JPH10303687A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPH10303687A JPH10303687A JP9112198A JP11219897A JPH10303687A JP H10303687 A JPH10303687 A JP H10303687A JP 9112198 A JP9112198 A JP 9112198A JP 11219897 A JP11219897 A JP 11219897A JP H10303687 A JPH10303687 A JP H10303687A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- electrodes
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric substrate
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化可能な圧電振動子を提供することを目
的とする。 【解決手段】 チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
からなる圧電基板１の上、下面の表面に圧電基板１を介
して３組の対向する電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４
ａ，４ｂを形成する。
的とする。 【解決手段】 チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
からなる圧電基板１の上、下面の表面に圧電基板１を介
して３組の対向する電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４
ａ，４ｂを形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば圧電振動ジ
ャイロ用素子等に用いる振動帰還制御方式を採用した圧
電振動子に関するものである。
ャイロ用素子等に用いる振動帰還制御方式を採用した圧
電振動子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動子とは、圧電基板の対向面に電
極を設けることにより、その圧電基板、電極寸法により
ある周波数の振動を励振するようにしたものである。
極を設けることにより、その圧電基板、電極寸法により
ある周波数の振動を励振するようにしたものである。
【０００３】従来の圧電振動子を利用した角速度センサ
用音叉型圧電ジャイロ素子は、図４に示すように、４枚
の圧電振動子７，８，９，１０を各直交エレメント６
ａ，６ｂに張り付け、これを連結ブロック１１を介して
音叉構造を形成したものとなっていた。音叉型圧電ジャ
イロ素子は、駆動用の圧電振動子７に電圧を印加するこ
とによりエレメント６ａが振動し、音叉構造のため連結
ブロック１１を介してエレメント６ｂに共振振動が発生
する。振動しているエレメント６ａ，６ｂに角速度が生
じた場合、コリオリの原理よりその振動方向と直角方向
にコリオリ力が発生するため、コリオリ力は検知用圧電
振動子９，１０により検出され、コリオリ力に応じた電
圧が出力される。よって、この電圧を測定することによ
り角速度を検知することができる。また、モニター用圧
電振動子８により共振振動の振幅、位相を計測すること
により、駆動電圧を制御し、温度依存の少ない安定した
共振振動を可能にしている。
用音叉型圧電ジャイロ素子は、図４に示すように、４枚
の圧電振動子７，８，９，１０を各直交エレメント６
ａ，６ｂに張り付け、これを連結ブロック１１を介して
音叉構造を形成したものとなっていた。音叉型圧電ジャ
イロ素子は、駆動用の圧電振動子７に電圧を印加するこ
とによりエレメント６ａが振動し、音叉構造のため連結
ブロック１１を介してエレメント６ｂに共振振動が発生
する。振動しているエレメント６ａ，６ｂに角速度が生
じた場合、コリオリの原理よりその振動方向と直角方向
にコリオリ力が発生するため、コリオリ力は検知用圧電
振動子９，１０により検出され、コリオリ力に応じた電
圧が出力される。よって、この電圧を測定することによ
り角速度を検知することができる。また、モニター用圧
電振動子８により共振振動の振幅、位相を計測すること
により、駆動電圧を制御し、温度依存の少ない安定した
共振振動を可能にしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構造の音
叉型圧電ジャイロ素子は、音叉構造を有しているため、
圧電振動子７〜１０を２つ縦方向に設けなければなら
ず、小型化が困難であるという問題点を有していた。
叉型圧電ジャイロ素子は、音叉構造を有しているため、
圧電振動子７〜１０を２つ縦方向に設けなければなら
ず、小型化が困難であるという問題点を有していた。
【０００５】そこで、本発明は小型化可能な圧電振動子
を提供することを目的とするものである。
を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電振動子は、圧電基板と、この圧電基板の
上、下面に対向するように設けた電極とを備え、この電
極は、上、下面にそれぞれ少なくとも３つ以上形成され
たものであり、従来の音叉型圧電ジャイロ素子に対応し
た駆動用電極、モニター用電極、検出用電極を１つの圧
電基板上に形成することが可能となるので上記目的を達
成することができる。
に本発明の圧電振動子は、圧電基板と、この圧電基板の
