JP2012220461A - 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】熱応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることができる加速度検出器、この加速度検出器を備えた加速度検出デバイス及び電子機器の提供。
【解決手段】加速度検出器１は、ベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続された板状の可動部１２と、ベース部１０と可動部１２とに掛け渡された加速度検出素子１３と、を備え、可動部１２は、両主面１２ａ，１２ｂの少なくとも一方に、質量部１５が配置され、可動部１２は、主面１２ａと交差する方向に加わる加速度に応じて、継ぎ手部１１を支点にして主面１２ａと交差する方向に変位可能であり、質量部１５は、主面１２ａ側に突出する凸部１５ａを有し、凸部１５ａには、平面視において質量部１５の重心ｇが収まり、凸部１５ａの先端部が可動部１２の主面１２ａに接合材１６を介して接合されていることを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、加速度検出器、この加速度検出器を備えた加速度検出デバイス及び電子機器に関する。

特許文献１には、一端をベースに固定し、他端に重りを配置した水晶板より成る梁の両面もしくは片面に、梁と同一のカットアングルを有する双音叉振動子を固定した構造の加速度センサーであって、梁の少なくとも片面上に双音叉振動子の両端部を夫々固定支持する一対の突出部を所定間隔をおいて設け、突出部間に双音叉振動子を橋架固定した構成の加速度センサー（以下、加速度検出器という）が開示されている。
また、特許文献２には、ベースと、ベースにヒンジ継ぎ手によって接続され、このヒンジ継ぎ手を回転軸として回動できる振り子型回動質量と、この回動質量をベースに橋渡しするセンサー手段と、を備えた振り子型加速度計（以下、加速度検出器という）が開示されている。

特開平２−２４８８６６号公報 特開平１−３０２１６６号公報

上記特許文献１の加速度検出器は、加わる加速度に応じて重り（以下、質量部という）が梁を撓ませることで、双音叉振動子（以下、加速度検出素子という）に引っ張り応力や圧縮応力が加わることによる、加速度検出素子の共振周波数の変化によって加速度を検出する構成となっている。
しかしながら、上記加速度検出器は、梁の他端に配置された質量部が、例えば、接着剤などの接合材で梁の両面に広範囲に亘って接着されている構成となっている。

これにより、上記加速度検出器は、上記梁と質量部との接合部において、梁と質量部と接合材との熱膨張係数（熱膨張率）の違いにより熱応力が発生する。
この結果、上記加速度検出器は、上記梁に熱応力に伴う歪みが生じることにより、加速度検出素子には、加速度に応じて生じる引っ張り応力や圧縮応力とは別に、上記歪みに起因する応力が加わることになり、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性が劣化する虞がある。

また、上記特許文献２の加速度検出器は、加わる加速度に応じて回動質量（以下、可動部という）が回動（以下、変位という）することで、センサー手段（以下、加速度検出素子という）に引っ張り応力や圧縮応力が加わることによる、加速度検出素子の共振周波数の変化によって加速度を検出する構成となっている。

上記加速度検出器は、可動部の変位の規制が、加速度検出器を収容する容器（以下、パッケージという）によって行われている。つまり、加速度検出器は、自身には可動部の変位を規制する構成要素が一切ないことから、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に衝突するまで変位可能な構成となっている。
このように、上記加速度検出器は、可動部の変位の規制が外部部材であるパッケージに依存することから、可動部（加速度検出素子）とパッケージの内面との隙間に関わる数々の寸法公差要因（例えば、パッケージを構成する各部品の寸法ばらつきや、パッケージへの加速度検出器の固定位置のばらつきなど）によって、可動部とパッケージの内面との隙間が、設定値に対して大きくばらつく虞がある。

このことから、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より大きい場合、加わる加速度の大きさによっては、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に激しく衝突して破損する虞がある。
また、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より更に大きい場合、加わる加速度の大きさによっては、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に衝突しなくても、強度の限界を超える変位により破損する虞がある。
一方、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より小さい場合、可動部の変位範囲が設定より小さくなることから、設定された加速度検出範囲を満足できない虞がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる加速度検出器は、ベース部と、該ベース部に継ぎ手部を介して接続された板状の可動部と、前記ベース部と前記可動部とに掛け渡された加速度検出素子と、を備え、前記可動部は、両主面の少なくとも一方に質量部が配置され、前記可動部は、前記主面と交差する方向に加わる加速度に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記主面と交差する方向に変位可能であり、前記質量部は、前記主面側に突出する凸部を有し、前記凸部の先端部が前記可動部の前記主面に接合材を介して接合されていることを特徴とする。

これによれば、加速度検出器は、質量部が主面側に突出する凸部を有し、凸部の先端部が可動部の主面に接合材を介して接合されている。
したがって、加速度検出器は、従来のような、質量部が接着剤などの接合材で梁（可動部に相当）の両面に広範囲に亘って接着されている構成と比較して、質量部の接合範囲を狭くできることから、熱応力に伴う可動部の歪みを抑制することができる。
この結果、加速度検出器は、上記歪みに起因する応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることができる。

