JP2014165573A5

JP2014165573A5 -

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Publication number: JP2014165573A5
Application number: JP2013032934A
Authority: JP
Filing date: 2013-02-22
Publication date: 2016-03-24

Description

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［形態１］本形態に係る振動片は、基部と、前記基部から第１軸に沿って延設され、前記基部の厚さよりも薄い厚さを有する接続部と、前記接続部の前記基部側とは反対側の一端から前記第１軸に沿って前記基部側とは反対方向に延設されており、前記基部の厚さ方向に沿って屈曲振動する振動腕と、を含み、前記接続部の前記第１軸方向の長さをＬ２、前記振動腕の前記第１軸方向の長さをＬ１、として、Ｌ１／１５≦Ｌ２≦Ｌ１の関係を満足することを特徴とする。
本形態によれば、基部と振動腕との間に接続部が設けられており、接続部の第１軸方向の長さＬ２と、振動腕の第１軸方向の長さＬ１との関係が、Ｌ１／１５≦Ｌ２≦Ｌ１を満足する。このような構成とすることで、耐衝撃性の劣化を防止しつつ、振動腕の振動が接続部で減衰されることによる基部への振動の伝播（振動もれ）を抑制した振動片とすることができる。
［形態２］上記形態に記載の振動片において、前記振動腕は、平面視で並んで配置されている第１の振動腕と第２の振動腕とを有し、前記第１の振動腕と前記第２の振動腕とは、互いに反対方向に屈曲振動することを特徴とする。
本形態によれば、耐衝撃性の劣化を防止しつつ、互いに反対方向に屈曲振動する振動腕の振動が接続部で相殺されることによる基部への振動の伝播（振動もれ）を抑制した振動片とすることができる。
［形態３］上記形態に記載の振動片において、前記振動腕は、前記接続部と同じ厚さであることを特徴とする。
本形態によれば、振動腕の厚さと接続部の厚さとを同じにすることにより、振動腕が屈曲振動した際に振動腕の根元に応力が集中するのを低減することができる。
［形態４］上記形態に記載の振動片において、さらに、下部電極膜と、上部電極膜と、前記下部電極膜と前記上部電極膜とに挟まれた圧電体膜と、を有する圧電体素子を有し、前記振動腕は、前記基部の厚さ方向に向いた第１面を有し、前記圧電体素子は、前記下部電極膜が前記第１面に配置されていることを特徴とする。
本形態によれば、耐衝撃性の劣化を防止しつつ、振動腕の振動が接続部で減衰されることによる基部への振動の伝播（振動もれ）を抑制するとともに、容易に基部の厚さ方向の屈曲振動を励振できる振動片とすることができる。
［形態５］上記形態に記載の振動片において、前記基部、前記接続部、および前記振動腕は、水晶から構成されていることを特徴とする。
本形態によれば、水晶を用いることにより小型化に伴う温度特性（周波数温度特性などの温度依存性を有する特性）の低下を抑制することができる。
［形態６］上記形態に記載の振動片において、前記基部、前記接続部、および前記振動腕は、半導体から構成されていることを特徴とする。
本形態によれば、フォトリソグラフィーなどを用いた外形加工が容易であるとともに、エッチング速度が一定であるため、形成された外形形状が均一となり、安定した特性を得ることが可能となる。
［形態７］本形態に係る振動子は、上記形態のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収納する容器と、を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上述の振動片を用いているため、振動もれを抑制することにより安定した振動を維持しつつ、耐衝撃性を向上することが可能な振動子を提供することができる。
［形態８］本形態に係る電子デバイスは、上記形態のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を駆動する回路素子と、を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上述の振動片を用いているため、振動もれを抑制することにより安定した振動を維持しつつ、耐衝撃性を向上することが可能な電子デバイスを提供することができる。
［形態９］本形態に係る電子機器は、上記形態のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上述の振動片を用いているため安定した振動特性と耐衝撃を得ることが可能であり、したがって特性の安定した電子機器を提供することができる。
［形態１０］本形態に係る移動体は、上記形態のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
本形態によれば、上述の振動片を用いているため安定した振動特性と耐衝撃を得ることが可能であり、したがって特性の安定した移動体を提供することができる。

Claims

基部と、
前記基部から第１軸に沿って延設され、前記基部の厚さよりも薄い厚さを有する接続部と、
前記接続部の前記基部側とは反対側の一端から前記第１軸に沿って前記基部側とは反対方向に延設されており、前記基部の厚さ方向に沿って屈曲振動する振動腕と、を含み、
前記接続部の前記第１軸方向の長さをＬ２、前記振動腕の前記第１軸方向の長さをＬ１、として、
Ｌ１／１５≦Ｌ２≦Ｌ１
の関係を満足することを特徴とする振動片。
前記振動腕は、平面視で並んで配置されている第１の振動腕と第２の振動腕とを有し、
前記第１の振動腕と前記第２の振動腕とは、互いに反対方向に屈曲振動することを特徴とする請求項１に記載の振動片。
前記振動腕は、前記接続部と同じ厚さであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動片。
さらに、下部電極膜と、上部電極膜と、前記下部電極膜と前記上部電極膜とに挟まれた圧電体膜と、を有する圧電体素子を有し、
前記振動腕は、前記基部の厚さ方向に向いた第１面を有し、
前記圧電体素子は、前記下部電極膜が前記第１面に配置されている請求項１ないし３のいずれか一項に記載の振動片。
前記基部、前記接続部、および前記振動腕は、水晶から構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片。
前記基部、前記接続部、および前記振動腕は、半導体から構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片。
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収納する容器と、
を備えていることを特徴とする振動子。
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を駆動する回路素子と、
を備えていることを特徴とする電子デバイス。
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。