JPH08274208A - セラミックパッケージの封止蓋の構造 - Google Patents

セラミックパッケージの封止蓋の構造

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JPH08274208A
JPH08274208A JP9628095A JP9628095A JPH08274208A JP H08274208 A JPH08274208 A JP H08274208A JP 9628095 A JP9628095 A JP 9628095A JP 9628095 A JP9628095 A JP 9628095A JP H08274208 A JPH08274208 A JP H08274208A
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metal lid
lid
metal
recess
ceramic package
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JP9628095A
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Shoichi Nagamatsu
昌一 永松
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 一面が開口したセラミックパッケージの開口
縁に金属製のシールフレームを介して金属蓋をシーム溶
接することにより封止されるセラミックパッケージにお
いて、金属蓋の強度を低下させることなく金属蓋の平均
的な電気抵抗を高めることにより、金属蓋とシームフレ
ームとの接合部に効率よく電流を流して溶接を確実化す
るとともに、蓋の発熱を抑えて金属粉のパッケージ内へ
の飛散を防止できるセラミックパッケージの封止蓋の構
造を提供する。 【構成】 一面が開口したセラミックパッケージの開口
側周縁部に金属製シールフレームを介してシーム溶接さ
れる金属蓋10において、金属蓋の下面に少なくとも一
つの凹所11を形成して体積を減少させることにより金
属蓋の電気的抵抗を高めるとともに、金属蓋の外周縁部
には厚肉の外側環状部を設けて外側環状部をシールフレ
ームと接合させた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は圧電共振子を気密封止す
るためのパッケージの封止構造の改良に関し、特に、セ
ラミックパッケージを封止するために溶接される金属蓋
の構造の改良に関する。
【0002】
【従来技術】各種電子機器、通信機器に用いられる電子
部品としての圧電デバイス(振動子、フィルタ)は、水
晶振動子等の圧電共振子をパッケージ内に気密封止した
構成を有している。この種の圧電デバイスとして、例え
ば上面が開口した箱形のセラミックパッケージの内底面
に水晶素板を配置すると共に、該水晶素板等の一面に設
けた電極から導出させた電極リードをパッケージを貫通
する導体に接続させたタイプのものがあり、このタイプ
にあっては該パッケージの開口を約0.1mm程度の肉
厚の金属蓋により封止することにより製品としての圧電
デバイスを完成させている。セラミックパッケージの開
口に金属蓋を固着する方法としては、シーム溶接による
方法が行われており、この固着工程においてはパッケー
ジの開口縁の形状に整合したリング状の金属製シールフ
レームを該開口縁に予めろう付けしておいた状態で、該
シールフレーム上に金属蓋を溶接する作業が行われる。
【0003】図5(a) 及び(b) はセラミックパッケージ
に金属蓋をシーム溶接する従来方法を示す図であり、セ
ラミックパッケージ1の開口縁1aにはろう付け用の金
属材料2により金属製シールフレーム3が予めろう付け
されている。このシールフレーム3の上に金属蓋4を載
置し、この状態で金属蓋4の対向し合う縁部に沿ってロ
ーラ電極5を用いて一定の加圧条件の下で電源6からパ
ルセーション通電を行うことにより、接合部に発生する
ジュール熱によりシールフレーム3と金属蓋4との接合
部をシーム接合する。
【0004】ローラ電極5から金属蓋4に流れる電流
は、図5(b) に示したように一方のローラ電極から出て
金属蓋4内だけをその面方向に流れて他方のローラ電極
5へ抜ける経路Aと、金属蓋4とシールフレーム3との
一端側の接合部を経てシールフレーム3へ流れ込んでか
らシールフレーム内を通って反対側の接合部を経て他方
のローラ電極5へ抜ける経路Bの2経路に別れ、経路B