［適用例２］上記適用例にかかる加速度検出器において、平面視で前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位を有した支持部を更に備え、前記質量部は、平面視において一部が前記支持部と重なるように配置され、前記質量部と前記支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間が設けられていることが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、ベース部から延びる支持部を更に備え、平面視において、質量部の一部が支持部と重なるように配置され、質量部と支持部とが重なる領域の両者間に隙間が設けられている。
このことから、加速度検出器は、加速度に応じて変位する可動部の変位を、可動部の主面に配置された質量部が隙間分変位したところで支持部と接触することによって、所定の範囲内に規制することができる。
この結果、加速度検出器は、自身に可動部の変位を規制する構成要素（以下、ストッパーという）を設けたことから、外部部材であるパッケージに依存することなく、可動部の変位を自身で規制することが可能となる。
したがって、加速度検出器は、例えば、パッケージの内面と加速度検出器との隙間を、質量部と支持部との隙間よりも十分に大きく設定することが可能となり、従来のような、パッケージの内面との衝突や強度の限界を超える変位による、可動部や加速度検出素子の破損を回避することができる。

加えて、加速度検出器は、質量部と支持部との間の隙間のばらつきに、例えば、パッケージなどの外部部材の寸法ばらつき（寸法公差）が、ばらつき要因として加わることがない。
このことから、加速度検出器は、質量部と支持部との隙間のばらつきを、従来のパッケージの内面と加速度検出器との隙間のばらつきよりも小さくすることが可能となる。
これにより、加速度検出器は、従来のような、可動部の変位が設定より狭い範囲に規制され、設定された加速度検出範囲を満足できないという不具合を回避することができる。

また、加速度検出器は、自身に可動部の変位を規制するストッパーを設けたことから、前述の従来構成では不可能であった、可動部の変位の規制具合を、例えば、パッケージなどの外部部材に収容する前に確認することができる。
これにより、加速度検出器は、従来と比較して、良品率が格段に向上し、実使用時における破損などの不具合を低減することができる。

［適用例３］上記適用例２にかかる加速度検出器において、前記支持部は、平面視において、前記ベース部とによって前記可動部を囲む枠状に形成されていることが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、平面視において、支持部がベース部とによって可動部を囲む枠状に形成されていることから、例えば、支持部が可動部の両側に分割されている場合と比較して、支持部における質量部の接触時（衝突時）の強度（耐衝撃性）を向上させることができる。
加えて、加速度検出器は、平面視において、支持部がベース部とによって可動部を囲む枠状に形成されていることから、例えば、支持部が可動部の両側に分割されている場合と比較して、形状がゆがむことなく安定した状態で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。
これにより、加速度検出器は、例えば、パッケージなどの外部部材に固定する際の質量部と支持部との隙間のばらつきの変化を抑制することができる。

［適用例４］上記適用例２または適用例３にかかる加速度検出器において、前記支持部は、３つ以上の固定部を有し、平面視において、隣り合う前記固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、前記加速度検出器の重心が位置することが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、支持部が３つ以上の固定部を有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、加速度検出器の重心が位置する。
このことから、加速度検出器は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。

［適用例５］上記適用例２または適用例３にかかる加速度検出器において、前記支持部は、２つの固定部を有し、平面視において、２つの前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、支持部が２つの固定部を有し、平面視において、２つの固定部同士を結んだ直線上に、加速度検出器の重心が位置する。
このことから、加速度検出器は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。

［適用例６］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記接合材は、シリコーン系樹脂を含む接着剤であることが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、接合材がシリコーン系樹脂を含む接着剤であることから、シリコーン系樹脂の弾性により質量部と支持部との接触時（衝突時）の衝撃力を緩和及び吸収することができる。
この結果、加速度検出器は、質量部と支持部との接触時の損傷を低減することができ、耐衝撃性能を向上させることが可能となる。

［適用例７］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記加速度検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定されたことが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、加速度検出素子が少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、基部の一方がベース部に固定され、基部の他方が可動部に固定されている。
このことから、加速度検出器は、例えば、加わる加速度による可動部の変位に応じて振動梁が伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による振動梁の振動周波数の変化を加速度に変換するという構成が可能となる。
加速度検出器の可動部の変位を自身で規制する本構成は、この振動梁を備えた加速度検出素子に対する衝撃を緩和し、加速度検出素子の破損を回避するという観点において、より効果的であるといえる。

［適用例８］本適用例にかかる加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器と、前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。

これによれば、加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器と、加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことから、上記適用例のいずれか一項に記載の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。

［適用例９］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする。

これによれば、電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器を備えたことから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を奏する電子機器を提供することができる。

第１実施形態の加速度検出器の部分展開模式斜視図。 第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。 加速度検出器の動作について説明する模式断面図であり、（ａ）は可動部が−Ｚ方向に変位した状態を示し、（ｂ）は可動部が＋Ｚ方向に変位した状態を示す。 変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図、（ｃ）は（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図。 第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）はリッド（蓋体）側から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図。 第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図。 傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
最初に、加速度検出器の一例について説明する。
図１は、第１実施形態の加速度検出器の部分展開模式斜視図である。図２は、第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図２（ａ）は、平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。

