JPH11351879A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 感度を低下させる事無く外部からの衝撃や振
動に対し強固な角速度センサを提供することを目的とし
ている。 【解決手段】 支持部材６は、一体の棒状に形成されて
基台８の取り付け部に取り付けられるものであって、振
動子１が取り付けられる振動子支持部６ａと、振動子支
持部６ａに対して外方向かつ基台８の上記取り付け部に
向かって延びる一対の傾斜部６ｂ，６ｃとから構成され
ている。そして、支持部材７についても同様に、一体の
棒状に形成されて基台８の取り付け部に取り付けられる
ものであって、振動子１が取り付けられる振動子支持部
７ａと、振動子支持部７ａに対して外方向かつ基台８の
上記取り付け部に向かって延びる一対の傾斜部７ｂ，７
ｃとから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ビデオカメラの手
ぶれ検知、カーナビゲーションにおける方向検知、及び
いわゆるバーチャルリアリティ装置における動作検知す
る角速度センサに関し、特に圧電素子を用いた角速度セ
ンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】現在民生用として普及している角速度セ
ンサは、棒状の振動子を所定の共振周波数で振動させて
おき角速度が印可されたときに生じるコリオリカを圧電
素子等で検出することによって角速度を検出する圧電振
動型と呼ばれるものが一般的に用いられている。

【０００３】このような角速度センサにおいて、三角柱
や四角柱状の恒弾性金属により形成された音片に圧電素
子を装着した構造や、円柱状に加工された圧電セラミク
スに電極を印刷した構造の振動ジャイロ型角速度センサ
が実用化されている。

【０００４】振動子の作製については、角柱状に加工さ
れたエリンバ等の恒弾性金属に、両面に電極を形成した
圧電素子を装着する。この音片は振動を極力抑制しない
ような位置にタングステン等の剛性の高い細線を用いた
支持線を溶接等により接合し振動子を形成する。

【０００５】従来の角速度センサは、具体的には、図３
及び図４に示すように、断面が略正方形の柱状体に形成
された振動子１０１と、この振動子１０１の側面に取り
付けられた２つの圧電素子１０２，１０３と、圧電素子
１０２，１０３が取り付けられた振動子１０１を基台１
０８上に支持する一対の振動子支持手段である支持部材
１０６，１０７とを備えている。

【０００６】上記振動子１０１は、例えば、エリンバ等
の一般に機械的な振動を生じるような恒弾性材料が、断
面が略矩形の柱状体に成形されてなる。この振動子１０
１は、４つの側面のうち隣り合う２つの側面１０１ａ，
１０１ｂに、それぞれ圧電素子１０２，１０３が取り付
けられている。

【０００７】そして、この振動子１０１は、上記圧電素
子１０２，１０３が取り付けられた上記２つの側面１０
１ａ，１０１ｂ以外の２側面の交わる角部が、基台１０
８に取り付けられた一対の支持部材１０６，１０７が接
合されている。これにより、振動子１０１は、この支持
部材１０６，１０７により支持されて基台１０８上に吊
り下げられるように配設される。

【０００８】上記圧電素子１０２，１０３はそれぞれ、
例えば、圧電特性を有する圧電層と、この圧電層の両面
に形成された一対の電極層とから構成されている。こ
の、圧電素子１０２，１０３は、ともに略矩形の板状と
されて、振動子１０１の各側面１０１ａ，１０１ｂにそ
れぞれ接着されている。

【０００９】上記支持部材１０６，１０７は、一対とし
て、上記振動子１０１を吊り上げて支持している。

【００１０】支持部材１０６は、基台１０８への接合部
とされて、当該基台１０８に対して立設された一対の立
設部１０６ａ，１０６ｃと、この立設部１０６ａ，１０
６ｃの上記接合されない他端間に架け渡されている振動
子支持部１０６ｂとからなり、これら一体とされて一本
の棒形状とされて、いわゆる略コ字状に形状されてい
る。このような形状からなる支持部材１０６は、基台１
０８に上記立設部１０６ａ，１０６ｂが接合されて、当
該基台１０８に取り付けられている。例えば、基台１０
６に対して各立設部１０６ａ，１０６ｂの一端が半田づ
けなどにより接合されている。

