JP2004333133A

JP2004333133A - 慣性力センサ

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Publication number: JP2004333133A
Application number: JP2003124795A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Hirata; 善明平田; Masahiro Tsugai; 政広番; Nobuaki Konno; 伸顕紺野
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2003-04-30
Filing date: 2003-04-30
Publication date: 2004-11-25

Abstract

【課題】周囲の温度変化によるアンカー部の歪みないし変位を防止ないし低減することができ、出力零点のずれが生じない温度安定性に優れた慣性力センサを提供する。
【解決手段】慣性力センサには、単結晶シリコン基板を一体加工することにより、ばね１と、アンカー２と、梁３と、質量体４と、アイランド電極７ａ、７ｂと、枠１０とが一体形成されたデバイス層１１が設けられている。この慣性力センサでは、アンカー２とアイランド電極７ａとの電気的接続は、デバイス層１１を一体加工することにより形成されたばね１で行われている。そして、下面基板１２に対するアンカー２の接合面積は、下面基板７ａに対するアイランド電極７ａの接合面積より小さくなっている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加速度や角速度などの慣性力を検出する、温度安定性に優れた容量式の慣性力センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、加速度や角速度などの慣性力を測定する半導体容量型の慣性力センサにおいては、シリコン層の微細立体加工により、慣性力により変位する質量体、質量体を支持する梁、梁を基板に固定するアンカー、質量体の変位を静電容量変化として検出する固定電極、周辺の枠部等からなるセンサ部（センサ素子）が一括形成される（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
かかる従来の慣性力センサでは、シリコンからなるセンサ部を外界から保護するため、該センサ部を形成しているシリコン層の上側及び下側に、それぞれ、シリコン又はガラスからなる基板が接合され、シリコン層が密封されている。そして、シリコン層を密封している上側及び下側の基板のいずれか一方に、外部との電気接続用の貫通穴が設けられ、貫通穴を通り抜けるワイヤボンディングにより、センサ部と外部の信号処理用ＩＣとが接続されている。また、センサ部と信号処理用ＩＣとは、パッド上に固着された後、各リード端子にリード線で電気的に接続され、さらに樹脂でモールドされてパッケージを形成している。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−３２０９０号公報（段落［００８４］、図８）
【特許文献２】
特開平１０−１４８６４２号公報（段落［００１７］、図１）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のこの種の慣性力センサにおいては、梁を支持する一方、下側もしくは上側の基板又は両基板に接合されているアンカー部には、該アンカー部と外部機器とを電気接続するための電極端子が設けられる。なお、前記の基板の貫通穴は、この電極端子を基板外に露出させている。このように、この種の慣性力センサでは、アンカー部に電極端子が付設されるので、アンカー部と基板との接合面積は、かなり大きくなる（例えば、５００×５００μｍ以上）。
【０００６】
しかしながら、このようにアンカー部と基板との接合面積が大きいと、温度変化により該慣性力センサの出力零点が変動するといった問題が生じる。すなわち、シリコン層の上側及び下側に接合された基板が、シリコンとは異なる材料、例えばガラスで形成されている場合、あるいは接合界面にシリコンとは異なる材料が使用されている場合、シリコン層と基板との線膨張係数の差に起因して、アンカー部ないしその周囲に歪みが生じ、アンカー部の位置が温度変化により変位する。
【０００７】
また、シリコン層の上側及び下側に接合される基板の材料としてシリコンを用いた場合、あるいはシリコンと同等の線膨張係数をもつ材料を用いてもセンサ部を取り囲むモールド用の樹脂材料の線膨張係数がシリコンと異なる場合は、温度変化によりセンサ部に応力が発生して、アンカー部ないしその周囲に歪みが生じ、アンカー部の位置が温度により変位する。