図１、図２に示すように、加速度検出器１は、平板状のベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続された矩形平板状の可動部１２と、ベース部１０と可動部１２とに掛け渡された加速度検出素子１３とを備えている。
そして、加速度検出器１は、平面視において、ベース部１０から可動部１２の両側に沿って延び、ベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されている平板状の支持部１４、を備えている。

可動部１２は、平板の表裏面に相当する両主面１２ａ，１２ｂに、平面視において、一部が支持部１４と重なる一対の質量部（重り）１５が配置されている。質量部１５は、接合材１６を介して主面１２ａ，１２ｂに接合されている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて一体で略平板状に形成されている。なお、可動部１２と支持部１４との間には、両者を分割するスリット状の孔が設けられている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。

継ぎ手部１１は、両主面１２ａ，１２ｂ側からのハーフエッチングによって、ベース部１０と可動部１２とを区切るように、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って有底の溝部１１ａが形成されている。
溝部１１ａにより、継ぎ手部１１のＹ軸方向に沿った断面形状（図２（ｂ）の形状）は、略Ｈ字状に形成されている。
この継ぎ手部１１により、可動部１２は、主面１２ａ（１２ｂ）と交差する方向（Ｚ軸方向）に加わる加速度に応じて、継ぎ手部１１を支点（回転軸）にして主面１２ａと交差する方向（Ｚ軸方向）に変位（回動）可能となっている。

質量部１５は、可動部１２の主面１２ａ（１２ｂ）側に突出する円柱状（円板状）の凸部１５ａを有し、凸部１５ａには、平面視において質量部１５の重心ｇが収まり、凸部１５ａの先端部が、可動部１２の主面１２ａ（１２ｂ）に接合材１６を介して接合されている。
なお、凸部１５ａは、熱応力の抑制の観点から、可動部１２への接合に必要な面積を確保しつつ、平面サイズを極力小さくすることが好ましい。
質量部１５は、加速度検出器１の感度向上を図るべく平面サイズを極力大きくするために、可動部１２における継ぎ手部１１側とは反対側の自由端側から、加速度検出素子１３を避けて二股状で継ぎ手部１１近傍まで延び、平面視において、略Ｕ字状に形成されている。
質量部１５には、例えば、Ｃｕ、Ａｕなどの金属に代表される比較的比重の大きい材料が用いられている。
接合材１６には、弾性に優れたシリコーン系樹脂（変成シリコーン樹脂など）を含む接着剤として、例えば、シリコーン系熱硬化型接着剤が用いられている。

加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂ（図２（ａ）のハッチング部分）では、図２（ｂ）に示すように、質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられている。本実施形態では、隙間Ｃを凸部１５ａの厚さ（突出高さ）で管理している。

加速度検出素子１３は、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる少なくとも一以上（ここでは２本）の角柱状であって、Ｘ軸方向に屈曲振動をする振動梁１３ａ，１３ｂを有する加速度検出部１３ｃと、加速度検出部１３ｃの両端に接続された一対の基部１３ｄ，１３ｅと、を備えている。
加速度検出素子１３は、２本の振動梁１３ａ，１３ｂと一対の基部１３ｄ，１３ｅとで二組の音叉を構成することから、双音叉素子（双音叉型振動片）とも呼ばれている。
加速度検出素子１３は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、加速度検出部１３ｃと基部１３ｄ，１３ｅとが一体で略平板状に形成されている。また、加速度検出素子１３の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。

加速度検出素子１３は、一方の基部１３ｄが可動部１２の主面１２ａ側に、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なＡｕ／Ｓｎ合金被膜などの接合部材１７を介して固定され、他方の基部１３ｅがベース部１０の主面１０ａ側（可動部１２の主面１２ａと同じ側）に接合部材１７を介して固定されている。
なお、加速度検出素子１３と、ベース部１０の主面１０ａ及び可動部１２の主面１２ａとの間には、可動部１２の変位時に加速度検出素子１３とベース部１０及び可動部１２とが互いに接触しないように、所定の隙間が設けられている。この隙間は、本実施形態では、接合部材１７の厚さで管理されている。
具体的には、例えば、ベース部１０及び可動部１２と加速度検出素子１３との間に、所定の隙間に相当する厚さに形成されたスペーサーを挟んだ状態で、ベース部１０及び可動部１２と加速度検出素子１３とを接合部材１７によって固定することで、隙間を所定の範囲内に管理することができる。

