25b 第1励起電極対
26a、26b 第2励起電極対
27,28 検出手段
27a 第1検出電極
28a 第2検出電極
27b 第3検出電極
28b 第4検出電極
29,30 溝
31,32 溝
33 第1溝
34 第3溝
35 第2溝
36 第4溝
33,34 溝
35,36 溝
37 ノッチ
38 溝部分
39a 第1検出電極
39b 第3検出電極
40a 第2検出電極
40b 第4検出電極
41 発振器
42 検出器
43 発振器
Claims (5)
- 角速度を測定するトランスデューサにおいて、
(A)回転するピエゾ電子製の1個の同調フォーク(21)と、
前記同調フォーク(21)は、ベース(22)から延びる励起レグ(23)と検出レグ(24)とを有し、
前記各レグは、上部表面と底部表面と2つの側面とを有し、
(B)前記励起レグ(23)上に配置され、前記同調フォーク(21)の第1振動を励起する励起手段(25a、25b、26a、26b)と、
(C)前記検出レグ(24)上に配置され、前記同調フォーク(21)の回転と前記第1振動に応答して生成された、前記同調フォーク(21)の第2振動を検出する検出手段(27a、27b、28a、28b;39a、39b、40a、40b)と
を有し、
前記検出レグ(24)は、前記上部表面上に第1の溝(37)と、前記底部表面上に第2の溝(38)とを有し、
前記第1と第2の溝は、それぞれ、側面を有し、
前記検出手段は、対向して配列された第1検出電極(39a)と第2検出電極(40a)と、対向して配列された第3検出電極(39b)と第4の検出電極(40b)とを有し、
前記第1検出電極(39a)は、前記第1溝(37)の側面の内の第2検出電極(40a)に近い側面に配置され、
前記第2検出電極(40a)は、前記検出レグ(24)の第1側面全体にわたって、前記第1検出電極と第2検出電極の間の電界が、前記検出レグ(24)を直線状に貫くように、配列され、
前記第3検出電極(39b)は、前記第2溝(38)の側面の内の第4検出電極(40ba)に近い側面に配列され、
前記第4検出電極(40b)は、前記第1側面に対向する第2側面全体にわたって、前記第3検出電極と第4の検出電極の間の電界が、前記検出レグ(24)を直線状に貫くように、配列される
ことを特徴とする角速度測定用トランスデューサ。 - 前記励起手段は、前記励起レグ(23)の上部表面、底部表面、2つの側面のそれぞれに配置された第1励起電極(25a)、第2励起電極(25b)、第3励起電極(26a)、第4励起電極(26b)を有し、
前記励起レグ(23)は、その上部表面に少なくとも1個の第1溝(29)と、その底部表面に少なくとも1個の第2溝(31)とを有し、
前記第1励起電極(25a)は、前記第1溝(29)の底と側面にも延在し、
前記第2励起電極(25b)は、前記第2溝(31)の底と側面にも延在する
ことを特徴とする請求項1記載の角速度測定用トランスデューサ。 - 角速度を測定するトランスデューサにおいて、
(A)回転するピエゾ電子製の1個の同調フォーク(21)と、
前記同調フォーク(21)は、ベース(22)から延びる第1レグ(23)と第2レグ(24)とを有し、
前記各レグ(23、24)は、上部表面と底部表面と2つの側面とを有し、
前記第1レグ(23)は、前記上部表面上に第1と第2の上部溝(29,30)と、前記底部表面上に第1と第2の底部溝(35,36)とを有し、
前記第2レグ(24)は、前記上部表面上に第1と第2の上部溝(33,34)と、前記底部表面上に第1と第2の底部溝(31,32)とを有し、
(B1)前記第1レグ(23)上に配置され、前記同調フォーク(21)の第1振動を励起する第1と第2と第3の励起手段(25a、26a、26b)と、
前記第1励起手段(25a)は、前記第1レグ(23)の上部表面と前記第1と第2の上部溝(29,30)の壁に形成され、
前記第2と第3の励起手段(26a、26b)は、前記第1レグ(23)の2つの側面に形成され、
(B2)前記第2レグ(24)上に配置され、前記同調フォーク(21)の第1振動を励起する第1と第2と第3の励起手段(25b、26c、26d)と、
前記第1励起手段(25b)は、前記第2レグ(24)の底部表面と前記第1と第2の底部溝(31,32)の壁に形成され、
前記第2と第3の励起手段(26c、26d)は、前記第2レグ(24)の2つの側面に形成され、
(C1)前記第1レグ(23)上に配置され、前記同調フォーク(21)の回転と前記第1振動に応答して生成された、前記同調フォーク(21)の第2振動を検出する第1と第2の検出手段(27b、28b)と、
前記第1検出手段(27b)と第2検出手段(28b)は、それぞれ前記第2と第1の底部溝(36,35)の壁の内互いに近い壁に形成され、
(C2)前記第2レグ(24)上に配置され、前記同調フォーク(21)の回転と前記第1振動に応答して生成された、前記同調フォーク(21)の第2振動を検出する第1と第2の検出手段(27a、28a)と
前記第1検出手段(27a)と第2検出手段(28a)は、それぞれ前記第1と第2の上部溝(33,34)の壁の内互いに近い壁に形成され、
を有し、その結果、
前記第1レグ(23)の励起電極(25a)と前記第2レグ(24)の励起電極(25b)とを結ぶ線と、前記第1レグ(23)の検出電極(27b,28b)と前記第2レグ(24)の検出電極(27a,28a)とを結ぶ線とは、交差する
ことを特徴とする角速度測定用トランスデューサ。 - ピエゾ電子材料は水晶であり、前記上部表面と底部表面は、水晶の光学軸(z)に直交し、
前記レグは、水晶の機械軸(y)に沿って延びる
ことを特徴とする請求項1−3のいずれかに記載の角速度測定用トランスデューサ。 - 前記ベース(22)は、前記ベースを固定する部分と前記レグ(23、24)との間に機械的分離手段(45)を具備する
ことを特徴とする請求項1−4のいすれかに記載の角速度測定用トランスデューサ。
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