JP2004179408A - セラミックパッケージの密封構造 - Google Patents

セラミックパッケージの密封構造 Download PDF

Info

Publication number
JP2004179408A
JP2004179408A JP2002344027A JP2002344027A JP2004179408A JP 2004179408 A JP2004179408 A JP 2004179408A JP 2002344027 A JP2002344027 A JP 2002344027A JP 2002344027 A JP2002344027 A JP 2002344027A JP 2004179408 A JP2004179408 A JP 2004179408A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
side wall
ceramic
metal lid
film
welding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002344027A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadanaka Soga
忠央 曽我
Yoji Nagano
洋二 永野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Communication Equipment Co Ltd
Original Assignee
Toyo Communication Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyo Communication Equipment Co Ltd filed Critical Toyo Communication Equipment Co Ltd
Priority to JP2002344027A priority Critical patent/JP2004179408A/ja
Publication of JP2004179408A publication Critical patent/JP2004179408A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/163Connection portion, e.g. seal
    • H01L2924/16315Shape

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】セラミック容器の厚みが薄い側壁上面に形成された金属被膜上面の断面形状は円弧状を示し、その側壁上面に金属蓋を載置した場合、その接触は線接触に近い状態となり、ビーム溶接の電子ビームが接触面上からずれた位置から照射された場合は、溶着不十分となってしまう場合がある。
【解決手段】セラミック容器12の側壁13上面に施されたニッケル膜18の上面全周に亘ってコバールリング14をろう付け18で固定し、その上に金属蓋15を載置してビーム溶接にて溶着する。
【選択図】図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動子等に使用されるセラミックパッケージに関し、特に、ビーム溶接によって金属蓋を溶着するセラミックパッケージの密封構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、無線通信機器、特に携帯無線端末等の時間の基準として広く使用されている水晶振動子は、発振周波数の高周波化にともない、その安定度の向上のためにセラミックパッケージに密封されて使用されている。
そして、近年の携帯無線端末の小型軽量化に対応して、前記水晶振動子においてもセラミックパッケージの外形寸法は、例えば、6.0×3.5×1.2(mm)程度と極めて小型化され、その製造組立てに高度の技術が要求されている。
図2は、例えば特開平第9−246415号公報に開示された従来の水晶振動子の一例を示す構造図で、(a)は外形斜視図、(b)は分解した縦断面図である。同図に示されるように、本水晶振動子30は、凹陥部内底面に水晶振動素子31を装着したセラミック容器32の側壁33上面に金属蓋34を載置し、ビーム溶接によって該金属蓋34溶着して、密封する構造をもっている。
【0003】
図3は、セラミック容器32側壁33と金属蓋34との溶着箇所の細部を示す部分縦断面図である。
同図に示されるように、セラミック容器32は、該セラミック容器32を形成するセラミック積層板の焼成に先立って側壁33上面全周に亘ってスクリーン印刷の手法によってペースト状のタングステン(W)膜35が印刷される。次に、該タングステン膜35の上面にニッケル(Ni)膜36が、更にその上面に金(Au)膜37がメッキされている。
また、前記金属蓋34は、コバール(Fe−Ni−Co合金)板38の下面にクラッドとして銀(Ag)と銅(Cu)の合金材39が圧着された構造となっている。
そして、前述の構造の側壁33上面に金属蓋34が載置され、同図に示すように、金属蓋34の上方、図中に矢印で示す側壁33と重なる部分に電子ビームが照射されて溶接され、セラミック容器32の凹陥部の開口部が密封される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構造の水晶振動子30においては、セラミック容器32の側壁33の厚みは、例えば数百μmであり、図3に示されるように、その上面にスクリーン印刷の手法でペースト状のタングステン膜35が印刷されると粘性のため膜の上面縁端がたれさがり、その断面形状は、中央が肉厚であり、両端に近づくほど薄くなる。
