JP2010190636A5 - - Google Patents
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Description
［適用例１］
支持体と、前記支持体に設けられた固定電極および第１ダンピング用構造体と、可動部と、前記可動部に設けられた可動電極および第２ダンピング用構造体と、を備え、前記固定電極と前記可動電極とは、第１間隙を隔てて対向配置され、前記第１ダンピング用構造体と前記第２ダンピング用構造体とは、第２間隙を隔てて対向配置されていることを特徴とする加速度センサー。
支持体と、前記支持体に設けられた固定電極および第１ダンピング用構造体と、可動部と、前記可動部に設けられた可動電極および第２ダンピング用構造体と、を備え、前記固定電極と前記可動電極とは、第１間隙を隔てて対向配置され、前記第１ダンピング用構造体と前記第２ダンピング用構造体とは、第２間隙を隔てて対向配置されていることを特徴とする加速度センサー。
［適用例３］
上記加速度センサーであって、前記第１間隙の変動方向と前記第２間隙の変動方向とが略一致していることを特徴とする加速度センサー。また、他の態様では、上記加速度センサーであって、前記可動電極の変動方向と前記第２ダンピング用構造体の変動方向とが略一致していることを特徴とする。
この適用例では、第１間隙（または可動電極）の変動方向と第２間隙（または第２ダンピング構造体）の変動方向が略一致しているので、減衰力が固定電極と可動電極との間の第２間隙の変動に効率よく働く。
上記加速度センサーであって、前記第１間隙の変動方向と前記第２間隙の変動方向とが略一致していることを特徴とする加速度センサー。また、他の態様では、上記加速度センサーであって、前記可動電極の変動方向と前記第２ダンピング用構造体の変動方向とが略一致していることを特徴とする。
この適用例では、第１間隙（または可動電極）の変動方向と第２間隙（または第２ダンピング構造体）の変動方向が略一致しているので、減衰力が固定電極と可動電極との間の第２間隙の変動に効率よく働く。
［適用例４］
上記加速度センサーであって、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体は、それぞれ複数設けられて、前記可動電極の変動方向、または平面視で前記可動部の重心に対して対称な位置に配置されていることを特徴とする加速度センサー。
この適用例では、第１ダンピング用構造体および第２ダンピング用構造体が、第１間隙（または可動電極）の変動方向または平面視で可動部の重心に対して対称に配置されているので、第１間隙（または可動電極）の変動方向に対して均等に減衰力が働き、他方向への感度が押さえられる。
上記加速度センサーであって、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体は、それぞれ複数設けられて、前記可動電極の変動方向、または平面視で前記可動部の重心に対して対称な位置に配置されていることを特徴とする加速度センサー。
この適用例では、第１ダンピング用構造体および第２ダンピング用構造体が、第１間隙（または可動電極）の変動方向または平面視で可動部の重心に対して対称に配置されているので、第１間隙（または可動電極）の変動方向に対して均等に減衰力が働き、他方向への感度が押さえられる。
［適用例５］
上記加速度センサーであって、前記固定電極、前記可動電極、前記可動部、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体が、積層構造を有している
ことを特徴とする加速度センサー。
この適用例では、固定電極、可動電極、可動部、第１ダンピング用構造体および第２ダンピング用構造体が積層構造であるので、集積回路が形成された基板上に加速度センサーが形成できる。
上記加速度センサーであって、前記固定電極、前記可動電極、前記可動部、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体が、積層構造を有している
ことを特徴とする加速度センサー。
この適用例では、固定電極、可動電極、可動部、第１ダンピング用構造体および第２ダンピング用構造体が積層構造であるので、集積回路が形成された基板上に加速度センサーが形成できる。
［適用例６］
上記加速度センサーであって、前記固定電極、前記可動電極、前記可動部、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体が、単結晶シリコンから構成されていることを特徴とする加速度センサー。
この適用例では、固定電極、可動電極、可動部、第１ダンピング用構造体および第２ダンピング用構造体が、単結晶シリコンから形成されているので、熱応力による変形が少なく、厚い構造体の形成も容易になる。
上記加速度センサーであって、前記固定電極、前記可動電極、前記可動部、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体が、単結晶シリコンから構成されていることを特徴とする加速度センサー。
この適用例では、固定電極、可動電極、可動部、第１ダンピング用構造体および第２ダンピング用構造体が、単結晶シリコンから形成されているので、熱応力による変形が少なく、厚い構造体の形成も容易になる。
Claims (6)
- 支持体と、
前記支持体に設けられた固定電極および第１ダンピング用構造体と、
可動部と、
前記可動部に設けられた可動電極および第２ダンピング用構造体と、を備え、
前記固定電極と前記可動電極とは、第１間隙を隔てて対向配置され、
前記第１ダンピング用構造体と前記第２ダンピング用構造体とは、第２間隙を隔てて対向配置されている
ことを特徴とする加速度センサー。 - 請求項１に記載の加速度センサーにおいて、
前記第２間隙は、前記第１間隙より狭い
ことを特徴とする加速度センサー。 - 請求項２に記載の加速度センサーにおいて、
前記可動電極の変動方向と前記第２ダンピング用構造体の変動方向とが略一致している
ことを特徴とする加速度センサー。 - 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の加速度センサーにおいて、
前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体は、それぞれ複数設けられて、前記可動電極の変動方向、または平面視で前記可動部の重心に対して対称な位置に配置されている
ことを特徴とする加速度センサー。 - 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の加速度センサーにおいて、
前記固定電極、前記可動電極、前記可動部、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体が、積層構造を有している
ことを特徴とする加速度センサー。 - 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の加速度センサーにおいて、
前記固定電極、前記可動電極、前記可動部、前記第１ダンピング用構造体および前記第２ダンピング用構造体が、単結晶シリコンから構成されている
ことを特徴とする加速度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009033605A JP2010190636A (ja) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | 加速度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009033605A JP2010190636A (ja) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | 加速度センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010190636A JP2010190636A (ja) | 2010-09-02 |
| JP2010190636A5 true JP2010190636A5 (ja) | 2012-03-08 |
Family
ID=42816845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009033605A Withdrawn JP2010190636A (ja) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | 加速度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2010190636A (ja) |
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| JP2003344445A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Mitsubishi Electric Corp | 慣性力センサ |
| JP2004347475A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
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-
2009
- 2009-02-17 JP JP2009033605A patent/JP2010190636A/ja not_active Withdrawn
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