加速度検出素子１３は、振動梁１３ａ，１３ｂの図示しない励振電極（駆動電極）から基部１３ｅに引き出された引き出し電極１３ｆ，１３ｇが、例えば、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー１８によって、ベース部１０の主面１０ａに設けられた接続端子１０ｂ，１０ｃと接続されている。
詳述すると、引き出し電極１３ｆは、接続端子１０ｂと接続され、引き出し電極１３ｇは、接続端子１０ｃと接続されている。
ベース部１０の接続端子１０ｂ，１０ｃは、図示しない配線によって支持部１４の外部接続端子１４ｅ，１４ｆと接続されている。詳述すると、接続端子１０ｂは、外部接続端子１４ｅと接続され、接続端子１０ｃは、外部接続端子１４ｆと接続されている。
なお、励振電極、引き出し電極１３ｆ，１３ｇ、接続端子１０ｂ，１０ｃ、外部接続端子１４ｅ，１４ｆは、例えば、Ｃｒを下地層とし、その上にＡｕが積層された構成となっている。

支持部１４は、パッケージ、基板などの外部部材に固定される部分である複数（ここでは４箇所）の固定部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内（例えば、図２（ａ）の２点鎖線で囲んだ範囲内のように、隣り合う固定部同士を結ぶ互いに交差し合わない線にて囲まれた範囲内）に、加速度検出器１の重心Ｇが位置するように固定部１４ａ〜１４ｄが配置されている。
なお、固定部が２箇所の場合には、固定部同士を結んだ直線上に重心Ｇが位置するように２箇所の固定部が配置されていればよい。
また固定部１４ｂ、１４ｃは、ベース部１０に形成されていてもよい。

ここで、加速度検出器１の動作について説明する。
図３は、加速度検出器の動作について説明する模式断面図である。図３（ａ）は、可動部が紙面下方（−Ｚ方向）に変位した状態を示し、図３（ｂ）は、可動部が紙面上方（＋Ｚ方向）に変位した状態を示す。

図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋αに応じた慣性力によって、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして−Ｚ方向に変位した場合、加速度検出素子１３には、Ｙ軸方向に基部１３ｄと基部１３ｅとが互いに離れる方向の引っ張り力が加わり、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂに引っ張り応力が生じる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、巻き上げられた弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂの振動周波数（以下、共振周波数ともいう）が高くなる方に変化する。

一方、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−αに応じた慣性力によって、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして＋Ｚ方向に変位した場合、加速度検出素子１３には、Ｙ軸方向に基部１３ｄと基部１３ｅとが互いに近づく方向の圧縮力が加わり、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂに圧縮応力が生じる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、巻き戻された弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂの共振周波数が低くなる方に変化する。

加速度検出器１は、この共振周波数の変化を検出している。Ｚ軸方向に加わる加速度（＋α、−α）は、この検出された共振周波数の変化の割合に応じて、ルックアップテーブルなどによって定められた数値に変換することで導出される。

ここで、図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−αが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の主面１２ａに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４に接触する。
これにより、加速度検出器１は、加速度＋αに応じて−Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。

一方、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋αが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の主面１２ｂに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４に接触する。
これにより、加速度検出器１は、加速度−αに応じて＋Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。

上述したように、第１実施形態の加速度検出器１は、質量部１５が可動部１２の主面１２ａ（１２ｂ）側に突出する凸部１５ａを有し、凸部１５ａには、平面視において質量部１５の重心ｇが収まり、凸部１５ａの先端部が可動部１２の主面１２ａ（１２ｂ）に接合材１６を介して接合されている。
したがって、加速度検出器１は、従来のような、質量部（重り）が接着剤などの接合材で梁の両面に広範囲に亘って接着されている構成と比較して、質量部１５の姿勢のバランスを取りつつ、質量部１５の接合範囲を狭くできることから、周囲の温度変化に起因する熱応力に伴う可動部１２の歪みを抑制することができる。
この結果、加速度検出器１は、上記歪みに起因する応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることができる。

また、加速度検出器１は、可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに、平面視において、一部が支持部１４と重なる質量部１５が配置され、可動部１２がＺ軸方向に加わる加速度（＋α、−α）に応じて継ぎ手部１１を支点にしてＺ軸方向に変位可能であり、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂにおける質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられている。
このことから、加速度検出器１は、加速度に応じてＺ軸方向に変位する可動部１２の変位を、可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに固定された質量部１５が隙間Ｃ分変位して支持部１４と接触することによって、所定の範囲内に規制することができる。

この結果、加速度検出器１は、自身に可動部１２の変位を規制するストッパーを設けたことから、例えば、外部部材であるパッケージに依存することなく可動部１２の変位を自身で規制することが可能となる。
したがって、加速度検出器１は、例えば、外部部材であるパッケージの内面と加速度検出器１との隙間を、質量部１５と支持部１４との隙間Ｃよりも十分に大きく設定することが可能となり、従来のような、パッケージの内面との衝突や強度の限界を超える変位による、可動部１２や加速度検出素子１３の破損を回避することができる。