この状態でセラミック積層板と共に焼成されたタングステン膜35の上面にめっきによってニッケル及び金の膜36、37を形成するので、その断面形状も、中央が肉厚の円弧状を示すことになる。
そのため、前記側壁33の上面に金属蓋34を載置した場合、その接触は線接触に近い状態となり、溶接の電子ビームが、図3に矢印で示すように、接触面上Aの位置からずれて、BあるいはCの位置から照射された場合は、溶着不十分となってしまう場合がある。したがって、ビーム溶接における電子ビームに高い照射精度が必要とされている。
また、前記側壁33の上面に設けられたタングステン膜35、ニッケル膜36、金膜37の膜厚は、それぞれ、例えば10〜20μm、1〜20μm、1μmと薄い膜であるので、ビーム溶接によって前記金属蓋34上方から加えられた熱はセラミック容器32の側壁33に熱衝撃となって加わり、該側壁33を破損する可能性があるという問題もある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、ビーム溶接によってセラミック容器を金属蓋で溶接、密封する際に、確実に密封することができる構造のセラミックパッケージを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のセラミックパッケージの構造は、上面に凹部を有するセラミック容器の側壁上面を金属蓋で密封する構造のセラミックパッケージであって、前記金属蓋と前記側壁上面に施された金属膜との間の全周に亘ってコバールのリングを固定し、ビーム溶接にて溶着して密封したことを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示した実施の形態に基づいて説明する。
図1は、本発明に係わるセラミック容器を用いた水晶振動子の実施の一形態例を示す構造図で、(a)は分解した縦断面図、(b)は(a)における容器の側壁と金属蓋の溶着箇所の細部を示す部分縦断面図である。
同図(a)示されるように、本水晶振動子10は、凹陥部内底面に水晶振動素子11を装着したセラミック容器12と、該セラミック容器12側壁13上面全周に亘って固定されたコバールのリング14と、前記セラミック容器12凹陥部の開口部を密封する金属蓋15とで構成される。
同図(b)は、前記の容器12の側壁13と金属蓋15の溶着箇所の細部を示す部分縦断面図である。
同図に示されるように、前記側壁13の上面全周に亘ってタングステン(W)膜16がスクリーン印刷の手法で印刷されてセラミック積層板と共に焼成され、該タングステン膜16の上面にニッケル(Ni)膜17がメッキされる。
そして、側壁13のニッケル膜17上全周に、コバール(Fe−Ni−Co合金)リング14が載置され、ろう付け18によって固定される。該コバールリング14は、型抜きによって成型されるので、その上面に載置される金属蓋15の下面と十分に接触面積を保つことができる。なお、該金属蓋15は、コバール板19の下面にクラッドとしての銀(Ag)と銅(Cu)の合金材20が圧着された構造となっている。
同図(a)に示されるように、セラミック容器12の側壁13上面の全周に亘って固定されたコバールリング14上面に金属蓋34が載置され、金属蓋15の上方、同図(b)中に矢印で示す側壁33と重なる部分に電子ビームが照射されて溶接され、金属蓋15とセラミック容器12とが溶着される。
【0007】
上記構造とすることによって、金属蓋15とセラミック容器12とをビーム溶接で溶着する際、電子ビームによる熱は金属蓋15からコバールリング14を介して前記側壁13上面に伝達されるので、図1(b)に矢印で示す金属蓋15の上方A、B、Cのいずれの位置から電子ビームが照射されても、金属蓋15とセラミック容器12間の溶着が不十分となることがない。
なお且つ、前記コバールリング14は、断面形状が、例えば、数百μm角の大きさを有して熱容量が大きいので、側壁33が電子ビームによる熱衝撃を直接受けて破損される可能性も極めて低くなる。
【0008】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のセラミックパッケージの構造によれば、セラミック容器側壁上に型抜きで成型されるコバールリングをろう付けによって固定して、その上面に金属蓋をビーム溶接で溶着するようにしたので、前記コバールリングは、セラミック容器側壁と十分に接触面積を保つことができ、確実にビーム溶接によって溶着し容器を密封することができる。同時に、金属蓋から熱衝撃としてセラミック容器側壁が加熱されることがないので、熱による容器側壁の破損を防止することができる。
したがって、本発明によれば、作業性がよく、確実な密封溶接が可能なセラミックパッケージを提供する上で大いに効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるセラミック容器を用いた水晶振動子の実施の一形態例を示す構造図で、(a)は、分解した縦断面図、(b)は、(a)における容器の側壁と金属蓋の溶着箇所の細部を示す部分縦断面図
【図2】従来の水晶振動子の一例を示す構造図で、(a)は外形斜視図、(b)は分解した縦断面図。
【図3】図2の水晶振動子のセラミック容器側壁と金属蓋との溶着箇所の細部を示す部分縦断面図。
【符号の説明】
10・・水晶振動子、 11・・水晶振動素子、 12・・セラミック容器、
13・・側壁、 14・・コバールリング、 15・・金属蓋、
16・・タングステン(W)膜、 17・・ニッケル(Ni)膜、
18・・ろう付け、 19・・コバール板、
20・・クラッドとしての銀(Ag)と銅(Cu)の合金材、
30・・水晶振動子、 31・・水晶振動素子、 32・・セラミック容器、
33・・側壁、 34・・金属蓋、 35・・タングステン(W)膜、
36・・ニッケル(Ni)膜、 37・・金(Au)膜、 38・・コバール板、
39・・クラッドとしての銀(Ag)と銅(Cu)の合金材