上、下面に対向するように設けた電極とを備え、この電
極は、上、下面にそれぞれ少なくとも３つ以上形成され
たものであり、従来の音叉型圧電ジャイロ素子に対応し
た駆動用電極、モニター用電極、検出用電極を１つの圧
電基板上に形成することが可能となるので上記目的を達
成することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、圧電基板と、この圧電基板の上、下面に設けた対向
する電極を備えてなる圧電振動子において、前記電極が
上、下面に少なくとも３本以上形成されたものであり、
音叉型構造と比較すると小型化を図ることができる。
は、圧電基板と、この圧電基板の上、下面に設けた対向
する電極を備えてなる圧電振動子において、前記電極が
上、下面に少なくとも３本以上形成されたものであり、
音叉型構造と比較すると小型化を図ることができる。
【０００８】請求項２に記載の発明は、短冊状の圧電基
板を用いる請求項１に記載の圧電振動子であり、振動ロ
スを最小限にすることができる。
板を用いる請求項１に記載の圧電振動子であり、振動ロ
スを最小限にすることができる。
【０００９】請求項３に記載の発明は、圧電基板の角の
角度が８８°以上９２°未満のものを用いるものであ
り、圧電振動子の振動ロスを最小限にし、ノイズの少な
い圧電振動ジャイロ素子を得ることができる。
角度が８８°以上９２°未満のものを用いるものであ
り、圧電振動子の振動ロスを最小限にし、ノイズの少な
い圧電振動ジャイロ素子を得ることができる。
【００１０】請求項４に記載の発明は、圧電基板を介し
て対向する電極は、互いに同一形状で、前記圧電基板の
長さ方向に対して平行である請求項１に記載の圧電振動
子であり、振動ロスを最小限にし、Ｓ／Ｎ比の大きい圧
電振動ジャイロ素子を得ることができる。
て対向する電極は、互いに同一形状で、前記圧電基板の
長さ方向に対して平行である請求項１に記載の圧電振動
子であり、振動ロスを最小限にし、Ｓ／Ｎ比の大きい圧
電振動ジャイロ素子を得ることができる。
【００１１】請求項５に記載の発明は、少なくとも１つ
の電極は、圧電基板の幅方向の中心部に位置するように
した請求項１に記載の圧電振動子であり、中心部に位置
することにより圧電振動ジャイロの感度を向上させ、Ｓ
／Ｎ比の大きい圧電振動ジャイロ素子を得ることができ
る。
の電極は、圧電基板の幅方向の中心部に位置するように
した請求項１に記載の圧電振動子であり、中心部に位置
することにより圧電振動ジャイロの感度を向上させ、Ｓ
／Ｎ比の大きい圧電振動ジャイロ素子を得ることができ
る。
【００１２】請求項６に記載の発明は、電極を圧電基板
の長さ方向の中心線に対して左右対称に位置するととも
に、前記圧電基板の幅方向の両端部に位置する電極の大
きさを同一とした請求項１に記載の圧電振動子であり、
圧電振動子の表裏面の区別がなくなるために、圧電振動
子の製造が容易になり、組立コスト及び材料コストを低
減することができる。
の長さ方向の中心線に対して左右対称に位置するととも
に、前記圧電基板の幅方向の両端部に位置する電極の大
きさを同一とした請求項１に記載の圧電振動子であり、
圧電振動子の表裏面の区別がなくなるために、圧電振動
子の製造が容易になり、組立コスト及び材料コストを低
減することができる。
【００１３】以下に本発明の一実施の形態について説明
する。 （実施の形態１）図１（ａ）は本実施の形態における圧
電振動子の斜視図、同（ｂ）はその断面図、図２は図１
に示す圧電振動子の端部を台座に固定したときの斜視
図、図３は図１に示す圧電振動子の中央部を台座に固定
したときの斜視図であり、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電
セラミックからなる圧電基板１（長さ×幅×厚み＝１
０．００mm×１．７０mm×１．６５mm）の上、下面の表
面に圧電基板１を介して対向するように電極２ａ，２
ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ（各電極の形状：長さ×幅
＝７．００mm×０．３０mm）をＡｇペーストを用いて約
７００℃で焼付を行い形成している。なお、隣合う電極
２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂの間隔は０．２０
mmとした。また電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４
ｂは互いに同一形状で、圧電基板１の長さ方向の辺にそ
れぞれ平行となるような位置に形成した。また、電極３
ａ，３ｂは幅方向に対し中心の位置に形成され、電極２
ａ，２ｂ，４ａ，４ｂは電極３ａ，３ｂを中心として左
右対称な位置に形成した。
する。 （実施の形態１）図１（ａ）は本実施の形態における圧
電振動子の斜視図、同（ｂ）はその断面図、図２は図１
に示す圧電振動子の端部を台座に固定したときの斜視
図、図３は図１に示す圧電振動子の中央部を台座に固定
したときの斜視図であり、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電
セラミックからなる圧電基板１（長さ×幅×厚み＝１
０．００mm×１．７０mm×１．６５mm）の上、下面の表
面に圧電基板１を介して対向するように電極２ａ，２
ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ（各電極の形状：長さ×幅
＝７．００mm×０．３０mm）をＡｇペーストを用いて約