加えて、加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４との間の隙間Ｃのばらつきに、例えば、パッケージなどの外部部材の寸法ばらつき（寸法公差）が、ばらつき要因として加わることがない。
このことから、加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４との隙間Ｃのばらつきを、従来のパッケージ内面と加速度検出器との隙間のばらつきよりも小さくすることが可能となる。
これにより、加速度検出器１は、従来のような、可動部１２の変位が設定より狭い範囲に規制され、設定された加速度検出範囲を満足できないという不具合を回避することができる。

また、加速度検出器１は、自身に可動部１２の変位を規制するストッパーを設けたことから、前述の従来構成では不可能であった、可動部１２の変位の規制具合を、例えば、パッケージなどの外部部材に収容する前に確認することができる。
これにより、加速度検出器１は、従来と比較して、良品率が格段に向上し、実使用時における破損などの不具合を低減することができる。

また、加速度検出器１は、平面視において、支持部１４がベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されていることから、例えば、後述する変形例のような、支持部１４が可動部１２の両側に分割されている場合と比較して、支持部１４における質量部１５の接触時（衝突時）の強度（耐衝撃性）を向上させることができる。

加えて、加速度検出器１は、平面視において、支持部１４がベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されていることから、例えば、支持部１４が可動部１２の両側に分割されている場合と比較して、支持部１４を形状がゆがむことなく安定した状態で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、パッケージなどの外部部材への固定時における質量部１５と支持部１４との隙間Ｃの変化を抑制することができる。換言すれば、加速度検出器１は、可動部１２の変位を規制する規制範囲の変化を抑制することができる。

また、加速度検出器１は、支持部１４が４箇所に固定部１４ａ〜１４ｄを有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、加速度検出器１の重心Ｇが位置するように固定部１４ａ〜１４ｄが配置されている。
このことから、加速度検出器１は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定可能である。
なお、加速度検出器１は、固定部が２箇所の場合には、固定部同士を結んだ直線上に重心Ｇが位置するように２箇所の固定部が配置されていれば、同様の効果を奏することができる。

また、加速度検出器１は、接合材１６がシリコーン系樹脂を含む接着剤としてのシリコーン系熱硬化型接着剤であることから、シリコーン系樹脂の弾性により質量部１５と支持部１４との接触時（衝突時）の衝撃力を緩和及び吸収することができる。
この結果、加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４との接触時の損傷を低減することができ、耐衝撃性能を向上させることが可能となる。

また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３が、Ｙ軸方向に沿って延びる２本の振動梁１３ａ，１３ｂを有する加速度検出部１３ｃと、加速度検出部１３ｃの両端に接続された一対の基部１３ｄ，１３ｅと、を備え、一方の基部１３ｄが可動部１２に固定され、他方の基部１３ｅがベース部１０に固定されている。
これによって、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度による可動部１２のＺ軸方向の変位に応じて振動梁１３ａ，１３ｂがＹ軸方向に伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による共振周波数の変化を加速度に変換するという検出感度の高い構成が可能となっている。
加速度検出器１の可動部１２のＺ軸方向の変位を自身で規制する本構成は、この振動梁１３ａ，１３ｂを備えた加速度検出素子１３に対する衝撃を緩和し、加速度検出素子１３の破損を回避するという観点において、より効果的であるといえる。

なお、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度が一方向のみ（＋αのみ、または−αのみ）の場合には、支持部１４に接触しない方の質量部１５は、平面視において支持部１４と重ならない形状としてもよく、質量部１５そのものを除去してもよい。
また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３を可動部１２の主面１２ａ側に代えて、主面１２ｂ側に備えてもよく、主面１２ａ側及び主面１２ｂ側の両方に備えてもよい。
また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３の引き出し電極１３ｆ，１３ｇが、ベース部１０の接続端子１０ｂ，１０ｃと、金属ワイヤー１８に代えて導電性接着剤で接続されていてもよい。
なお、これらの付帯事項は、以下の変形例にも適用可能である。

（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
図４は、第１実施形態の変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図４（ａ）は、平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図、図４（ｃ）は、図４（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
また、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図４に示すように、加速度検出器２は、支持部１１４における可動部１１２の自由端側（−Ｙ側）の、第１実施形態ではＸ軸方向に延びて繋がっていた部分が、Ｙ軸方向からＸ軸方向に屈曲した根元部分を残して切り取られ、支持部１１４が可動部１１２の＋Ｘ側と−Ｘ側との２つに分割されている。
また、加速度検出器２は、支持部１１４の切り取られたスペースに可動部１１２の自由端側が延在している。

加速度検出器２は、可動部１１２の上記延在した部分に加速度検出素子１１３が配置可能なように、質量部１１５が＋Ｘ側と−Ｘ側との２つに分割されている。そして、可動部１１２の主面１１２ａ側では、２つに分割された質量部１１５が、加速度検出素子１１３を＋Ｘ側と−Ｘ側とから挟むように配置されている。
なお、質量部１１５は、可動部１１２の主面１１２ｂ側でも２つに分割され、平面視において、主面１１２ａ側と重なるように配置されている。
質量部１１５は、可動部１１２の主面１１２ａ（１１２ｂ）側に突出する円柱状（円板状）の凸部１１５ａを有し、凸部１１５ａには、平面視において質量部１１５の重心ｇが収まり、凸部１１５ａの先端部が、可動部１１２の主面１１２ａ（１１２ｂ）に接合材１６を介して接合されている。

