JP2011145243A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011145243A5
JP2011145243A5 JP2010007860A JP2010007860A JP2011145243A5 JP 2011145243 A5 JP2011145243 A5 JP 2011145243A5 JP 2010007860 A JP2010007860 A JP 2010007860A JP 2010007860 A JP2010007860 A JP 2010007860A JP 2011145243 A5 JP2011145243 A5 JP 2011145243A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acceleration sensor
substrate piece
support surface
fixed part
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010007860A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5375624B2 (ja
JP2011145243A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010007860A priority Critical patent/JP5375624B2/ja
Priority claimed from JP2010007860A external-priority patent/JP5375624B2/ja
Priority to US12/985,554 priority patent/US20110174075A1/en
Priority to CN201110007098XA priority patent/CN102169128A/zh
Priority to KR20110004559A priority patent/KR20110084843A/ko
Publication of JP2011145243A publication Critical patent/JP2011145243A/ja
Publication of JP2011145243A5 publication Critical patent/JP2011145243A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5375624B2 publication Critical patent/JP5375624B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

圧電センサー要素２０は、フレーム部１２の第１基台部１４ｂ及び第２基台部１４ｄに、夫々第１支持片２６ａ及び第２支持片２６ｂにより連結され、フレーム部１２と一体となり、圧電センサー１０を構成している。圧電センサー要素２０は、加速度センサー１の検知軸方向９と直交する方向へ延びる細長い構成であり、圧電センサー１０の第１被固定部１４ａ及び第２被固定部１４ｃを、支持基板４の第１支持面５ａ及び第２支持面７ａに支持・固定する際に、圧電センサー要素２０の短手方向中心部が、支持基板４の蝶番部８の短手方向幅内に位置するように、蝶番部８の長手方向に沿って第１支持面５ａ及び第２支持面７ａから離間して配置されている。望ましくは、圧電センサー要素２０の短手方向中心部と、蝶番部８の短手方向幅中心部とをほぼ一致させる。なお、蝶番部８の長手方向と短手方向、および圧電センサー要素２０の長手方向と短手方向は、第１支持面５ａまたは第２支持面７ａの拡がる方向に沿っている。
第１被固定部１４ａの少なくとも一部は第１及び第２の梁１２ａ、１２ｂの交差部よりも梁の外側に突出し、第２被固定部１４ｃの少なくとも一部は第３及び第４の梁１２ｃ、１２ｄの交差部よりも梁の外側に突出するように構成する。
１、２…加速度センサー、３…加速度検出装置、４…支持基板、５…第１基板片、５ａ…第１支持面、７…第２基板片、７ａ…第２支持面、８…蝶番部、９…検知軸、１０…圧電センサー、１２…フレーム部、１２ａ…第１の梁、１２ｂ…第２の梁、１２ｃ…第３の梁、１２ｄ…第４の梁、１４ａ…第１被固定部、１４ｂ…第１基台部、１４ｃ…第２被固定部、１４ｄ…第２基台部、２０…圧電センサー要素、２２ａ、２２ｂ…振動腕、２４ａ、２４ｂ…基部、２６ａ…第１支持片、２６ｂ…第２支持片、２８ａ…第１板状基板、２８ｂ…第１板状基板、３０…接着剤、５０…ＩＣ、５１…発振回路、５３…カウンター、５５…演算回路、５６…表示部

Claims (10)