７００℃で焼付を行い形成している。なお、隣合う電極
２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂの間隔は０．２０
mmとした。また電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４
ｂは互いに同一形状で、圧電基板１の長さ方向の辺にそ
れぞれ平行となるような位置に形成した。また、電極３
ａ，３ｂは幅方向に対し中心の位置に形成され、電極２
ａ，２ｂ，４ａ，４ｂは電極３ａ，３ｂを中心として左
右対称な位置に形成した。
【００１４】このような構造の圧電振動子を１５０℃の
シリコンオイル中にて３０分間、ＤＣ３ｋＶ／mmで分極
した。分極方向は圧電基板１の上面から下面またはその
逆の方向の一方向で行った。このようにして作製された
圧電振動子の長さ方向のどちらかの端部を図２に示すよ
うに、エポキシ接着剤を用いて台座５に固定した。この
圧電振動子の電極２ａ，２ｂに駆動電圧を印加すること
により、圧電振動子は幅方向に振動し、電極４ａ，４ｂ
により振動の振幅、位相を電圧として計測することによ
り印加電圧を制御し、温度依存の少ない安定した振動に
制御できた。また、このような振動状態において、圧電
振動子の長さ方向を軸とする角速度が生じた場合、圧電
振動子の厚み方向にコリオリの原理より力が生じ、これ
を電極３ａ，３ｂを介して電圧として計測し、この値か
ら角速度を検知することができた。
シリコンオイル中にて３０分間、ＤＣ３ｋＶ／mmで分極
した。分極方向は圧電基板１の上面から下面またはその
逆の方向の一方向で行った。このようにして作製された
圧電振動子の長さ方向のどちらかの端部を図２に示すよ
うに、エポキシ接着剤を用いて台座５に固定した。この
圧電振動子の電極２ａ，２ｂに駆動電圧を印加すること
により、圧電振動子は幅方向に振動し、電極４ａ，４ｂ
により振動の振幅、位相を電圧として計測することによ
り印加電圧を制御し、温度依存の少ない安定した振動に
制御できた。また、このような振動状態において、圧電
振動子の長さ方向を軸とする角速度が生じた場合、圧電
振動子の厚み方向にコリオリの原理より力が生じ、これ
を電極３ａ，３ｂを介して電圧として計測し、この値か
ら角速度を検知することができた。
【００１５】なお、圧電基板１が短冊状でない場合、圧
電振動子の振動のロスが大きくなる上に、製造コストも
高くなるので、圧電基板１の形状は短冊状が好ましい。
電振動子の振動のロスが大きくなる上に、製造コストも
高くなるので、圧電基板１の形状は短冊状が好ましい。
【００１６】また、上、下面に形成された電極２ａ，２
ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂが圧電基板１の長さ方向に
平行でない場合も振動のロスが大きくなるので、平行で
あることが望ましい。
ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂが圧電基板１の長さ方向に
平行でない場合も振動のロスが大きくなるので、平行で
あることが望ましい。
【００１７】また、駆動電圧を電極２ａ，２ｂに印加し
た時に、圧電基板１の振動が幅方向と厚み方向に同時に
振動した場合、角速度が生じていなくても電極３ａ，３
ｂには厚み方向の振動による電圧が発生し、それがノイ
ズとして電極３ａ，３ｂの感度を大きく低下させ、Ｓ／
Ｎ比が小さくなる。そのため、電極２ａ，２ｂに駆動電
圧を印加しても角速度が生じていない場合、電極３ａ，
３ｂの計測電圧はゼロであることが望ましい。そのた
め、圧電基板１の角の角度は８８°以上且つ９２°未満
の場合が好ましい。その理由は、圧電基板１の角の角度
が８８°未満または９２°以上の場合、圧電基板１の直
角度が大きく低下し、駆動電圧を印加した時の幅方向の
振動と同時に厚み方向の振動ロスが大きく発生し、その
結果、電極３ａ，３ｂに電圧が大きく発生し、Ｓ／Ｎ比
が小さくなるからである。さらに同様な理由により、
上、下面に形成された電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４
ａ，４ｂは、互いに対向する位置に形成され、同一形状
であることが望ましい。上、下面に形成された電極２
ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂが対向しない位置に
形成された場合、または上、下面に形成した電極２ａ，
２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂが同一形状でない場合、
駆動電圧を印加した時の幅方向の振動と同時に厚み方向
の振動が大きく発生し、その結果、同時に電極３ａ，３
ｂに電圧が大きく発生し、Ｓ／Ｎ比が小さくなり好まし
くない。
た時に、圧電基板１の振動が幅方向と厚み方向に同時に
振動した場合、角速度が生じていなくても電極３ａ，３
ｂには厚み方向の振動による電圧が発生し、それがノイ
ズとして電極３ａ，３ｂの感度を大きく低下させ、Ｓ／
Ｎ比が小さくなる。そのため、電極２ａ，２ｂに駆動電
圧を印加しても角速度が生じていない場合、電極３ａ，
３ｂの計測電圧はゼロであることが望ましい。そのた
め、圧電基板１の角の角度は８８°以上且つ９２°未満
の場合が好ましい。その理由は、圧電基板１の角の角度
が８８°未満または９２°以上の場合、圧電基板１の直
角度が大きく低下し、駆動電圧を印加した時の幅方向の
振動と同時に厚み方向の振動ロスが大きく発生し、その
結果、電極３ａ，３ｂに電圧が大きく発生し、Ｓ／Ｎ比