【０００８】
このように、アンカー部の位置の変位が生じると、固定電極と質量体に付設された可動電極との間の距離が変わるので、固定電極と可動電極との間の静電容量が変化し、その結果慣性力センサの出力零点がずれてしまうといった問題が生じる。
【０００９】
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたものであって、周囲の温度変化によるアンカー部の歪みないし変位を防止ないし低減することができ、出力零点のずれが生じない温度安定性に優れた慣性力センサを提供することを解決すべき課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた本発明にかかる慣性力センサは、上側及び下側に接合された基板により密封されたデバイス層に、少なくとも一方の基板に固定されたアンカー部と、アンカー部によって支持された梁と、梁によって変位可能に支持される一方可動電極を備えた質量体と、固定電極を備えた固定電極用電極部とが（一体加工により）一体形成され、慣性力に起因する質量体の変位に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量変化により該慣性力を測定するようになっている慣性力センサであって、デバイス層に、基板に固定された可動電極用電極部と、該可動電極用電極部とアンカー部とを電気的に接続するばね構造とが一体形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明のいくつかの実施の形態を具体的に説明する。なお、各実施の形態にかかる慣性力センサは、いずれも、従来は一体であった外部との電気接続用のアイランド電極とアンカー（アンカー部）とを分離して、アンカーと基板との接合面積を小さくし、かつアンカーとアイランド電極とをデバイス層を一体加工することにより形成したばね（ばね構造）で接続し、アイランド電極の温度変化に伴う歪みがアンカーに影響を及ぼさない構造としている。
【００１２】
実施の形態１．
以下、図１（ａ）及び図１（ｂ）を参照しつつ、本発明の実施の形態１にかかる慣性力センサを説明する。図１（ａ）及び図１（ｂ）は、それぞれ、本発明の実施の形態１にかかる慣性力センサの平面図及び断面図である。なお、以下では便宜上、図１（ａ）及び図１（ｂ）における位置関係における左右方向を「横方向」といい、平面視でこれと垂直な方向を「縦方向」という。
【００１３】
まず、この慣性力センサの概略的な構成ないし機能を説明する。図１（ａ）、（ｂ）に示すように、この慣性力センサには、一体加工により、ばね１と、アンカー２と、梁３と、質量体４と、アイランド電極７ａ、７ｂと、枠１０とが一体形成されたデバイス層１１が設けられている。そして、デバイス層１１の下面と上面とには、それぞれ、下面基板１２と上面基板１３とが接合され、デバイス層１１は、両基板１２、１３により密封されている。
【００１４】
アイランド電極７ａは後で説明する可動電極５を外部に電気的に接続するためのもの（可動電極用電極部）であり、アイランド電極７ｂは後で説明する固定電極６を外部に電気的に接続するためのもの（固定電極用電極部）である。そして、各アイランド電極７ａ、７ｂの上面には、それぞれ、外部機器との電気接続のための金属パッド８が付設されている。なお、上面基板１３には、各金属パッド８と対応する位置にそれぞれ貫通穴９が設けられ、各金属パッド８は外部に露出している。図示していないが、各金属パッド８は、貫通穴９を通り抜けるワイヤボンディングを介して外部のＩＣ等に電気的に接続される。
【００１５】
この慣性力センサでは、可動電極用のアイランド電極７ａが２つ設けられ、これらは、質量体４を間にはさむように横方向に配列されている。他方、固定電極用のアイランド電極７ｂも２つ設けられ、これらは、質量体４を間にはさむように縦方向に配列されている。また、ばね１、アンカー２及び梁３は、可動電極用の両アイランド電極７ａに対応して、それぞれ、２つずつ設けられている。ここで、ばね１とアンカー２と梁３とアイランド電極７ａとで構成される２組の構造体（以下、「ばね構造体」という。）は、質量体４をはさんで互いに横方向に面対称となるように配置されている。なお、固定電極用の両アイランド電極７ｂは、質量体４をはさんで互いに縦方向に面対称となるように配置されている。
【００１６】