  1. 第1支持面を有している固定用の第１基板片、前記第１基板片と並んで配置されていると共に、第２支持面を有しており、可動用の第２基板片、および前記第１基板片と前記第２基板片との間にあって前記第１基板片と前記第２基板片とに接続されている蝶番部、を備えている支持基板と、
    前記第１基板片と前記第２基板片の並び方向に直交する方向に沿って延在しており、かつ平面視において前記蝶番部と重なっている中心部を有している圧電センサー要素、前記第１支持面及び前記第２支持面に夫々固定される第１被固定部及び第２被固定部、および前記第１被固定部及び前記第２被固定部に連結されており前記圧電センサー要素を支持している梁、を備えている圧電センサーと、
    を含んでいることを特徴とする加速度センサー。
  2. 前記梁は、平面視で、前記圧電センサー要素における前記直交する方向にある一端部と前記第１被固定部とを連結している第１の梁、前記圧電センサー要素における前記直交する方向にある他端部と前記第１被固定部とを連結している第２の梁、前記一端部と前記第２被固定部とを連結している第３の梁、および前記他端部と前記第２被固定部とを連結している第４の梁を備えていることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサー。
  3. 前記第１支持面及び第２支持面と直交する方向からの平面視で前記第１乃至第４の梁は、夫々全長に渡って同一幅の細幅帯状をなしていることを特徴とする請求項２に記載の加速度センサー。
  4. 前記第１基板片及び前記第２基板片と前記蝶番部とが一体的に形成され、且つ前記第１基板片の前記第１支持面と前記第２基板片の前記第２支持面とが同一平面上にあることを特徴とする請求項１又は３に記載の加速度センサー。
  5. 前記圧電センサー要素の短手方向中心部の位置が、前記第１支持面及び第２支持面と直交する方向からの平面視で前記蝶番部の短手方向幅中心部と一致していることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の加速度センサー。
  6. 前記第１乃至第４の梁は、いずれも直線状であり、
    前記第１被固定部において前記第１の梁と前記第２の梁とのなす角度、及び前記第２被固定部において前記第３の梁と前記第４の梁とのなす角度は、夫々鈍角であることを特徴とする請求項２乃至５の何れかに記載の加速度センサー。
  7. 前記第１乃至第４の梁は、いずれもＬ字状であり、
    前記第１の梁と前記第２の梁、及び前記第３の梁と前記第４の梁は、夫々コ字状に連結していることを特徴とする請求項２乃至６の何れかに記載の加速度センサー。
  8. 前記第１乃至第４の梁は、いずれも円弧状であり、
    前記第１の梁と前記第２の梁、及び前記第３の梁と前記第４の梁は、夫々半円状、半楕円状、或いは半長円状の何れかの状態で連結していることを特徴とする請求項２乃至７の何れかに記載の加速度センサー。
  9. 前記第１被固定部の少なくとも一部は前記第１及び第２の梁の交差部よりも梁の外側に突出し、前記第２被固定部の少なくとも一部は前記第３及び第４の梁の交差部よりも梁の外側に突出した構成を備えていることを特徴とする請求項２乃至８の何れかに記載の加速度センサー。
  10. 請求項１乃至９の何れかに記載の加速度センサーと、
    前記加速度センサーの圧電センサー要素を励振する発振回路と、前記発振回路の出力周波数をカウントするカウンターと、前記カウンターの信号を処理する演算回路を有するＩＣと、を備えていることを特徴とする加速度検出装置。
JP2010007860A 2010-01-18 2010-01-18 加速度センサー、及び加速度検出装置 Expired - Fee Related JP5375624B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010007860A JP5375624B2 (ja) 2010-01-18 2010-01-18 加速度センサー、及び加速度検出装置
US12/985,554 US20110174075A1 (en) 2010-01-18 2011-01-06 Acceleration sensor and acceleration detecting apparatus
CN201110007098XA CN102169128A (zh) 2010-01-18 2011-01-13 加速度传感器和加速度检测装置
KR20110004559A KR20110084843A (ko) 2010-01-18 2011-01-17 가속도센서 및 가속도 검출장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010007860A JP5375624B2 (ja) 2010-01-18 2010-01-18 加速度センサー、及び加速度検出装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011145243A JP2011145243A (ja) 2011-07-28
JP2011145243A5 true JP2011145243A5 (ja) 2013-02-28
JP5375624B2 JP5375624B2 (ja) 2013-12-25

Family

ID=44276537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010007860A Expired - Fee Related JP5375624B2 (ja) 2010-01-18 2010-01-18 加速度センサー、及び加速度検出装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20110174075A1 (ja)
JP (1) JP5375624B2 (ja)
KR (1) KR20110084843A (ja)
CN (1) CN102169128A (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9759739B2 (en) * 2011-02-02 2017-09-12 Honeywell International Inc. MEMS vibrating-beam accelerometer with piezoelectric drive
JP5678741B2 (ja) * 2011-03-11 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器
JP2012242343A (ja) * 2011-05-24 2012-12-10 Seiko Epson Corp 加速度センサー及び加速度検出装置
WO2013161598A1 (ja) * 2012-04-27 2013-10-31 株式会社村田製作所 加速度センサ
WO2017007428A1 (en) * 2015-07-07 2017-01-12 Agency For Science, Technology And Research Motion measurement devices and methods for measuring motion
JP6627501B2 (ja) * 2015-12-28 2020-01-08 セイコーエプソン株式会社 計測装置、減衰特性算出方法、プログラム、および計測システム
JP6604200B2 (ja) * 2015-12-28 2019-11-13 セイコーエプソン株式会社 加速度センサー、計測システム、および計測装置
IT201600129935A1 (it) * 2016-12-22 2018-06-22 Pietro Fiorentini Spa Struttura di trasduttore, trasduttore comprendente tale struttura di trasduttore, e sensore comprendente detto trasduttore
CN109765404B (zh) * 2018-12-28 2020-03-17 西安交通大学 基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计
CN110095634B (zh) * 2019-05-24 2024-03-29 上海工程技术大学 一种杠杆式双向声表面波加速度传感器
CN114280329A (zh) * 2021-12-27 2022-04-05 西安交通大学 一种双端固支音叉石英加速度传感器