【００１１】そして、支持部材１０７は、この支持部材
１０６と同様な構成をなし、すなわち、当該基台１０８
に対して立設された一対の立設部１０７ａ，１０７ｃ
と、この立設部１０７ａ，１０７ｃの上記接合されない
他端間に架け渡されている振動子支持部１０７ｂとから
なり、これら一体とされて一本の棒形状からなり、いわ
ゆる略コ字状に形成されている。そして、この支持部材
１０７も同様に、基台１０７に対して各立設部１０７
ａ，１０７ｂの一端が半田づけなどにより接合されて、
当該基台１０７に取り付けられている。

【００１２】そして、このような形状をなす支持部材１
０６，１０７は、上記振動子支持部１０６ｂ，１０７ｂ
の略中央の接合部１１１，１１２に上記振動子１０１の
角部が接合されて、当該振動子１０１を吊り下げた状態
として支持している。一般的に振動子１０１の支持は、
上述のように略コ字状に成型した支持線を抵抗溶接やレ
ーザ溶接により接合される。

【００１３】なお、支持部材１０６，１０７は、上述し
たように、タングステン（Ｗ）や、モリブデン（Ｍｏ）
等の剛性の高い金属が用いられる。

【００１４】さらにこの支持部材１０６，１０７には、
圧電素子１０２，１０３との電気的接続を果たす役割が
ある。振動子１０１に接着された圧電素子１０２，１０
３は、振動子１０１に溶接された支持部材１０６，１０
７を介して、電気信号の入出力を行う。

【００１５】通常、支持部材１０６，１０７はプリント
基板等に半田付けされ回路に接続される。具体的には、
圧電素子１０２，１０３は、ともに一方の上記電極層が
リード線１０４，１０５を介して基台１０８上に形成さ
れた配線パターンに電気的に接続され、また、他方の電
極層が振動子１０１及び支持部材１０６，１０７を介し
て、基台上に形成された配線パターンに電気的に接続さ
れている。

【００１６】通常、支持部材１０６，１０７は、上述し
たように、プリント基板等に半田付けされ回路に接続さ
れるため、その表面が、支持線の剛性を低下させずに半
田付け性を持たせる為ニッケル（Ｎｉ）により表面処理
されている。

【００１７】以上のように構成された従来の角速度セン
サ１２０は、圧電素子１０２，１０３により、振動子１
０１を所定の方向へ励振させるとともに、振動子１０１
の回転を検知し、角速度を検出している。

【００１８】このような角柱状の振動子を用いた角速度
センサは、現在のところ最も感度が高く、主流となって
いる。しかしながら、感度、残留ノイズ、外乱の影響等
に対する安定性は、振動子部分の組み立て精度に大きく
左右される。特に恒弾性金属からなる振動子の支持と、
電気的接続の２つの役割を果たす支持線からなる支持部
材は重要な部分である。

【００１９】なお、振動子を三角柱状に形成して、角速
度センサを構成することもできる。この場合、従来の角
速度センサは、図５及び図６に示すように、断面が略三
角形の柱状体に形成された振動子２０１と、この振動子
２０１の側面に取り付けられた３つの圧電素子２０２，
２０３，２０４とを有する。そして、上述した角速度セ
ンサ１０１と同様に、角速度センサ２２０は、上記振動
子２０１を基台１０８上に支持する一対の支持部材１０
６，１０７とを備えている。

【００２０】この振動子２０１は、３つの各側面２０１
ａ，２０１ｂ，２０１ｃに、それぞれ上記圧電素子２０
２，２０３，２０４が取り付けられている。そして、こ
の振動子２０１は、上記圧電素子２０２，２０３が取り
付けられた上記２つの側面２０１ａ，２０１ｂの交わる
角部が、支持部材１０６，１０７に接合されている。

【００２１】上記圧電素子２０２，２０３，２０４はそ
れぞれ、上記角速度センサ１０１の備える圧電素子１０
２，１０３と同様に、例えば、圧電特性を有する圧電層
と、この圧電層の両面に形成された一対の電極層とから
構成され、そして、ともに略矩形の板状とされて、振動
子２０１の各側面２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃにそれ
ぞれ接着されている。

【００２２】そして、このように構成された振動子２０
１の支持は、上述した従来の角速度センサ１１０におい
て振動子１０１が支持されると同様に、いわゆる略コ字
状の支持部材１０６，１０７によって支持されている。

【００２３】このように構成された従来の角速度センサ
２２０においては、例えば圧電素子２０４が駆動用とさ
れ、例えば圧電素子２０２，２０３が検出用とされる。

【００２４】これら駆動用とされる圧電素子２０４と検
出用圧電素子２０２，２０３は、一方の上記電極層がそ
れぞれリード線２０７，２０５，２０６を介して基台１
０８上に形成された配線パターンに電気的に接続され、
また、他方の電極層が振動子２０１及び支持部材１０
６，１０７を介して、基台１０８上に形成された配線パ
ターンに電気的に接続されている。