質量部１１５の一部は、平面視において、支持部１１４における可動部１１２の自由端側のＹ軸方向からＸ軸方向に屈曲した部分（先端部分）と重なっている（図４（ａ）のハッチング部分、領域Ｂ）。
質量部１１５と支持部１１４とが重なる領域Ｂでは、図４（ｃ）に示すように、質量部１１５と支持部１１４との間に隙間Ｃが設けられている。
なお、加速度検出器２の動作については、第１実施形態に準じるので説明を省略する。

上記構成により、加速度検出器２は、加速度検出素子１１３の基部１３ｅを第１実施形態と同じ位置に、基部１３ｄを可動部１１２の自由端側の端部に移動させて配置することができる。
このことから、加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子１１３の加速度検出部１１３ｃの振動梁１１３ａ，１１３ｂを第１実施形態よりも長くすることが可能となる。

上述したように、変形例の加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子１１３の振動梁１１３ａ，１１３ｂを第１実施形態よりも長くすることが可能なことから、加速度による可動部１１２の僅かな変位でも振動梁１１３ａ，１１３ｂが伸縮しやすくなり、共振周波数の変化が発生しやすくなる。
この結果、加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度の検出感度を向上させることができる。

（第２実施形態）
次に、上記第１実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた加速度検出デバイスについて説明する。
図５は、第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図である。図５（ａ）は、リッド（蓋体）側から俯瞰した平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、各配線は省略してある。
なお、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図５に示すように、加速度検出デバイス３は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１と、加速度検出器１を収容するパッケージ２０と、を備えている。
パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部を有したパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部を覆う平面形状が略矩形で平板状のリッド２２と、を有し、略直方体形状に形成されている。
パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。
リッド２２には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。

パッケージベース２１には、内底面（凹部の内側の底面）２３の外周部分から凹部の内壁に沿って突出した２箇所の段差部２３ａに、内部端子２４，２５が設けられている。
内部端子２４，２５は、加速度検出器１の支持部１４に設けられた外部接続端子１４ｅ，１４ｆと対向する位置（平面視において重なる位置）に設けられている。なお、外部接続端子１４ｅは、ベース部１０の接続端子１０ｂと接続され、外部接続端子１４ｆは、ベース部１０の接続端子１０ｃと接続されている。
なお、外部接続端子１４ｅ，１４ｆは、支持部１４の固定部１４ｂ，１４ｃと平面視において重なる位置に設けられているのが好ましい。

パッケージベース２１の外底面（内底面２３の反対側の面、外側の底面）２６には、電子機器などの外部部材に実装される際に用いられる一対の外部端子２７，２８が形成されている。
外部端子２７，２８は、図示しない内部配線によって内部端子２４，２５と接続されている。例えば、外部端子２７は、内部端子２４と接続され、外部端子２８は、内部端子２５と接続されている。
内部端子２４，２５及び外部端子２７，２８は、Ｗなどのメタライズ層にＮｉ、Ａｕなどの各被膜をメッキなどの方法により積層した金属膜からなる。

パッケージベース２１には、凹部の底部にパッケージ２０の内部を封止する封止部２９が設けられている。
封止部２９は、パッケージベース２１に形成された、外底面２６側の孔径が内底面２３側の孔径より大きい段付きの貫通孔２９ａに、Ａｕ／Ｇｅ合金、ハンダなどからなる封止材２９ｂを投入し、加熱溶融後、固化させることでパッケージ２０の内部を気密に封止する構成となっている。

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１の支持部１４の固定部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが、接着剤３０を介して、パッケージベース２１の段差部２３ａに固定されている。
ここで、固定部１４ｂ，１４ｃが外部接続端子１４ｅ，１４ｆと内部端子２４，２５とを接続する部分であることから、接着剤３０には、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤（例えば、シリコーン系導電性接着剤）が用いられている。なお、固定部１４ａ，１４ｄの固定には、金属フィラーなどの導電性物質を含まない接着剤（例えば、シリコーン系接着剤）を用いてもよい。

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１がパッケージベース２１の内部端子２４，２５と接続された状態で、パッケージベース２１の凹部がリッド２２により覆われ、パッケージベース２１とリッド２２とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２２ａで接合される。
加速度検出デバイス３は、リッド２２の接合後、パッケージ２０の内部が減圧された状態（真空度の高い状態）で、封止部２９の貫通孔２９ａに封止材２９ｂが投入され、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ２０の内部が気密に封止される。
なお、パッケージ２０の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。
なお、パッケージは、パッケージベース及びリッドの両方に凹部を有していてもよい。