この慣性力センサでは、アンカー２は下面基板１２に固定（接合）され、アイランド電極７ａ、７ｂ及び枠１０は、両基板１２、１３に固定（接合）されている。なお、ばね１、梁３及び質量体４は、いずれの基板１２、１３にも固定されていない。ここで、各梁３は、それぞれ対応するアンカー２によって支持され、質量体４は２つの梁３によって横方向に変位可能に支持されている。また、各ばね１は、それぞれ対応するアンカー２とアイランド電極７ａとを連結している。そして、アンカー２とアイランド電極７ａとは、対応するばね１によって電気的に接続されている。
【００１７】
縦方向にみて質量体４の両側にはそれぞれ可動電極５が付設されている。他方、固定電極用の各アイランド電極７ｂには、それぞれ固定電極６が付設されている。そして、質量体４の両側では、それぞれ、可動電極５と固定電極６とが横方向に対向している。ここで、慣性力センサに横方向の慣性力が作用すると、該慣性力により質量体４が横方向に変位し、可動電極５と固定電極６との横方向の位置関係（間隔）が変化する。これに伴って、可動電極５と固定電極６との間の静電容量が変化するので、この静電容量変化により該慣性力センサに作用する慣性力を検出することができる。
【００１８】
以下、実施の形態１にかかる慣性力センサのより具体的な構成及び機能を説明する。前記のとおり、この慣性力センサは、下面基板１２に固定・接合されたアンカー２に連結された梁３が、質量体４を横方向に変位可能に支持する構造を有している。そして、慣性力センサに、横方向すなわち質量体４の可動方向の慣性力が加わると、質量体４は、慣性力と梁３の復元力とが釣り合う位置まで変位する。かくして、慣性力センサは、質量体４の横方向の変位量を、可動電極５と固定電極６との間の静電容量変化として捉え、質量体４に加わった慣性力を測定する。
【００１９】
この慣性力センサにおいては、各アイランド電極７ａ、７ｂは、互いに電気的に絶縁されている。そして、質量体４に付設された可動電極５は、順に、梁３と、アンカー２と、ばね１とを介して可動電極用のアイランド電極７ａに電気的に接続されている。なお、アイランド電極７ａは、その上面の金属パッド８と、貫通穴９を通り抜けるワイヤボンディング（図示せず）とを介して、外部のＩＣ等に電気的に接続されている。他方、固定電極用の各アイランド電極７ｂに付設された固定電極６は、該各アイランド電極７ｂと、その上面の金属パッド８と、貫通穴９を通り抜けるワイヤボンディング（図示せず）とを介して、外部のＩＣ等に電気的に接続される。
【００２０】
この慣性力センサでは、前記のとおり、デバイス層１１の下面及び上面は、それぞれ絶縁性の下面基板１２及び上面基板１３で密封され、これによりアンカー２、梁３、質量体４等からなる微細な可動構造体が外界から保護されている。ここで、デバイス層１１（デバイス基板）は、例えば低比抵抗の単結晶シリコンで形成され、下面基板１２及び上面基板１３は、例えば強化ガラスで形成される。
【００２１】
前記のとおり、この慣性力センサでは、アンカー２とアイランド電極７ａとの電気的接続は、デバイス層１１を一体加工することにより形成されたばね１で行われる。そして、下面基板１２に対するアンカー２の接合面積は、下面基板７ａに対するアイランド電極７ａの接合面積より小さくなっている。具体的には、アンカー２と下面基板１２との接合面の面積は、可動電極用のアイランド電極７ａと下面基板１２との接合面の面積の同等以下の範囲で、好ましくは１／５以下で、質量体４を十分堅固に支持することが可能な値に設定されている。
【００２２】
図２は、ばね１は設けず、アンカー２と可動電極用のアイランド電極７ａとを一体形成（固定）したことを除けば、図１（ａ）、（ｂ）に示す慣性力センサと同様の構造を備えた、本発明との比較のための慣性力センサ（比較例）の平面図である。
図３は、図１（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態１にかかる慣性力センサと、図２に示す比較例にかかる慣性力センサとについて、出力零点の温度に対する変化特性を示すグラフである。なお、図３において、実線と破線とは、それぞれ、本発明の実施の形態１にかかる慣性力センサと比較例にかかる慣性力センサとについての変化特性を示している。
【００２３】
一般に、この種の慣性力センサの出力は、可動電極５と固定電極６との間の距離に比例する。したがって、図３に示す温度による出力零点の変動は、可動電極５と固定電極６との相対位置が変動していることを意味する。図３によれば、図２に示す比較例にかかる慣性力センサでは、温度変化によりアイランド電極７ａと一体形成されたアンカー２に歪みが発生し、アンカー２の位置が大きく変位していることが分かる。
【００２４】