【００２５】この従来の角速度センサ２２０は、３つの
圧電素子２０２，２０３，２０４のうち、振動子２０１
の基台１０８と対向する面２０１ｃに取り付けられた圧
電素子２０４が、振動子２０１を所定の方向へ励振させ
る駆動用圧電素子として機能し、他の圧電素子２０２，
２０３が、振動子２０１の回転を検出する検出用圧電素
子として機能する。

【００２６】なお、圧電素子２０４を、例えば、帰還用
として用い、他の圧電素子２０２，２０３が、振動子２
０１を所定の方向へ励振させる機能と振動子２０１の回
転を検出する機能とを持たせるように構成さえれている
場合もある。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うに、支持部材１０６，１０７は、振動される振動子を
支持するといった機能の他に電気経路を構成するといっ
たように機械的振動と電気的接続を司る重要な部分を構
成する。

【００２８】しかしながら、支持部材１０６，１０７
は、振動を抑制せず定常状態で安定な振動が得られ、且
つ、外部からの衝撃や振動に対し強固である事という相
矛盾する性質が要求される。

【００２９】このような要求に対しては、外部からの衝
撃や振動に対して強くするとすれば、支持部材１０６，
１０７の径を太くする、上記振動子の質量を小さくす
る、支持部材１０６，１０７と上記振動子との接合部の
面積を大きくする、等による対処が考えられる。しか
し、何れの対処方法でも振動子自体のＱを低下させる方
向であるため結果的にセンサとして感度も低下してしま
う。

【００３０】そこで、本発明は、以上のような従来の実
情に鑑みて提案されたものであり、感度を低下させる事
無く外部からの衝撃や振動に対し強固な角速度センサを
提供することを目的としている。

【００３１】

【課題を解決するための手段】本発明に係る角速度セン
サは、上述の課題を解決するために、柱形状の振動子
と、振動子を所定の方向に振動させるとともに、当該振
動子の回転を検出する圧電素子と、一体の棒状に形成さ
れて基台の取り付け部に取り付けられるものであって、
振動子が取り付けられる振動子支持部と、上記振動子支
持部に対して外方向かつ上記基台の上記取り付け部に向
かって延びる少なくとも１つの傾斜部と有する一対の振
動子支持手段とを備えることにより、振動子を支持する
振動子支持手段が外部の衝撃等から耐えることのできる
強固な構造となる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて詳しく説明する。この実施の形態は、
本発明に係る角速度センサを、振動子が四角柱状に形成
されてなる角速度センサに適用したものである。

【００３３】本発明の実施の形態である角速度センサ
は、図１及び図２に示すように、柱状体に形成された振
動子１と、この振動子１の側面に取り付けられた２つの
圧電素子２，３と、圧電素子２，３が取り付けられた振
動子１を基台８上に支持する一対の支持部材６，７とを
備えている。

【００３４】そして、本発明の実施の形態とされる角速
度センサ２０において、振動子支持手段である支持部材
６は、一体の棒状に形成されて基台８の取り付け部に取
り付けられるものであって、振動子１が取り付けられる
振動子支持部６ａと、振動子支持部６ａに対して外方向
かつ基台８の上記取り付け部に向かって延びる一対の傾
斜部６ｂ，６ｃとから構成されている。そして、支持部
材７についても同様に、一体の棒状に形成されて基台８
の取り付け部に取り付けられるものであって、振動子１
が取り付けられる振動子支持部７ａと、振動子支持部７
ａに対して外方向かつ基台８の上記取り付け部に向かっ
て延びる一対の傾斜部７ｂ，７ｃとから構成されてい
る。

【００３５】以下、角速度センサ２０を構成する各部に
ついて詳しく説明する。

【００３６】上記振動子１は、断面が略正方形の柱状体
に成形されている。この振動子１は、例えば、エリンバ
等の一般に機械的な振動を生じるような恒弾性材料を用
いて構成されている。

【００３７】例えば、この振動子１は、成形加工された
後に真空で４００〜６００℃に加熱処理されることによ
って、検出感度の温度特性の調節が可能とされている。

【００３８】この振動子１は、４つの側面１ａ，１ｂ，
１ｃ，１ｄを有しており、その４つの側面１ａ，１ｂ，
１ｃ，１ｄのうち側面１ａ，１ｄに、圧電素子２，３が
取り付けられている。