加速度検出デバイス３は、外部端子２７，２８、内部端子２４，２５、外部接続端子１４ｅ，１４ｆ、接続端子１０ｂ，１０ｃなどを経由して加速度検出器１の励振電極に印加される駆動信号によって、加速度検出器１の振動梁１３ａ，１３ｂが所定の周波数で発振（共振）する。
そして、加速度検出デバイス３は、加わる加速度に応じて変化する加速度検出器１の共振周波数を出力信号として出力する。

上述したように、第２実施形態の加速度検出デバイス３は、加速度検出器１を備えたことから、上記第１実施形態に記載された効果を奏する加速度検出デバイス（例えば、熱応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることが可能な加速度検出デバイス）を提供することができる。
なお、加速度検出デバイス３は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を備えた場合においても、上記と同様の効果及び加速度検出器２の特有の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。

（第３実施形態）
次に、上記実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた電子機器としての傾斜計について説明する。
図６は、第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図である。図７は、傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図である。
図６、図７に示すように、傾斜計４は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１を、傾斜センサーモジュール５の傾斜センサーとして備えている。
図７に示すように、傾斜センサーモジュール５は、ベース基板２０１と、断熱基板２０２と、基台２０３と、加速度検出器１を備えた加速度検出デバイス３と、発振器２０４と、キャップ２０５と、を備え、傾斜計４の内部に収容されている。

矩形平板状のベース基板２０１には、例えば、ＦＲ−４（ガラス布入りエポキシ樹脂基板）が用いられ、搭載された回路素子２０１ａによって、加速度検出デバイス３や発振器２０４に関わる周辺回路が構成されている。また、ベース基板２０１には、外部（傾斜計本体）との入出力のための端子２０１ｂや、傾斜計本体への取り付け孔２０１ｃが形成されている。
矩形平板状の断熱基板２０２は、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＬＣＰ（液晶ポリマー）などの低熱伝導率で耐熱性、電気特性、寸法安定性などに優れた樹脂が用いられ、厚み方向に貫通して固定されている細いピン状（棒状）の複数の接続ピン２０２ａによって、ベース基板２０１に隙間を有して接続されている。
基台２０３は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金などの金属を用いて、削り出しまたは板金加工により略直方体形状に形成され、断熱基板２０２に、例えば、接着剤などで固定されている。なお、基台２０３には、上記の樹脂や酸化アルミニウム質焼結体（セラミック類）などを用いてもよい。

加速度検出デバイス３及び発振器２０４は、基台２０３の側面（断熱基板２０２に対して直立する面）に、例えば、導電性接着剤などによって固定されている。２つの加速度検出デバイス３は、基台２０３における隣り合う直角に接続された側面にそれぞれ固定されている。これにより、傾斜センサーモジュール５は、互いに直交する２軸に対する傾斜を検出することができる。
発振器２０４は、基台２０３における一方の加速度検出デバイス３が固定された側面と対向する側面（換言すれば、他方の加速度検出デバイス３が固定された側面と隣り合う側面）に固定されている。
加速度検出デバイス３及び発振器２０４は、リード線２０６によって断熱基板２０２の接続ピン２０２ａに接続され、接続ピン２０２ａを経由してベース基板２０１に接続されている。

なお、一方の加速度検出デバイス３の外側には、周辺の温度を検知するサーミスター３ａ（温度センサー）が備えられている。サーミスター３ａは、周辺の温度を検知して、加速度検出デバイス３及び発振器２０４の周波数特性の温度補償（温度補正）をする際の、温度検知手段として設けられている。
サーミスター３ａは、上記加速度検出デバイス３及び発振器２０４と同様に、リード線２０６によって断熱基板２０２の接続ピン２０２ａに接続され、接続ピン２０２ａを経由してベース基板２０１に接続されている。
発振器２０４は、加速度検出時における加速度検出デバイス３（加速度検出器１）の共振周波数と比較する比較回路の基準周波数（基準共振周波数）発振源として備えられている。

ベース基板２０１側に開口部を備えた箱状のキャップ２０５には、断熱基板２０２と同様に低熱伝導率の樹脂（ＰＢＴ、ＡＢＳ、ＰＣなど）が用いられ、ベース基板２０１上の断熱基板２０２、基台２０３、加速度検出デバイス３、サーミスター３ａ、発振器２０４、回路素子２０１ａなどを覆うようにベース基板２０１に固定されている。

これらの構成により、傾斜センサーモジュール５は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス３への到達を遅延させることができる。詳述すると、ベース基板２０１からの接触による熱伝導は、細いピン状の接続ピン２０２ａや低熱伝導率の樹脂が用いられた断熱基板２０２により遅延され、加速度検出デバイス３の周辺の大気の対流や、外部部材の放射熱（輻射熱）による熱伝導は、低熱伝導率の樹脂が用いられたキャップ２０５による外気及び放射熱源からの遮断によって遅延される。
このように、傾斜センサーモジュール５は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス３への到達を遅延させることで、加速度検出デバイス３の温度変化をなだらかにすることが可能となることから、加速度検出デバイス３（加速度検出器１）の、例えば、加速度検出精度などの加速度検出特性を良好な状態に維持することができる。