なお、アンカー２の歪みないし変位の発生要因は、実質的には次の２種であり、いずれもアンカー２と下面基板１２ないし上側基板１３との接合面積が大きくなるほど、アンカー２の歪みないし変位が大きくなる傾向がある。
（１）デバイス層１１と、下面基板１２ないし上面基板１３との接合界面に発生する歪み。
（２）センサ素子を取り囲むモールド樹脂から発生する歪み。
【００２５】
アンカー２とアイランド電極７ａとが強固に接合されている、図２に示す比較例では、基板１２、１３との接合面積が大きいアイランド電極７ａの温度による歪みがアンカー２にも影響を及ぼす。このため、アンカー２の位置が歪み、ないしは変位し、その結果慣性力センサの出力変動を引き起こす。
【００２６】
これに対して、図１（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態１にかかる慣性力センサでは、ばね１が、温度変化による可動電極用のアイランド電極７ａの歪みを吸収するので、アンカー２の温度の変化による変位が非常に小さくなり、したがって慣性力センサの温度変化に起因する出力変化が従来よりも小さくなる。例えば、図３に示す具体例では、実施の形態１にかかる慣性力センサの零点出力の変化は、アンカー２の構造の相違により、比較例にかかる慣性力センサのそれの１／４以下となる。
【００２７】
さらに、図１（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態１にかかる慣性力センサでは、ばね１が、梁３、質量体４などと一体加工により一体形成されるので、ばね１を設けるための格別のないしは追加のプロセスは不要である。このため、簡便かつ低コストで、慣性力センサの温度変化に対する出力安定性を改善することができる。ここで、例えば、アンカー２と可動電極用のアイランド電極７ａとを別体形成し、これらを上面基板１３上に形成された金属配線で電気的に接続した場合は、実施の形態１と同様に、温度変化に対する出力安定化効果は得られるものの、製造プロセスが複雑化ないしは増加し、製造コストが上昇する。
【００２８】
例えば、デバイス層１１を低比抵抗の単結晶シリコンで形成し、下面基板１２及び上面基板１３を強化ガラスで形成した場合、デバイス層１１と両基板１２、１３とは、陽極接合により密封・接合することができる。この陽極接合は、例えば、強化ガラスからなる基板１２、１３と単結晶シリコンからなるデバイス層１１とを密接させた上で、基板１２、１３側が−５００〜−１０００Ｖとなるように電圧を印加しつつ両者を加熱することにより行うことができる。
【００２９】
なお、デバイス層１１及び基板１２、１３の材料は、上記のものに限定されるものではない。デバイス層１１は、例えば、ポリシリコン、あるいはＮｉなどの金属層で形成されてもよい。また、両基板１２、１３は、例えば、絶縁膜で被覆されたシリコン基板で形成されてもよい。
【００３０】
ばね１の剛性は、温度変化によるアンカー２の歪みを吸収することができさえすれば良いので、厳密な制御は不要であり、例えばばね定数が８０００Ｎ／ｍ以下（０以上）であれば良い。また、ばね１を、上記方向だけでなく、同一面内で他の方向あるいは面外方向にも同様の剛性をもつばね構造とすれば、温度変化に対する出力安定性効果を、より向上させることができる。
【００３１】
また、前記のとおり、２つのばね構造体が、質量体４をはさんで横方向に面対称に配置されているので、両構造体におけるアンカー２の温度変化による歪みないし変位（すでに、大幅に低減されているが）が互いに相殺され、アンカー２全体としての歪みないし変位はさらに小さくなる。
【００３２】
なおデバイス層１１は基板１２、１３により必ずしも密封の必要は無く、例えば基板１２上にデバイス層１１を接合して、基板１３を接合しない状態で、金属パッケージ、セラミックパッケージなどに実装しても、周囲の温度変化によるアンカー２の歪みないし変位をばね１で吸収して、同等の効果を得ることができる。
【００３３】
以上、実施の形態１によれば、周囲の温度変化によるアンカー２の歪みないし変位をばね１で吸収することができ、出力零点のずれが緩和された温度安定性に優れた慣性力センサを得ることができる。
【００３４】
実施の形態２．
以下、図４を参照しつつ、本発明の実施の形態２を説明する。ただし、実施の形態２にかかる慣性力センサは、図１（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態１にかかる慣性力センサと多くの共通点を有するので、説明の重複を避けるため、以下では主として実施の形態１と異なる点を説明する。なお、図４において、図１（ａ）に示す慣性力センサの構成要素と共通の構成要素には、同一の参照番号が付されている。
