JP2012177610A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 第１の方向に延在し前記第１の方向と直交する第２の方向に相互に対向する第１の梁の組と、前記第２の方向に延在し前記第１の方向に相互に対向する第２の梁の組と、前記第１の梁の組と前記第２の梁の組との間をそれぞれ接続する複数の接続部とを有する環状のフレームと、
   前記第１の梁の組と前記第２の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、前記フレームを前記第１の方向及び前記第２の方向が属する第１の面内において振動させる駆動部と、
   前記振動モードで振動する前記フレームの前記第１の面内における変形量に基づいて、前記第１の面と直交する第３の方向の軸回りの角速度を検出する第１の検出部と、
   前記フレームの外側を囲む内周部を有する環状のベース部と、前記内周部と前記複数の接続部との間をそれぞれ連結する複数の連結部とを有する支持機構と
   を具備する角速度センサ。
2. 請求項１に記載の角速度センサであって、
   前記複数の連結部の各々は、前記複数の接続部のうちの１つに接続される第１の端部と、前記内周部に接続される第２の端部と、前記第１の端部と前記第２の端部との間に設けられ少なくとも１つの屈曲部を有する構造部とをそれぞれ有する
   角速度センサ。
3. 請求項２に記載の角速度センサであって、
   前記ベース部は、
   前記第１の方向又は前記第２の方向に沿って配列された複数の端子部を含む端子列と、
   前記端子列と前記内周部との間に前記端子列に沿って形成された溝とを有する
   角速度センサ。
4. 請求項３に記載の角速度センサであって、
   前記ベース部は、前記第１の方向に対向する２辺と前記第２の方向に対向する２辺を有する四角形の枠体であり、
   前記溝は、前記第１の方向に対向する２辺にそれぞれ形成された第１の溝部と、前記第２の方向に対向する２辺にそれぞれ形成され前記第１の溝部にそれぞれ連絡する第２の溝部をさらに含む
   角速度センサ。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載の角速度センサであって、
   前記第１の梁の組は、相互に対向する方向に突出することで第１の凹所を形成する第１の湾曲部をそれぞれ有する一対の第１の梁を含み、
   前記第２の梁の組は、相互に対向する方向に突出することで第２の凹所を形成する第２の湾曲部をそれぞれ有する一対の第２の梁を含む
   角速度センサ。
6. 請求項５に記載の角速度センサであって、
   前記複数の連結部の少なくとも一部は、前記第１の凹所又は前記第２の凹所内に位置する
   角速度センサ。
7. 請求項１〜６のいずれか１つに記載の角速度センサであって、
   前記複数の接続部のうち互いに対角関係にある第１の接続部の組にそれぞれ設けられ、前記第１の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第１の振り子部と、
   前記複数の接続部のうち互いに対角関係にある第２の接続部の組にそれぞれ設けられ、前記第１の面内で前記フレームの振動に同期して振動する第２の振り子部と、
   前記第１の面と直交する方向への前記第１の振り子部及び前記第２の振り子部各々の変形量に基づいて、前記第１の面内における所定の２つの方向の軸回りの角速度を検出する第２の検出部と
   をさらに具備する角速度センサ。