JP2012220461A5 - - Google Patents

Description

［適用例１］本適用例にかかる加速度検出器は、ベース部と、該ベース部に継ぎ手部を
介して接続された板状の可動部と、前記ベース部と前記可動部とに掛け渡された加速度検
出素子と、を備え、前記可動部は、両主面の少なくとも一方に質量部が配置され、前記可
動部は、前記主面と交差する方向に加わる加速度に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前
記主面と交差する方向に変位可能であり、前記質量部は、前記主面側に突出する凸部を有
し、前記凸部の先端部が前記可動部の前記主面に接合材を介して接合されていることを特
徴とする。また、他の態様では、ベース部と、該ベース部に接続され、印加される力に応じて変位する可動部と、前記可動部に配置された加速度検出素子と、前記可動部の主面に配置された質量部、と、を備え、前記質量部は、前記主面側に突出する凸部を有し、前記凸部の先端部が前記可動部の前記主面に接合されていることを特徴とする。

［適用例２］上記適用例にかかる加速度検出器において、平面視で前記ベース部から前記可動部に沿って延びる支持部を備え、前記質量部は、平面視において一部が前記支持部と重なるように配置され、前記質量部と前記支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間が設けられていることが好ましい。

［適用例３］上記適用例２にかかる加速度検出器において、前記ベース部および前記支持部は、平面視で、前記可動部を囲む枠状に形成されていることが好ましい。

［適用例４］上記適用例２または適用例３にかかる加速度検出器において、前前記支持部は、３つ以上の固定部が設けられ、平面視において、前記固定部同士を結んで囲まれた範囲内に、前記加速度検出器の重心が位置することが好ましい。

［適用例５］上記適用例２または適用例３にかかる加速度検出器において、前記支持部は、２つの固定部が設けられ、平面視において、前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することが好ましい。

［適用例６］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記質量部は、シリコーン系樹脂を含む接着剤を介して前記可動部に接続されていることが好ましい。

［適用例７］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記加速度検出素子は、振動梁と、該振動梁の両端に接続された一対の基部と、を備え、前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定されていることが好ましい。

Claims (9)

1. ベース部と、
   該ベース部に接続され、印加される力に応じて変位する可動部と、
   前記可動部に配置された加速度検出素子と、
   前記可動部の主面に配置された質量部、と、を備え、
   前記質量部は、前記主面側に突出する凸部を有し、前記凸部の先端部が前記可動部の前記主面に接合されていることを特徴とする加速度検出器。
2. 請求項１に記載の加速度検出器において、
   平面視で前記ベース部から前記可動部に沿って延びる支持部を備え、
   前記質量部は、平面視において一部が前記支持部と重なるように配置され、
   前記質量部と前記支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間が設けられていることを特徴とする加速度検出器。
3. 請求項２に記載の加速度検出器において、
   前記ベース部および前記支持部は、平面視で、前記可動部を囲む枠状に形成されていることを特徴とする加速度検出器。
4. 請求項２または請求項３に記載の加速度検出器において、
   前記支持部は、３つ以上の固定部が設けられ、
   平面視において、前記固定部同士を結んで囲まれた範囲内に、前記加速度検出器の重心が位置することを特徴とする加速度検出器。
5. 請求項２または請求項３に記載の加速度検出器において、
   前記支持部は、２つの固定部が設けられ、
   平面視において、前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することを特徴とする加速度検出器。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の加速度検出器において、
   前記質量部は、シリコーン系樹脂を含む接着剤を介して前記可動部に接続されていることを特徴とする加速度検出器。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の加速度検出器において、
   前記加速度検出素子は、振動梁と、該振動梁の両端に接続された一対の基部と、を備え、
   前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定されたことを特徴とする加速度検出器。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の加速度検出器と、
   前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする加速度検出デバイス。
9. 請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする電子機器。