【００３５】
図４に示すように、実施の形態２にかかる慣性力センサでは、ばね１と、アンカー２と、梁３と、可動電極用のアイランド電極７ａとで構成されるばね構造体が、横方向にみて、質量体４の片側（図４中における位置関係では左側）のみに設けられている。なお、横方向にみて、ばね構造体と反対側（図４中における位置関係では右側）には、質量体４を横方向にみて両側から支持するために、アンカー２と梁３とだけが設けられている。その他の点は、実施の形態１と同様である。
【００３６】
実施の形態２にかかる慣性力センサは、ばね構造体が質量体４の片側にしか設けられていないので、実施の形態１にかかる慣性力センサと比較して、小型化ないしコンパクト化される。なお、この慣性力センサでは、２つのばね構造体が横方向に面対称に配置されていないので、実施の形態１に比べて、アンカー２の温度変化による歪みないし変位の改善効果は若干低下するが、かかる歪みないし変位は、ばね１により十分に低減されているので、とくには不具合は生じない。
【００３７】
ちなみに、図２に示す比較例にかかる慣性力センサでは、各アンカー２における温度変化による歪みないし変位がもともと大きいので、横方向にみて質量体の両側に、梁３と、アンカー２と可動電極用のアイランド電極７ａとが一体形成された構造体とを、面対称に配置して両構造体の歪みないし変位を相殺しないと、温度変化による歪みが非常に大きくなる。
【００３８】
以上、実施の形態２にかかる慣性力センサによれば、基本的には実施の形態１にかかる慣性力センサと同様の作用・効果が得られるほか、該慣性力センサを小型化することができ、かつその製造コストを低減することができる。
【００３９】
実施の形態３．
以下、図５を参照しつつ、本発明の実施の形態３を説明する。ただし、実施の形態３にかかる慣性力センサは、図１（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態１にかかる慣性力センサと多くの共通点を有するので、説明の重複を避けるため、以下では主として実施の形態１と異なる点を説明する。なお、図５において、図１（ｂ）に示す慣性力センサの構成要素と共通の構成要素には、同一の参照番号が付されている。
【００４０】
図５に示すように、実施の形態３にかかる慣性力センサでは、アンカー２とアイランド電極７ａ、ｂとが、上面基板１３のみ（下面基板１２のみでもよい）に接合され、下面基板１２には接合されていない。その他の点は、実施の形態１と同様である。このように、アイランド電極７ａ、７ｂを、片側の基板１３にのみ接合することにより、アイランド電極７ａ、７ｂを両基板１２、１３に接合した慣性力センサに比較して、温度変化による歪みの影響をより軽減することができる。なお、このほか、基本的には、実施の形態１にかかる慣性力センサと同様の作用・効果が得られるのはもちろんである。
【００４１】
実施の形態４．
以下、図６を参照しつつ、本発明の実施の形態４を説明する。ただし、実施の形態４にかかる慣性力センサは、図１（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態１にかかる慣性力センサと多くの共通点を有するので、説明の重複を避けるため、以下では主として実施の形態１と異なる点を説明する。なお、図６において、図１（ａ）に示す慣性力センサの構成要素と共通の構成要素には、同一の参照番号が付されている。
【００４２】
図６に示すように、実施の形態４にかかる慣性力センサでは、縦方向にみて質量体４の両側に配置された各固定電極６が、これと対応する固定電極用のアイランド電極７ｂとは別体形成されたアンカー６ａによって支持されている。ここで、アンカー２と同様に、アンカー６ａは、その下面基板１２との接合面積が、アイランド電極７ｂと下面基板１２との接合面積に比べて小さくなっている。そして、対応するアンカー６ａと固定電極用のアイランド電極７ｂとは、デバイス層１１と一体加工により一体形成されたばね１により結合され、このばね１により電気的に接続されている。その他の点は、実施の形態１と同様である。
【００４３】
以上、実施の形態４にかかる慣性力センサによれば、基本的には実施の形態１にかかる慣性力センサと同様の作用・効果が得られる。さらに、固定電極６ないしアンカー６ａについても、アンカー２と同様に温度変化による歪みないし変位の影響が緩和されるので、慣性力センサの温度変化に対する出力安定性を、より改善することができる。
【００４４】
実施の形態５．