を通る電流によって金属蓋4とシールフレームとの溶接
が行われる。
【0005】金属蓋をシールフレームに固定するという
本来の目的からすれば、溶接電流は経路Bだけに流れれ
ば十分なはずであり、経路Aを流れる電流は少ない方が
溶接効率は高いはずであるが、従来はこの点については
特に配慮することもなく、溶接を行っていた。特に、従
来の金属蓋4は肉厚が0.1mm程度の平坦な板であ
り、断面積が大きい為、シールフレーム側の電気的抵抗
に比べた電気的抵抗が小さく、従って溶接時には蓋側の
経路Aに大きな電流が流れる。この結果、溶接時に金属
蓋側が発熱してエネルギーを無駄に浪費する結果を招来
していたばかりでなく、蓋の発熱により蓋の裏面等に付
着していた金属粉が燃焼してパッケージ内底面に配置し
た圧電共振子等の上に飛散(スプラッシュ)して特性の
変動をもたらす等の事態が発生していた。このような不
具合を解消する為には、金属蓋の肉厚を更に薄くすれば
問題は直ちに解決する如くにも考えられるが、0.1m
mという現状の肉厚を更に薄くすれば、強度が低下して
蓋としての機能を発揮し得なくなる虞が高い。
【0006】図6(a) (b) 及び(c) は従来の金属蓋の構
成例を示す図であり、(a) は上記従来例で示した平板状
の蓋、(b) は肉厚0.1mmの平板状の基部4aの上に
更に平板状の突部4bを一体的に設けたものであり、
(c) は肉厚0.1mmの平板状の基部4aの上にリング
状の突部4cを一体的に設けたものである。しかし、
(b) 及び(c) の突部4b,4cは、いずれもシールフレ
ームとの位置決め用の突部であり、蓋自体の強度の増大
と、金属蓋4部分の電気抵抗を低下させる為に貢献する
ことはあっても、逆に電気抵抗を増大させて溶接効率を
高める上では不利な要因となっていた。
【0007】近年の電子機器、通信機器の小型化の要請
により、これらの機器に搭載される圧電デバイスにおい
ても、セラミックパッケージ自体の容積を確保しながら
も外形サイズを小型化することが強く求められており、
その結果シールフレーム及び金属蓋が可能な限り薄型化
されているが、現状では強度を確保する必要からこれ以
上の薄型化は限界に達している。特に、金属蓋に関して
は、0.1mmを下回って薄型化を進めることが不可能
であることから、シーム溶接を効率的に行うための条件
に反する状況(上記経路A側へ流れる電流の低減の困難
化)が生じている。従って、このような金属蓋の発熱
と、発熱によるスプラッシュの発生を防止する為に、溶
接に必要十分な電流を流すことができず、その結果、溶
接による接合の歩留りが低下する事態を招来しているの
が実態である。
【0008】
【発明の目的】本発明は上記に鑑みてなされたものであ
り、一面が開口したセラミックパッケージの該開口縁に
金属製のシールフレームを介して金属蓋をシーム溶接す
ることにより封止されるセラミックパッケージにおい
て、金属蓋の強度を低下させることなく該金属蓋の平均
的な電気抵抗を高めることにより、金属蓋とシームフレ
ームとの接合部に効率よく電流を流して溶接を確実化す
るとともに、蓋の発熱を抑えて金属粉のパッケージ内へ
の飛散を防止することができるセラミックパッケージの
封止蓋の構造を提供することを目的としている。
【0009】
【発明の概要】上記目的を達成するため本発明は、一面
が開口したセラミックパッケージの該開口側周縁部に金
属製シールフレームを介してシーム溶接される金属蓋に
おいて、該金属蓋の下面に少なくとも一つの凹所を形成
して体積を減少させることにより該金属蓋の電気的抵抗
を高めるとともに、該金属蓋の外周縁部には厚肉の外側
環状部を設けて該外側環状部を該シールフレームと接合
させたことを特徴とする。上記金属蓋は、平板状の基部
の下面中央部に突部を設けたものであり、該突部の下面
に少なくとも一つの凹所を形成したことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施例】以下、添付図面に示した実施例により
本発明を詳細に説明する。図1(a) 及び(b) は本発明の
一実施例の金属蓋の一実施例の構成を示す斜視図及び断
面図であり、この斜視図は下面側を上向きにして示して
いる(以下、全ての実施例に於て同じ)。セラミックパ
ッケージ及びシールフレームの構造は上記図5に示した
ものと同様であるので図示を省略する。この第1実施例
の金属蓋の特徴的な構成は、0.1mm程度の肉厚の金
属板から成る金属蓋(封止蓋)10の中央部に矩形(平
面形状及び断面形状ともに矩形)の凹所11を複数個、