が小さくなるからである。さらに同様な理由により、
上、下面に形成された電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４
ａ，４ｂは、互いに対向する位置に形成され、同一形状
であることが望ましい。上、下面に形成された電極２
ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂが対向しない位置に
形成された場合、または上、下面に形成した電極２ａ，
２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂが同一形状でない場合、
駆動電圧を印加した時の幅方向の振動と同時に厚み方向
の振動が大きく発生し、その結果、同時に電極３ａ，３
ｂに電圧が大きく発生し、Ｓ／Ｎ比が小さくなり好まし
くない。
【００１８】また、電極３ａ，３ｂは、圧電基板１の幅
方向の中心部に位置するように形成することが望まし
い。電極３ａ，３ｂが中心部に位置しない場合、電極３
ａ，３ｂの発生電圧が小さくなり、圧電振動ジャイロの
感度を低下させ、Ｓ／Ｎ比を小さくさせ好ましくない。
方向の中心部に位置するように形成することが望まし
い。電極３ａ，３ｂが中心部に位置しない場合、電極３
ａ，３ｂの発生電圧が小さくなり、圧電振動ジャイロの
感度を低下させ、Ｓ／Ｎ比を小さくさせ好ましくない。
【００１９】また圧電振動子の製造上、圧電振動子の表
裏の区別がない方が都合がよく、上、下面に形成された
電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂにおいて圧電
基板１の幅方向の中心に対し、左右対称に位置し、さら
に電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂの大きさも
左右対称であることが望ましい。
裏の区別がない方が都合がよく、上、下面に形成された
電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂにおいて圧電
基板１の幅方向の中心に対し、左右対称に位置し、さら
に電極２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂの大きさも
左右対称であることが望ましい。
【００２０】なお、本実施の形態ではチタン酸ジルコン
酸鉛系圧電セラミックからなる圧電基板１を用いて説明
したが、本発明は圧電セラミックにとどまらず、圧電現
象を有する単結晶体を用いた圧電基板に於いても同様の
効果が得られる。
酸鉛系圧電セラミックからなる圧電基板１を用いて説明
したが、本発明は圧電セラミックにとどまらず、圧電現
象を有する単結晶体を用いた圧電基板に於いても同様の
効果が得られる。
【００２１】また、本実施の形態では圧電振動子の長さ
方向のどちらかの端部をエポキシ接着剤にて台座５に固
定したが、圧電振動子の固定場所は、図３に示すように
圧電振動子の中央部分でもよい。また、固定方法はエポ
キシ接着剤に限定されない。
方向のどちらかの端部をエポキシ接着剤にて台座５に固
定したが、圧電振動子の固定場所は、図３に示すように
圧電振動子の中央部分でもよい。また、固定方法はエポ
キシ接着剤に限定されない。
【００２２】さらに、本発明は、本実施の形態に限定さ
れるものではなく、圧電基板寸法、電極寸法、電極形
状、本数、パターン、電極材料、電極形成方法等、本発
明の内容の範囲において変更することができる。
れるものではなく、圧電基板寸法、電極寸法、電極形
状、本数、パターン、電極材料、電極形成方法等、本発
明の内容の範囲において変更することができる。
【００２３】
【発明の効果】以上本発明によると、従来の４枚の圧電
素子を用いて形成していた音叉型圧電ジャイロ素子に対
応した駆動用電極、モニター用電極、検出用電極を１つ
の圧電振動子上に形成することが可能になるので、音叉
構造に比較して小型化を図ることができる。
素子を用いて形成していた音叉型圧電ジャイロ素子に対
応した駆動用電極、モニター用電極、検出用電極を１つ
の圧電振動子上に形成することが可能になるので、音叉
構造に比較して小型化を図ることができる。
【００２４】また使用部品点数及び組立工程数も少なく
なるので、材料コスト及び組立コストを低減することが
できるとともに生産性が向上する。
なるので、材料コスト及び組立コストを低減することが
できるとともに生産性が向上する。
【図１】（ａ）本発明の一実施の形態における圧電振動
子の斜視図 （ｂ）同断面図
子の斜視図 （ｂ）同断面図
【図２】本発明の一実施の形態における台座に固定され
た圧電振動子の斜視図
た圧電振動子の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における台座に固定され
た圧電振動子の斜視図
た圧電振動子の斜視図
【図４】従来の音叉型圧電振動ジャイロ素子の斜視図
１ 圧電基板 ２ａ 電極 ２ｂ 電極 ３ａ 電極 ３ｂ 電極 ４ａ 電極 ４ｂ 電極 ５ 台座
Claims (6)
- 【請求項１】 圧電基板と、この圧電基板の上、下面に
対向するように設けた電極とを備え、この電極は、上、
下面にそれぞれ少なくとも３つ以上形成されていること
を特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】 圧電基板は短冊状である請求項１に記載
の圧電振動子。 - 【請求項３】 圧電基板の角の角度は、８８°以上９２
°未満である請求項１に記載の圧電振動子。 - 【請求項４】 圧電基板を介して対向する電極は、互い