以下、図７（ａ）〜（ｃ）及び図８（ａ）〜（ｃ）を参照しつつ、本発明の実施の形態５を説明する。この実施の形態５は、図１（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態１にかかる慣性力センサの製造方法にかかるものである。なお、図７（ａ）〜（ｃ）又は図８（ａ）〜（ｃ）において、図１（ａ）に示す慣性力センサの構成要素と共通の構成要素には、同一の参照番号が付されている。
【００４５】
図７（ａ）〜（ｃ）及び図８（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態１にかかる慣性力センサを製造する手法の一例を示している。なお、簡単のため、デバイス層１１は単結晶シリコンで形成され、下面基板１２及び上面基板１３はガラスで形成されるものとする。
【００４６】
この慣性力センサの製造方法においては、まず図７（ａ）に示すように、デバイス層１１の下面（裏面）に、フォトリソグラフィとエッチングとを施し、下面溝１４を形成する。続いて、図７（ｂ）に示すように、デバイス層１１の下面に、下面基板１２を陽極接合法などにより接合する。さらに、図７（ｃ）に示すように、デバイス層１１を、所望の厚さ、例えば数十〜百μｍ程度に研磨する。
【００４７】
次に、図８（ａ）に示すように、デバイス層１１の上面に、フォトリソグラフィとエッチングとを施して、上面溝１５を形成する。続いて、図８（ｂ）に示すように、デバイス層１１に、フォトリソグラフとエッチングとにより、デバイス層１１の所定の部位に貫通エッチングを施して、デバイス層１１の主要構成部である、ばね１、アンカー２、梁３（図１（ａ）参照）、質量体４、可動電極５（図１（ａ）参照）、固定電極６（図１（ａ）参照）、アイランド電極７ａ、７ｂ及び枠１０を一体形成する。
【００４８】
この後、図８（ｃ）に示すように、アイランド電極７ａ、７ｂの上面に、金属パッド８をマスク蒸着などで形成する。続いて、デバイス層１１の上面に、陽極接合法などにより、貫通穴９を備えた上面基板１３を接合する。なお、貫通穴９は、金属パッド８と対応する部位に位置する。これにより、実施の形態１にかかる慣性力センサが完成する。
【００４９】
この慣性力センサの製造方法によれば、温度変化に対する出力安定性を改善するためのばね１等は、図８（ｂ）に示す工程で一体形成される。このため、ばね１等を形成するための各別の、ないしは追加の工程は必要とされない。したがって、実施の形態１にかかる慣性力センサを、迅速かつ容易に製造することができ、その製造コストを低減することができる。なお、実施の形態５にかかる慣性力センサの製造方法では、下面溝１４及び上面溝１５はデバイス層１１に形成しているが、下面溝１４と上面溝１５とを、それぞれ、下面基板１２と上面基板１３とに形成してもよい。
【００５０】
実施の形態６．
以下、図９（ａ）〜（ｃ）及び図１０（ａ）〜（ｃ）を参照しつつ、本発明の実施の形態６を説明する。この実施の形態６は、図５に示す実施の形態３にかかる慣性力センサの製造方法にかかるものである。なお、図９（ａ）〜（ｃ）又は図１０（ａ）〜（ｃ）において、図５に示す慣性力センサの構成要素と共通の構成要素には、同一の参照番号が付されている。
【００５１】
図９（ａ）〜（ｃ）及び図１０（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態３にかかる慣性力センサを製造する手法の一例を示している。なお、実施の形態５と同様に、簡単のため、デバイス層１１は単結晶シリコンで形成され、下面基板１２及び上面基板１３はガラスで形成されるものとする。
【００５２】
この慣性力センサの製造方法においては、まず図９（ａ）に示すように、デバイス層１１の上面に、フォトリソグラフィとエッチングとを施し、上面溝１５を形成する。そして、貫通穴９と対応する位置においてデバイス層１１の上面に、すなわちアイランド電極７ａ、ｂが形成されるべき部位に、金属パッド８をマスク蒸着などで形成する。続いて、図９（ｂ）に示すように、デバイス層１１の上面に、貫通穴９が形成された上面基板１３を、陽極接合法などにより接合する。さらに、図９（ｃ）に示すように、デバイス層１１を、所望の厚さ、例えば数十〜百μｍ程度に研磨する。
【００５３】
次に、図１０（ａ）に示すように、デバイス層１１の下面（裏面）に、フォトリソグラフィとエッチングとを施して、下面溝１４を形成する。続いて、図１０（ｂ）に示すように、デバイス層１１に、フォトリソグラフとエッチングとにより、デバイス層１１の所定の部位に貫通エッチングを施して、デバイス層１１の主要構成部である、ばね１、アンカー２、梁３（図１（ａ）参照）、質量体４、可動電極５（図１（ａ）参照）、固定電極６（図１（ａ）参照）、アイランド電極７ａ、７ｂ及び枠１０を一体形成する。
【００５４】