例えば4個、図示のごときリブ状の突条12を隔てて形
成した点である。凹所11の深さは、金属蓋10の肉厚
の1/2前後とする。各凹所11を囲繞する外側環状部
13及び突条12の肉厚は、金属蓋本来の肉厚である
0.1mmに設定してある。外側環状部13は、シール
フレームとの接合を行う部分である為、機械的強度の低
下を防止する為に厚肉部となっている。また、突条12
も凹所11の存在による機械的強度の低下を防止する補
強手段としての機能を有する。
【0011】なお、金属蓋10としては、コバール
(鉄、ニッケル、コバルトの合金)から成る基材上にニ
ッケルメッキを施したものを用い、シールフレームとし
てはコバルから成る基材上に金メッキを施したものを用
いる。凹所は、エッチング、或はプレス成形等により形
成する。
【0012】この実施例により提案した金属蓋の構造に
よれば、凹所11を形成した分だけ、金属蓋10の体積
(断面積)を小さくして導通抵抗を高めることができる
ので、図5に示した如きシーム溶接を行う場合に、経路
Aを流れる電流を低減し、溶接に実質的に関与する経路
Bに対して効率的に電流を流すことができ、その結果、
溶接電流の低減と溶接時間の短縮を図りながら、効率的
な溶接を行うことができる。また、金属蓋の発熱に起因
した金属粉のパッケージ内へのスプラッシュを防止する
ことができる。特に、金属蓋の電気抵抗の増大により金
属蓋の発熱を考慮する必要がなくなるので、必要十分な
溶接電流を使用することができ、溶接の歩留を高めるこ
とが可能となる。
【0013】次に、図2(a) 及び(b) は本発明の第2実
施例の金属蓋の構成を示す底部斜視図及び断面図であ
り、この実施例の金属蓋10は、互いに平行に配列され
た複数の細幅帯状の溝(凹所)15を下面に有してお
り、各溝15間はリブ状の突条16により隔てられてい
る。凹所11の深さは、金属蓋10の肉厚の1/2前後
とする。各凹所15を囲繞する外側環状部17及び突条
16の肉厚は、金属蓋本来の肉厚である0.1mmに設
定してある。外側環状部17は、シールフレームとの接
合を行う部分である為、機械的強度の低下を防止する為
に厚肉部となっている。また、突条16も凹所15の存
在による機械的強度の低下を防止する補強手段としての
機能を有する。
【0014】この実施例により提案した金属蓋の構造に
おいても、凹所15を形成した分だけ、金属蓋10の体
積(断面積)を小さくして導通抵抗を高めることができ
るので、図5に示した如きシーム溶接を行う場合に、経
路Aを流れる電流を低減し、溶接に実質的に関与する経
路Bに対して効率的に電流を流すことができ、その結
果、溶接電流の低減と溶接時間の短縮を図りながら、効
率的な溶接を行うことができる。また、金属蓋の発熱に
起因した金属粉のパッケージ内へのスプラッシュを防止
することができる。特に、金属蓋の電気抵抗の増大によ
り金属蓋の発熱を考慮する必要がなくなるので、必要十
分な溶接電流を使用することができ、溶接の歩留を高め
ることが可能となる。
【0015】次に、図3(a) 乃至(i) は、いずれも本発
明の金属蓋の他の実施例であり、(a) 及び(b) の実施例
は複数の細幅帯状の溝(凹所)20を互いに平行、或は
直交する位置関係で配置しており、両実施例に共通する
特徴は、長さの異なる細幅帯状の溝20を用いている点
と、最外部に位置する複数の溝20aを非連続的に環状
(四角い枠状)に配置することにより、その外側に厚肉
の外側環状部21を確保する一方、複数の溝20aによ
り囲まれた中央の領域に他の溝20bを配置することに
より金属蓋10の体積を減少させるようにした点に存す
る。各溝間の突条22は金属蓋の機械的強度の補強の為
に役立ち、外側環状部21はシールフレームとの間の接
合部となる。
【0016】図3(c) の実施例は、平板状の金属蓋10
の下面に、4つの二等辺三角形状の凹所25を、夫々の
頂点が蓋の中心部に指向するように配置しており、各二
等辺三角形状の凹所25の底辺の外側には厚肉の外側環
状部26が形成される。各凹所25間の突条27は金属
蓋10の機械的強度を補強する為に機能する。
【0017】図3(d) の実施例は、平板状の金属蓋10
の下面の中央部に大きな矩形の凹所30を形成すること
により、その外側位置に外側環状部31を形成する様に
した構成が特徴的である。この実施例では、凹所30の
面積が大きいため、金属蓋10の体積を大幅に低減で
き、その結果電気的抵抗を高めることができるが、金属
蓋の機械的強度の低下を防止する為に、凹所30の深さ