【００３９】そして、この振動子１は、圧電素子２，３
が取り付けられたこの側面１ａ，１ｄ以外の側面１ｂ，
１ｃの交わる角部が、基台８に取り付けられた一対の支
持部材６，７に接合され、これにより、支持部材６，７
により支持されて基台８上に吊り下げられるように配設
されている。

【００４０】上記圧電素子２，３は、振動子１を所定の
方向に振動させるとともに、当該振動子の回転を検出す
る機能を有している。

【００４１】例えば、圧電素子２，３はそれぞれ、圧電
特性を有する圧電層と、この圧電層の両面に形成された
一対の電極層とから構成されている。そして、これら圧
電素子２，３は、ともに略矩形の板状とされ、振動子１
の側面１ａ，１ｄよりもやや小となるように形成されて
いる。

【００４２】なお、圧電素子２，３を構成する圧電層に
ついては、例えばＰＺＴ等の圧電セラミックスが板状に
成形されることにより形成されている。例えば、この圧
電層に用いられる材料は、圧電特性を有するものであれ
ばよく、上記の材料に限定されるものではない。

【００４３】また、圧電素子２，３を構成する電極につ
いては、例えば金のような導電体からなり、無電解メッ
キ等の手法により上記圧電層の両面に形成される。

【００４４】このように構成されてなる圧電素子２，３
は、振動子１の側面１ａ，１ｄに対して、エポキシ樹脂
等の接着剤により熱硬化工程を経て接着されている。

【００４５】この角速度センサ２０において、上述のよ
うな構成からなる圧電素子２，３は、ともに振動子１を
所定の方向へ励振させる機能と振動子１の回転を検出す
る機能とを有している。

【００４６】これら各圧電素子２，３にはそれぞれ、一
方の上記電極層に対してリード線４，５が取り付けられ
ており、圧電素子２，３は、このリード線４，５を介し
て基台８上に形成された配線パターンに電気的に接続さ
れている。また、圧電素子２，３は、他方の電極層が振
動子１及び支持部材６，７を介して、基台８上に形成さ
れた配線パターンに電気的に接続されている。

【００４７】上記支持部材６，７は、基台８上に振動子
１を吊り下げて支持するように構成されている。この支
持部材６，７は、当該角速度センサ２０が角速度を検出
する際に、上記圧電素子２，３により振動される上記振
動子１を支持するとともに、圧電素子２，３からの電気
信号を伝える部分を構成する。

【００４８】この支持部材６，７は、一体の棒状に形成
されて基台８に設置されるものであって、振動子１が取
り付けられる振動子支持部と、当該振動子支持部に対し
て外方向かつ基台８に向かって延びる傾斜部と有して構
成されている。

【００４９】この支持部材６，７は、ともに略同様な形
状とされて成形されており、以下、この支持部材６，７
の構造の詳しい説明については、支持部材６についての
み行う。

【００５０】支持部材６は、一方の直線棒状の振動子支
持部６ａと、この振動子支持部６ａについて対称とされ
た一対の傾斜部６ｂ，６ｃと、一端が基台８の上記取り
付け部に取り付けられて、他端が上記傾斜部６ｂ又は傾
斜部６ｃの外方向に延びた端部と一体とされている立設
部６ｄ，６ｅとが一体とされて、いわゆる全体として略
コ字状に形成されている。換言すると、支持部材６は、
詳しくは、コ字状に形成された肩部がいわゆる面取りさ
れた形状とされている。

【００５１】なお、上記傾斜部６については、外方向に
延びた端部が、当該支持部材６の基台８の取り付け部よ
り、内方向に位置されており、本例では、その端部が基
台の取り付け部と略一致されている。また、ここで、上
記基台８の取り付け部は、基台８において当該支持部材
６の上記立設部６ｄ，６ｅが接合される箇所であって、
本例では、後述する半田接合部９，１０において形成さ
れている。

【００５２】また、本例では、傾斜部６は、基台８に対
して角度を有しており、具体的には、上記支持部材６の
立設部６ｄ，６ｅがそれぞれ取り付けされる上記基台８
の上記取り付け部を含んだ直線に対して傾斜された角度
をなしている。