この後、図１０（ｃ）に示すように、デバイス層１１の下面（裏面）に、陽極接合法などにより下面基板１２を接合する。これにより、実施の形態３にかかる慣性力センサが完成する。
【００５５】
この慣性力センサの製造方法によれば、温度変化に対する出力安定性を改善するためのばね１等は、図１０（ｂ）に示す工程で一体形成される。このため、実施の形態５と同様に、ばね１等を形成するための各別の、ないしは追加の工程は必要とされない。したがって、実施の形態３にかかる慣性力センサを、迅速かつ容易に製造することができ、その製造コストを低減することができる。なお、下面溝１４と上面溝１５とを、それぞれ、下面基板１２と上面基板１３とに形成してもよい。
【００５６】
【発明の効果】
本発明にかかる慣性力センサでは、基板に固定された可動電極用電極部とアンカー部とが、デバイス層と一体形成されたばね構造により電気的に接続されているので、周辺部の温度変化によるアンカー部の歪みないし変位の影響がばね構造により吸収される。このためアンカー部の位置変化が解消ないし緩和され、慣性力センサの温度変化に対する出力安定性が大幅に改善され、出力零点の変化が防止ないし低減される。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１にかかる慣性力センサの平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す慣性力センサのＡ−Ａ線断面図である。
【図２】比較例にかかる慣性力センサの平面図である。
【図３】慣性力センサの温度変化に対する出力零点の変化特性を示すグラフである。
【図４】本発明の実施の形態２にかかる慣性力センサの平面図である。
【図５】本発明の実施の形態３にかかる慣性力センサの断面図である。
【図６】本発明の実施の形態４にかかる慣性力センサの平面図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態５にかかる慣性力センサの製造方法の前半部を示す図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態５にかかる慣性力センサの製造方法の後半部を示す図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態６にかかる慣性力センサの製造方法の前半部を示す図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態６にかかる慣性力センサの製造方法の後半部を示す図である。
【符号の説明】
１ばね、２アンカー、３梁、４質量体、５可動電極、６固定電極、６ａアンカー、７アイランド電極、７ａアイランド電極、７ｂアイランド電極、８金属パッド、９貫通穴、１０枠、１１デバイス層、１２下面基板、１３上面基板、１４下面溝、１５上面溝。

Claims

上側基板もしくは下側基板もしくは上下基板に接合されたデバイス層に、少なくとも一方の基板に固定されたアンカー部と、アンカー部によって支持された梁と、梁によって変位可能に支持される一方可動電極を備えた質量体と、固定電極を備えた固定電極用電極部とが一体形成され、慣性力に起因する質量体の変位に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量変化により該慣性力を測定するようになっている慣性力センサであって、
デバイス層に、基板に固定された可動電極用電極部と、該可動電極用電極部とアンカー部とを電気的に接続するばね構造とが一体形成されていることを特徴とする慣性力センサ。
アンカー部と、梁と、ばね構造と、可動電極用電極部とで構成される構造体が２組設けられ、各構造体が質量体をはさんで互いに面対称となるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の慣性力センサ。
アンカー部と、梁と、ばね構造と、可動電極用電極部とで構成される構造体が、質量体の片側のみに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の慣性力センサ。
アンカー部及び可動電極用電極部が、上下両基板のいずれか一方のみに接合されていることを特徴とする請求項１に記載の慣性力センサ。
アンカー部と基板との接合面の面積が、可動電極用電極部と基板との接合面の面積の同等以下の範囲内で、質量体を支持することが可能な大きさに設定されていることを特徴とする請求項１に記載の慣性力センサ。
固定電極と固定電極用電極部とが、デバイス層と一体形成されたばね構造により結合されていることを特徴とする請求項１に記載の慣性力センサ。