に同一形状で、前記圧電基板の長さ方向に対して平行で
ある請求項１に記載の圧電振動子。 - 【請求項５】 少なくとも１つの電極は、圧電基板の幅
方向の中心部に位置するようにした請求項１に記載の圧
電振動子。 - 【請求項６】 電極は、圧電基板の長さ方向の中心線に
対して左右対称に位置するとともに、前記圧電基板の幅
方向の両端部に位置する電極の大きさが同一である請求
項１に記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9112198A JPH10303687A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9112198A JPH10303687A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10303687A true JPH10303687A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14580724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9112198A Pending JPH10303687A (ja) | 1997-04-30 | 1997-04-30 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10303687A (ja) |
-
1997
- 1997-04-30 JP JP9112198A patent/JPH10303687A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5585562A (en) | Vibration-sensing gyro | |
| EP0597338B1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| KR100224123B1 (ko) | 진동 자이로스코프 | |
| JPH09257490A (ja) | 振動ジャイロ | |
| KR100494967B1 (ko) | 에너지-트래핑진동모드를이용하는압전진동성자이로스코프 | |
| JPS61294311A (ja) | 振動ジヤイロ | |
| JPH07139952A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH10303687A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2005345404A (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法 | |
| JPH09113279A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP4044519B2 (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ | |
| JP3690448B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用圧電振動子 | |
| JP3698840B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用圧電振動子 | |
| JPH1026532A (ja) | 半導体角速度検出装置 | |
| JP2590553Y2 (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
| JP3531295B2 (ja) | 振動子及びこれを用いた圧電振動角速度計 | |
| JPH0251066A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3685224B2 (ja) | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ | |
| JP2002372421A (ja) | 角速度センサ及びその製造方法 | |
| JP3640003B2 (ja) | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ | |
| JPH07174570A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3690449B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用圧電振動子 | |
| JPH06117862A (ja) | 振動子 | |
| JPH03122518A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2006284437A (ja) | 音叉形圧電振動ジャイロ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040223 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040223 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050712 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20050901 |