Claims (1)

  1. 上面に凹部を有するセラミック容器の側壁上面を金属蓋で密封する構造のセラミックパッケージであって、
    前記金属蓋と前記側壁上面に施された金属膜との間の全周に亘ってコバールのリングを固定し、ビーム溶接にて溶着して密封したことを特徴とするセラミックパッケージの密封構造。
JP2002344027A 2002-11-27 2002-11-27 セラミックパッケージの密封構造 Pending JP2004179408A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002344027A JP2004179408A (ja) 2002-11-27 2002-11-27 セラミックパッケージの密封構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002344027A JP2004179408A (ja) 2002-11-27 2002-11-27 セラミックパッケージの密封構造

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004179408A true JP2004179408A (ja) 2004-06-24

Family

ID=32705661

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002344027A Pending JP2004179408A (ja) 2002-11-27 2002-11-27 セラミックパッケージの密封構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004179408A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5853702B2 (ja) * 2010-01-29 2016-02-09 株式会社大真空 圧電振動デバイス
WO2016084841A1 (ja) * 2014-11-26 2016-06-02 京セラ株式会社 電子部品収納用パッケージ、多数個取り配線基板および電子部品収納用パッケージの製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5853702B2 (ja) * 2010-01-29 2016-02-09 株式会社大真空 圧電振動デバイス
WO2016084841A1 (ja) * 2014-11-26 2016-06-02 京セラ株式会社 電子部品収納用パッケージ、多数個取り配線基板および電子部品収納用パッケージの製造方法
JPWO2016084841A1 (ja) * 2014-11-26 2017-08-17 京セラ株式会社 電子部品収納用パッケージ、多数個取り配線基板および電子部品収納用パッケージの製造方法
CN107112286A (zh) * 2014-11-26 2017-08-29 京瓷株式会社 电子部件收纳用封装件、批量生产型布线基板以及电子部件收纳用封装件的制造方法
EP3226285A4 (en) * 2014-11-26 2018-11-14 KYOCERA Corporation Electronic component housing package, multi-piece wiring board, and method of manufacturing electronic component housing package
US10182508B2 (en) 2014-11-26 2019-01-15 Kyocera Corporation Electronic component housing package, multi-piece wiring substrate, and method for manufacturing electronic component housing package

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5087323B2 (ja) 表面実装用とした接合型の水晶発振器
JP3922570B2 (ja) 圧電デバイスと圧電デバイス用パッケージ、圧電デバイスの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器
JP2004179408A (ja) セラミックパッケージの密封構造
JP2002246493A (ja) 電子部品用パッケージ及びその製造方法
JP5171228B2 (ja) 表面実装用の水晶デバイス
JP2001320256A (ja) 圧電振動デバイスの気密封止方法
JP3991274B2 (ja) 圧電デバイス
JP2010178113A (ja) 圧電デバイス
JP2004007198A (ja) 圧電デバイスと圧電デバイス用パッケージ、圧電デバイスの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器
JP2001274649A (ja) 水晶振動デバイスの気密封止方法
JP3886437B2 (ja) 小型電子部品パッケージの封止構造
JP2007173973A (ja) 水晶デバイスの製造方法
JP2000150689A (ja) 電子部品
JP2001308211A (ja) 電子部品収納用パッケージ
JP4599145B2 (ja) 圧電振動板
JP2004281545A (ja) 圧電デバイス用パッケージの封止方法並びにパッケージの蓋体及び圧電デバイス
JP2004179332A (ja) 電子装置
JP2004186269A (ja) セラミック電子部品の製造方法
JP2001068577A (ja) 電子部品用パッケージ及びその製造方法
JP2002246491A (ja) 電子部品用パッケージ及びその製造方法
JP2006080380A (ja) 電子部品用パッケージの封止方法
JP2000277639A (ja) 電子装置の製造方法
JP2004103626A (ja) セラミックパッケージの封止構造
JP2005142329A (ja) 電子部品用パッケージ
JP2004186276A (ja) セラミック電子部品の製造方法、セラミック電子部品およびセラミックパッケージ