図６に戻って、傾斜計４は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計４は、外部からケーブル４０を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって傾斜センサーモジュール５（加速度検出器１）に駆動信号が送られている。
そして、傾斜計４は、図示しない検出回路によって、傾斜センサーモジュール５（加速度検出器１）に加わる重力加速度に応じて変化する共振周波数から、傾斜計４の姿勢の変化（傾斜計４に対する重力加速度が加わる方向の変化）を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線またはケーブル４０などで基地局にデータ転送する。これにより、傾斜計４は、日常の管理や異常の早期発見に貢献することができる。
なお、傾斜計４は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を傾斜センサーとして備えていてもよい。また、質量部１５，１１５に凸部１５ａ，１１５ａが一体化された構成の方が、質量部１５，１１５と可動部１２、１１２との搭載位置ズレによって搭載質量部の重心と凸部との位置関係が個体間でばらつくことはないが、このような心配が無い場合であれば、傾斜センサーモジュール５に用いられる加速度検出器１，２は、質量部１５，１１５に凸部１５ａ，１１５ａがなくてもよい。

上述した加速度検出器１，２は、上記傾斜計に限らず、地震計、ナビゲーション装置、姿勢制御装置、ゲームコントローラー、携帯電話などの加速度センサー、傾斜センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態及び変形例で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。

なお、上記各実施形態及び変形例において、ベース部、継ぎ手部、可動部、支持部の材料は、水晶に限定するものではなく、ガラス、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。
また、加速度検出素子の基材は、水晶に限定するものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ₂Ｂ₄Ｏ₇）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料を被膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。

１，２…加速度検出器、３…加速度検出デバイス、４…電子機器としての傾斜計、５…傾斜センサーモジュール、１０…ベース部、１０ａ…主面、１０ｂ，１０ｃ…接続端子、１１…継ぎ手部、１１ａ…溝部、１２…可動部、１２ａ，１２ｂ…主面、１３…加速度検出素子、１３ａ，１３ｂ…振動梁、１３ｃ…加速度検出部、１３ｄ，１３ｅ…基部、１３ｆ，１３ｇ…引き出し電極、１４…支持部、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ…固定部、１４ｅ，１４ｆ…外部接続端子、１５…質量部、１５ａ…凸部、１６…接合材、１７…接合部材、１８…金属ワイヤー、２０…パッケージ、２１…パッケージベース、２２…リッド、２２ａ…接合部材、２３…内底面、２３ａ…段差部、２４，２５…内部端子、２６…外底面、２７，２８…外部端子、２９…封止部、２９ａ…貫通孔、２９ｂ…封止材、３０…接着剤、４０…ケーブル、１１２…可動部、１１２ａ，１１２ｂ…主面、１１３…加速度検出素子、１１３ａ，１１３ｂ…振動梁、１１３ｃ…加速度検出部、１１４…支持部、１１５…質量部、１１５ａ…凸部、２０１…ベース基板、２０１ａ…回路素子、２０１ｂ…端子、２０１ｃ…取り付け孔、２０２…断熱基板、２０２ａ…接続ピン、２０３…基台、２０４…発振器、２０５…キャップ、２０６…リード線、Ｂ…質量部と支持部とが重なる領域、ｇ…質量部の重心、Ｇ…加速度検出器の重心。

Claims (9)

1. ベース部と、
   該ベース部に継ぎ手部を介して接続された板状の可動部と、
   前記ベース部と前記可動部とに掛け渡された加速度検出素子と、を備え、
   前記可動部は、両主面の少なくとも一方に質量部が配置され、
   前記可動部は、前記主面と交差する方向に加わる加速度に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記主面と交差する方向に変位可能であり、
   前記質量部は、前記主面側に突出する凸部を有し、前記凸部の先端部が前記可動部の前記主面に接合材を介して接合されていることを特徴とする加速度検出器。
2. 請求項１に記載の加速度検出器において、平面視で前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位を有した支持部を更に備え、
   前記質量部は、平面視において一部が前記支持部と重なるように配置され、
   前記質量部と前記支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間が設けられていることを特徴とする加速度検出器。
3. 請求項２に記載の加速度検出器において、前記支持部は、平面視において、前記ベース部とによって前記可動部を囲む枠状に形成されていることを特徴とする加速度検出器。
4. 請求項２または請求項３に記載の加速度検出器において、前記支持部は、３つ以上の固定部を有し、平面視において、隣り合う前記固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、前記加速度検出器の重心が位置することを特徴とする加速度検出器。
5. 請求項２または請求項３に記載の加速度検出器において、前記支持部は、２つの固定部を有し、平面視において、２つの前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することを特徴とする加速度検出器。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の加速度検出器において、前記接合材は、シリコーン系樹脂を含む接着剤であることを特徴とする加速度検出器。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の加速度検出器において、前記加速度検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、
   前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定されたことを特徴とする加速度検出器。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の加速度検出器と、
   前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする加速度検出デバイス。
9. 請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする電子機器。

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