JP2012091317A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. サブストレート（１）の前面側（ＶＳ）に可動部（２０、３０）を有するウエハが、空洞（Ｋ）を有する保護キャップにより前記空洞が前記前面側に対向するようバキューム封止されるマイクロメカニック式キャップ構造において、
   前記空洞（Ｋ）が、１つの基面と、互いに向き合った平行な側壁区分から成る２つの側壁区分対（Ａ１，Ａ２；Ａ３，Ａ４）により形成され、少なくとも１つの、前記基面を補強する壁区分である安定化壁区分（ＳＫ１，ＳＫ２；Ｓ１−Ｓ４）が２つの側壁区分を互いに結合するように設けられており、
   前記安定化壁区分（ＳＫ１，ＳＫ２）は、前記空洞（Ｋ）の空洞輪郭に対し低位に配置されていることを特徴とする、マイクロメカニック式キャップ構造。
2. 前記空洞（Ｋ）が方形の形を有している、請求項１記載のマイクロメカニック式のキャップ構造。
3. 前記空洞（Ｋ）が側壁区分（Ａ１−Ａ４）に対し平行に基面の上を延びる２つの交差する安定化壁区分（ＳＫ１，ＳＫ２）を有している、請求項１又は２記載のマイクロメカニック式のキャップ構造。
4. 空洞（Ｋ）が、空洞輪郭に沿って、互いに向き合った平行な安定化壁区分（Ｓ１，Ｓ３；Ｓ２，Ｓ４）を２組有しており、安定化壁区分（Ｓ１，Ｓ３；Ｓ２，Ｓ４）が空洞（Ｋ）の隣り合う側壁区分（Ａ１−Ａ４）を、空洞（Ｋ）が８角形の形を有するように互いに結合している、請求項１記載のマイクロメカニック式のキャップ構造。
5. 前記８角形の内角が１３５°である、請求項４記載のマイクロメカニック式のキャップ構造。
6. 基面が（１００）平面であって、側壁区分（Ａ１−Ａ４）が（１１１）平面である、請求項１記載のマイクロメカニック式のキャップ構造。