を浅めに設定することが好ましい。仮に、凹所30を浅
く設定したとしても、上記各実施例における突条が存在
しない分だけ全体的な体積を低減できることは間違いな
いので、本実施例の実用性には十分高いものがある。
【0018】図3(e) の実施例は、平板状の金属蓋10
の下面に複数の細幅帯状の溝(凹所)35を平行に配置
し、各溝35間にはリブ状の突条36を配置すると共
に、各溝35の外側には厚肉の外側環状部37を配置す
る。突状36と外側環状部37の肉厚は、上記各実施例
の場合と同様に金属蓋の基材となる平板の肉厚を越える
ものではない。この実施例の特徴は、各溝35の延びる
方向が矩形の金属蓋10の対角線方向と平行に設定され
ている点である。また、各溝35の長さ、形状は、外側
環状部37を形成し得るように配慮されている。
【0019】図3(f) の実施例は、平板状の金属蓋10
の下面に、大きさの異なる矩形の凹所40を突条41を
介して隣接配置するとともに凹所40群の外径方向には
外側環状部42を設けている。なお、この実施例では各
凹所40のサイズを異ならせているが、同一形状であっ
てもよい。図3(g) の実施例は平板状の金属蓋10の下
面に、幅広帯状の複数の凹所50を突条51を介して配
置するとともに、凹所の外側に外側環状部52を設けて
いる。
【0020】図3(h) の実施例は平板状の金属蓋10の
下面に、大小2つの三角形状の凹所55を突条56を介
して隣接配置すると共に外側に外側環状部57を形成し
ている。図3(i) の実施例は平板状の金属蓋10の下面
に、サイズ形状の異なる3つの凹所60を突条61を介
して隣接配置すると共に外側に外側環状部62を形成し
ている。なお、図示した凹所(溝)の形状は、いずれも
一例に過ぎず、これに限定する趣旨ではなく、同一の機
能を有する凹所は全て本発明の範囲に含まれている。
【0021】上記図3の各実施例はいずれも平板状の金
属蓋に凹所(溝)を形成したが、図4(a)(b)の実施例は
図6(a)(b)に示した従来例に本発明を適用した例であ
り、図4(a) は図6(a) に示した金属蓋(肉厚0.1m
mの平板状の基部4a)の下面に設けた平板状の突部4
bに凹所(溝)65(突条66)を設け、凹所65の深
さは基部4aの肉厚内部に入り込む程度に深く設定して
ある。また、図4(b) は肉厚0.1mmの平板状の基部
4aの上にリング状の突部4cを一体的に設けたものに
おいて、突部4cの内底面に凹所(溝)70(突条)を
形成している。図4の実施例における凹所(溝)の形状
は、図2、図3において示したいずれの態様のものを適
用してもよい。
【0022】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、一面が開
口したセラミックパッケージの該開口縁に金属製のシー
ルフレームを介して金属蓋をシーム溶接することにより
封止されるセラミックパッケージにおいて、金属蓋の強
度を低下させることなく該金属蓋の平均的な電気抵抗を
高めることにより、金属蓋とシームフレームとの接合部
に効率よく電流を流して溶接を確実化するとともに、蓋
の発熱を抑えて金属粉のパッケージ内への飛散を防止す
ることができる。
【0023】即ち、本発明では、一面が開口したセラミ
ックパッケージの該開口側周縁部に金属製シールフレー
ムを介してシーム溶接される金属蓋において、該金属蓋
の下面に少なくとも一つの凹所を形成して体積を減少さ
せることにより該金属蓋の電気的抵抗を高めるととも
に、該金属蓋の外周縁部には厚肉の外側環状部を設けた
ので、外側環状部と凹所間の突条とによって金属蓋の機
械的強度を十分に維持しながら金属蓋の体積を減少さ
せ、その結果、該外側環状部とシールフレームとの接合
部における溶着を効率よく実現することが可能となっ
た。換言すれば、シールフレーム上に金属蓋を当接した
状態で、金属蓋の上面にローラ電極を圧接させることに
よりシーム溶接する際に、ローラ電極からの溶接電流が
シールフレームと金属蓋との接合部に集中せずに、金属
蓋の面方向へ流れて他方のローラ電極に逃げてしまうこ
とによる溶接効率の低下を防止することができる。ま
た、金属蓋の発熱に起因したスプラッシュ発生を防止で
きる。
【0024】また、上記金属蓋は平板状であり、該平板
状の金属蓋の下面に上記凹所を少なくとも一つ形成し、
各凹所間の突条が凹所を形成したことによる金属蓋の強
度低下を防いでいる。更に、上記金属蓋は、平板状の基
部の下面中央部に突部を設けたものであり、該突部の下
面に少なくとも一つの凹所を形成したので、金属蓋の強