【００５３】支持部材７は、上述のように構成されてい
る支持部材６と同様に構成されており、すなわち、 一
方の直線棒状の振動子支持部７ａと、この振動子支持部
７ａについて対称とされた一対の傾斜部７ｂ，７ｃと、
一端が基台８の上記取り付け部に取り付けられて、他端
が傾斜部７ｂ又は傾斜部７ｃの外方向に延びた端部と一
体とされている立設部７ｄ，７ｅとが一体とされて、い
わゆる全体として略コ字状に形成されている。また、換
言すると、支持部材７は、詳しくは、コ字状に形成され
た肩部がいわゆる面取りされた形状とされている。

【００５４】また、上記傾斜部７についても上記支持部
材６と同様に、外方向に延びた端部が、当該支持部材７
の基台８への取り付け部より、内方向に位置されてお
り、本例では、その端部が上記基台の取り付け部と略一
致されている。

【００５５】さらに、本例では、傾斜部７は、上記支持
部材６の傾斜部６と同様に、基台８に対して角度を有し
ており、具体的には、上記支持部材７の立設部７ｄ，７
ｅがそれぞれ取り付けされる上記基台８の上記取り付け
部を含んだ直線に対して傾斜された角度をなしている。

【００５６】このような構造をなす支持部材６，７は、
例えば、タングステンやモリブデン等の剛性の高い金属
からなる金属線材にニッケル下地膜、金（Ａｕ）の皮膜
がそれぞれ成膜されている。

【００５７】そして、支持部材６，７のそれぞれ上記立
設部６ｄ，６ｅ，７ｄ，７ｅの一端が、基台８の取り付
け部に埋設されると共に基台８上に形成された配線パタ
ーンの一部である半田接合部９，１０に半田付けされ、
そして、これにより、当該支持部材６，７は、基台８に
対して、立設された状態とされる。本例では、このよう
に立設された状態において、支持部材６，７の振動子支
持部６ａ，７ａが基台８に対して対向されて、当該基台
８に対して平行に位置されている。

【００５８】なお、上記支持部材６，７に施すニッケル
層の皮膜は、タングステンとの密着性及び、半田付け時
の半田食われを考慮し、１〜５μｍ程度の膜厚にする。
また、支持部材の成型は、多軸のフォーミングマシンや
金型を用いたプレス成型で行う。

【００５９】上記振動子１は、側面１ｂ，１ｃの交わる
角部がこの支持部材６，７の振動子支持部６ａ，７ａの
略中央位置の接合部１１，１２に接合される。具体的に
は、振動子１は、抵抗溶接やレーザ溶接等の手法により
支持部材６，７の上記接合部１１，１２と接合されてい
る。

【００６０】なお、この振動子１に対する支持部材６，
７の接合点は、極力振動の妨げとならないように、図２
に示すように、当該振動子１の長さをＬとしたときに、
当該振動子１の両端から約０．２２４Ｌの位置とされる
ことが望ましい。

【００６１】以上のように角速度センサ２０の各部が構
成されている。このような構成からなる角速度センサ２
０は、振動子１の屈曲運動の振動方向が変化する際、振
動子２に働くコリオリ力を検出することができる。

【００６２】すなわち、角速度センサ２０においては、
圧電素子２，３に駆動信号が供給されると、圧電素子
２，３が一対の支持部材６，７に支持された点を駆動ノ
ード点として、振動子１を基台８に対して垂直方向に振
動させる。

【００６３】そして、振動させている際に、一対の圧電
素子２，３は、それぞれ同様に屈曲するために、それぞ
れ同様な正弦波を出力する。したがって、これら一対の
圧電素子２，３からの出力電圧の差動を取ると、ほぼ０
となる。すなわち、角速度センサ２０は、一対の圧電素
子２，３からの出力の差動が０であることを確認すれ
ば、無回転を検出することができる。

【００６４】一方、角速度センサ２０は、外部からの振
動等が加えられると、振動子１の中心を軸として回転運
動をする。このとき、角速度センサ２０には、無回転時
の振動方向に対して略直交する方向にコリオリ力が発生
する。そのため、角速度センサ２０の振動方向は、無回
転時の振動方向からずれることとなる。

【００６５】このとき、一対の圧電素子２，３は、振動
子１の振動方向が変化するため、それぞれが異なった屈
曲を起こすこととなる。このため、それぞれの圧電素子
２，３は、異なった正弦波を出力することとなる。すな
わち、これら一対の圧電素子２，３のうち、例えば、一
方の圧電素子２からの出力電圧が他方の圧電素子３から
の出力電圧と比較して大となる。