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4479385A (en) * 1982-09-23 1984-10-30 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Double resonator cantilever accelerometer
US4628735A (en) * 1984-12-14 1986-12-16 Sundstrand Data Control, Inc. Vibrating beam accelerometer
US4970903A (en) * 1987-10-22 1990-11-20 Hanson Richard A Force sensing device
US4856350A (en) * 1987-10-22 1989-08-15 Hanson Richard A Force sensing device and method
FR2627592B1 (fr) * 1988-02-22 1990-07-27 Sagem Accelerometre pendulaire non asservi a poutre resonante
US4881408A (en) * 1989-02-16 1989-11-21 Sundstrand Data Control, Inc. Low profile accelerometer
US5036715A (en) * 1989-06-30 1991-08-06 Richard Hanson Cantilevered force sensing assembly utilizing one or two resonating force sensing devices
ES2073903T3 (es) * 1991-10-31 1995-08-16 K Tron Tech Inc Disposicion dinamometrica.
US5289719A (en) * 1991-11-13 1994-03-01 New Sd, Inc. Accelerometer with temperature compensation and matched force transducers
EP0693690B1 (en) * 1994-06-29 1999-04-28 New Sd, Inc. Accelerometer and method of manufacture
JP2000206141A (ja) * 1999-01-20 2000-07-28 Miyota Kk 運動量センサ
CN1656382A (zh) * 2001-05-15 2005-08-17 霍尼韦尔国际公司 加速度计应变消除结构
FR2848298B1 (fr) * 2002-12-10 2005-03-11 Thales Sa Accelerometre a poutre vibrante
US6938334B2 (en) * 2003-10-31 2005-09-06 Honeywell International, Inc. Vibrating beam accelerometer two-wafer fabrication process
US7802475B2 (en) * 2006-10-13 2010-09-28 Seiko Epson Corporation Acceleration sensor
JP2008209389A (ja) * 2006-10-13 2008-09-11 Seiko Epson Corp 加速度センサ
JP2008170203A (ja) * 2007-01-10 2008-07-24 Epson Toyocom Corp 加速度検知ユニット、及び加速度センサ
JP2009156831A (ja) * 2007-12-28 2009-07-16 Epson Toyocom Corp 加速度検知ユニット及び加速度検知装置
US8117917B2 (en) * 2008-03-27 2012-02-21 Honeywell International Inc. Vibrating beam accelerometer with improved performance in vibration environments
FR2937145B1 (fr) * 2008-10-10 2010-09-24 Thales Sa Accelerometre micro-usine
JP2011117944A (ja) * 2009-10-29 2011-06-16 Seiko Epson Corp 加速度センサー
JP2012242343A (ja) * 2011-05-24 2012-12-10 Seiko Epson Corp 加速度センサー及び加速度検出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011145243A5 (ja)
TWI580928B (zh) 轉速感測器及其操作方法
JP2010035221A5 (ja)
JP2010063144A5 (ja)
JP2014062753A5 (ja)
JP2007037394A5 (ja)
JP2012189480A5 (ja)
WO2012085456A3 (fr) Structure planaire pour gyromètre tri-axe
JP2003156337A5 (ja)
JP2010071714A (ja) 振動型センサ
JP2014138413A5 (ja)
JP2010071714A5 (ja)
JP2007064662A5 (ja)
JP2012199861A5 (ja)
JP2011087279A5 (ja)
JP2015087263A5 (ja)
JP2009243981A (ja) 弾性表面波センサ
JP2013017207A5 (ja)
JP2012168161A5 (ja)
JP2010181210A5 (ja) センサ
JP2008271565A5 (ja)
JP2012160996A5 (ja)
EP2819434B1 (en) Ultrasonic wave-generating device
JP2015219204A (ja) 角速度センサ及びセンサ素子
JP2012220461A5 (ja)