度を平板状のものよりも強くしながらも、電気的抵抗を
十分に高めて蓋の発熱を防止し、接合効率を高めること
を可能としている。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a) 及び(b) は本発明の一実施例の金属蓋の構
成を示す斜視図及び断面図。
【図2】(a) 及び(b) は本発明の他の実施例の構成を示
す斜視図及び断面図。
【図3】(a) 乃至(i) は夫々本発明の他の実施例の構成
を示す図。
【図4】(a) 及び(b) は本発明の他の実施例の構成を示
す断面図。
【図5】(a) 及び(b) は従来のシーム溶接方法とその欠
点を示す図である。
【図6】(a) (b) 及び(c) は従来の金属蓋の構成を示す
斜視図。
【符号の説明】
10 金属蓋(封止蓋)、11 凹所、12 突条、1
3 外側環状部、15 溝(凹所)、16 突条、17
外側環状部、20 溝、21 外側環状部、25 凹
所、26 外側環状部、27 突条、30 凹所、31
外側環状部、35 溝(凹所)、36 突条、37
外側環状部、40 凹所、41 突条、42 外側環状
部、55 凹所、56 突条、57 外側環状部、60
凹所、61 突条、62 外側環状部、65 凹所、
66 突条、

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一面が開口したセラミックパッケージの
    該開口側周縁部に金属製シールフレームを介してシーム
    溶接される金属蓋において、 該金属蓋の下面に少なくとも一つの凹所を形成して体積
    を減少させることにより該金属蓋の電気的抵抗を高める
    とともに、該金属蓋の外周縁部には厚肉の外側環状部を
    設けて該外側環状部を該シールフレームと接合させたこ
    とを特徴とするセラミックパッケージの封止蓋の構造。
  2. 【請求項2】 上記金属蓋は平板状であり、該平板状の
    金属蓋の下面に上記凹所を少なくとも一つ形成したこと
    を特徴とする請求項1記載のセラミックパッケージの封
    止蓋の構造。
  3. 【請求項3】 上記金属蓋は、平板状の基部の下面中央
    部に突部を設けたものであり、該突部の下面に少なくと
    も一つの凹所を形成したことを特徴とする請求項1記載
    のセラミックパッケージの封止蓋の構造。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001269900A (ja) * 2000-02-04 2001-10-02 Robert Bosch Gmbh マイクロメカニック式のキャップ構造及びその製造方法
JP2008182236A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Osram Opto Semiconductors Gmbh 電子装置
US8330360B2 (en) 2006-12-29 2012-12-11 Osram Opto Semiconductors Gmbh Light-emitting device with supported cover

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001269900A (ja) * 2000-02-04 2001-10-02 Robert Bosch Gmbh マイクロメカニック式のキャップ構造及びその製造方法
JP2012091317A (ja) * 2000-02-04 2012-05-17 Robert Bosch Gmbh マイクロメカニック式のキャップ構造
US8330360B2 (en) 2006-12-29 2012-12-11 Osram Opto Semiconductors Gmbh Light-emitting device with supported cover
JP2008182236A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Osram Opto Semiconductors Gmbh 電子装置
US8830695B2 (en) 2007-01-25 2014-09-09 Osram Opto Semiconductors Gmbh Encapsulated electronic device

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