【００６６】したがって、この角速度センサ２０では、
これら一対の圧電素子２，３からの出力の差動をとる
と、所定の値を示す出力信号を検出することができる。
そして、この出力信号は、振動子１の振動方向変化の度
合いに応じて変化する。具体的には、振動子１の振動方
向の変化が大きい場合には、大きな出力信号となる。こ
れにより、この角速度センサ２０では、出力信号を測定
することにより振動方向の変化を測定することができ
る。

【００６７】以上のように角速度センサ２０は、振動子
１の屈曲運動の振動方向が変化する際、振動子２に働く
コリオリ力を検出することができる。

【００６８】この角速度センサ２０において、振動子１
を支持する支持部材６，７は、上述したように、いわゆ
る全体としてコ字状に形成され、その肩部が傾斜され
て、いわゆる面取り状に形成されている。これにより、
支持部材６，７は、外部からの振動や衝撃に対して強固
になり、振動子１を安定して支持することができる。そ
して、角速度センサ２０の圧電素子２，３からの出力信
号は、安定して出力される。

【００６９】また、さらに、結果的に、振動子１のＱを
低下させることなく、剛性を上げることができるので、
同程度の耐衝撃性を持つ角速度センサに比べ、高感度の
角速度センサを提供することができる。

【００７０】なお、具体的には、支持部材６，７におけ
る上記傾斜部は、例えば、支持部材の肩幅Ｗを図１に定
義したとき、肩幅Ｗに対し、Ｗ／１０以上、９Ｗ／２０
未満に設定する。例えば、上記傾斜部が肩幅Ｗに対して
Ｗ／１０以下だと効果は小さくなり、９／Ｗ２０以上で
あると振動子１と支持部材６，７の接合部の直角度を保
つのが困難になる。

【００７１】また、角速度センサ２０は、上述したよう
に、振動子１が四角柱状に形成されることに限定されな
いことはいうまでもない。例えば、振動子１を三角柱状
に形成して、角速度センサ２０を構成することもでき
る。

【００７２】

【発明の効果】本発明に係る角速度センサは、柱形状の
振動子と、振動子を所定の方向に振動させるとともに、
当該振動子の回転を検出する圧電素子と、一体の棒状に
形成されて基台の取り付け部に取り付けられるものであ
って、振動子が取り付けられる振動子支持部と、振動子
支持部に対して外方向かつ基台の取り付け部に向かって
延びる少なくとも１つの傾斜部と有する一対の振動子支
持手段とを備えることにより、振動子支持手段が、外部
からの振動や衝撃に対して強固になり、振動子を安定し
て支持することができる。これにより、圧電素子からの
出信号を安定して出力することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態である角速度センサの構成
を示す正面図である。

【図２】上記角速度センサの構成を示す斜視図である。

【図３】従来の角速度センサであって、振動子が四角柱
形状とされたものの構成を示す正面図である。

【図４】上記振動子が四角柱形状とされている角速度セ
ンサの構成を示す斜視図である。

【図５】従来の角速度センサであって、振動子が三角柱
形状とされたものの構成を示す正面図である。

【図６】上記振動子が三角柱形状とされている角速度セ
ンサの構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 振動子、２，３ 圧電素子、６，７ 支持部材、６
ｂ，６ｃ，７ｂ，７ｃ傾斜部、２０ 角速度センサ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 柱形状の振動子と、 振動子を所定の方向に振動させるとともに、当該振動子
   の回転を検出する圧電素子と、 一体の棒状に形成されて基台の取り付け部に取り付けら
   れるものであって、上記振動子が取り付けられる振動子
   支持部と、上記振動子支持部に対して外方向かつ上記基
   台の上記取り付け部に向かって延びる少なくとも１つの
   傾斜部とを有する一対の振動子支持手段とを備えること
   を特徴とする角速度センサ。
2. 【請求項２】 上記傾斜部は、上記振動子支持部につい
   て対称とされて一対として上記振動子支持手段に形成さ
   れ、 上記傾斜部の外方向に延びた端部が、上記基台の上記取
   り付け部より、内方向に位置されていることを特徴とす
   る請求項１記載の角速度センサ。
3. 【請求項３】 上記振動子支持手段は、棒状の上記振動
   子支持部と、上記一対の傾斜部と、一端が上記基台の上
   記取り付け部に取り付けられ、他端が上記傾斜部の上記
   外方向に延びた端部と一体とされている支持部とから構
   成されることを特徴とする請求項１記載の角速度セン
   サ。
4. 【請求項４】 上記振動子は、略四角柱に形成されてい
   ることを特徴とする請求項１記載の角速度センサ。