JP4509621B2 - 角速度センサ用音叉型水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の請求項2では、請求項1の前記電極分割工程はフォトエッチング技術であって、前記+X面の金属膜上にポジ型かネガ型かのフォトレジスト膜を形成する工程と、前記突起状稜線部上のフォトレジスト膜をポジ型かネガ型かに対応した選択的露光及び現像によって除去し前記金属膜部分を露出する工程と、前記金属膜部分をウェットエッチングして前記金属膜を分割して前記第1及び第2のセンサ電極を形成する工程とを備えた構成とする。これにより、第1及び第2のセンサ電極を形成するフォトエッチング技術を明確にして、+X面の金属膜を確実に分割できて第1及び第2のセンサ電極を得られる。
第1図は本発明の第1実施形態を説明する角速度センサ素子の図で、同図(a)は外観図、同図(b)は音叉腕の頭部から見た上面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
第2図(abc)は第1実施形態での角速度センサ素子の製造方法を説明する図で、同図(a)は単板水晶ウェハの一部平面図、同図(b)は露光状態を示す角速度センサ素子の上面図、同図(c)は露光後の同上面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
第3図は本発明の第3実施形態である角速度センサ素子の製造方法を説明する図で、第1及び第2センサ電極をレーザを用いて分割する例である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
Claims (8)
- 結晶軸XYZのX軸を幅方向、Y軸を長さ方向、Z軸を厚み方向として一対の音叉腕が音叉基部から延出した音叉状水晶片と、前記音叉腕の側面のうちの少なくとも1面に形成され互いに電気的に分離された角速度検出用の第1及び第2のセンサ電極とを備える角速度センサ用音叉型水晶振動子の製造方法において、
フォトエッチング技術によって、単板水晶ウエハに、エッチング異方性に起因して突起状稜線部が水晶の+X面の長さ方向に残存する前記音叉状水晶片を多数形成する外形加工工程と、
前記単板水晶ウェハにおける前記音叉状水晶片の両主面及び前記+X面を含む各側面に金属膜を形成する電極材形成工程と、
前記+X面の金属膜を前記突起状稜線部に沿って分割して前記第1及び第2のセンサ電極を形成する電極分割工程とを備えたことを特徴とする角速度センサ用音叉型水晶振動子の製造方法。 - 請求項1の製造方法において、前記電極分割工程はフォトエッチング技術であって、前記+X面の金属膜上にポジ型かネガ型かのフォトレジスト膜を形成する工程と、前記突起状稜線部上のフォトレジスト膜をポジ型かネガ型かに対応した選択的露光及び現像によって除去し前記金属膜部分を露出する工程と、前記金属膜部分をウェットエッチングして前記金属膜を分割して前記第1及び第2のセンサ電極を形成する工程とを備えた角速度センサ用音叉型水晶振動子の製造方法。
- 請求項2の製造方法において、前記選択的露光は前記水晶ウェハの主面に対して垂直方向からとした角速度センサ用音叉型水晶振動子の製造方法。
- 請求項2の製造方法において、前記金属膜は両主面及び各側面に蒸着又はスパッタによって同時に形成され、前記両主面の電極と前記第1及び第2のセンサ電極を含む前記側面の電極とがフォトエッチングによって一体的に形成された角速度センサ素子用音叉型水晶振動子の製造方法。
- 請求項1の製造方法において、前記電極分割工程は、前記金属膜のうちの前記突起状稜線部に設けられた金属膜部分をレーザによって切除したレーザ分割工程である角速度センサ用音叉型水晶振動子の製造方法。
- 請求項5の製造方法において、前記レーザ分割工程は、両主面及び各側面に前記金属膜が同時に形成され、フォトエッチング技術によって前記両主面の電極が形成された後である角速度センサ素子用音叉型水晶振動子の製造方法。
- 請求項5の製造方法において、前記レーザ分割工程は、フォトエッチング技術によって両主面の電極が形成された後、リフトオフによって各側面に金属膜が形成された後である角速度センサ素子用音叉型水晶振動子の製造方法。
- 請求項7の製造方法において、前記両主面の電極と前記各側面の金属膜とは異なる材料である角速度センサ素子用音叉型水晶振動子の製造方法。
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