JP2007064662A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 基部と、
   駆動電極を有する駆動脚及び検出電極を有する検出脚を備えた３本の脚と、
   を備えた振動子を有し、
   前記３本の脚は略同一の厚みからなり、前記基部は前記３本の脚にそれぞれ結合し、前記３本の脚が互いに平行に配置された振動ジャイロにおいて、
   前記検出脚の幅は、前記駆動脚の幅の３／５より小さく、前記検出脚の長さは前記駆動脚の長さよりも長く形成されたことを特徴とする振動ジャイロ。
2. 基部と、
   駆動電極を有する駆動脚及び検出電極を有する検出脚を備えた３本の脚と、
   を備えた振動子を有し、
   前記３本の脚は略同一の厚みからなり、前記基部は前記３本の脚にそれぞれ結合し、前記３本の脚は互いに平行に配置された振動ジャイロにおいて、
   前記検出脚は、その先端部の幅がこの先端部を除く部分の幅より大きく形成されるとともに、前記検出脚の前記先端部を除く部分は、その幅が前記駆動脚の幅の３／５より小さく形成されることを特徴とする振動ジャイロ。
3. 前記検出脚の長さは前記駆動脚の長さ以下であることを特徴とする請求項２に記載の振動ジャイロ。
4. 前記検出脚の幅は、前記駆動脚の幅に対する比率が０．１を下限とすることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
5. 前記駆動脚は、中央の脚と残りの１本の脚とで構成され、これら複数の脚で構成される駆動脚の長さは、略同一であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
6. 前記駆動脚を前記振動子の厚み方向に垂直な平面内で面内屈曲振動させ、前記振動子の回転によるコリオリ力により、前記面内屈曲振動が前記振動子に引き起こす前記平面に垂直な面外屈曲振動に伴う、前記検出脚の振動を検出することにより、前記回転の角速度を検出することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
7. 前記検出脚の長手方向に直交する断面は、前記駆動脚の厚み方向に垂直な面内方向に面取り部を備えた台形状に形成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
8. 前記検出脚の長手方向に直交する断面は、前記駆動脚の厚み方向に垂直な面内方向に突出部を備えた凸形状に形成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
9. 前記基部と３本の脚が一体であることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
10. 前記振動子は、前記基部に結合し、前記基部及び前記３本の脚をパッケージに取り付けるための支持部を備え、この支持部の少なくとも一部がパッケージに設けられた台座と結合することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
11. 前記基部と前記支持部とは、一体物で構成されることを特徴とする請求項１０に記載の振動ジャイロ。