JP2004080771A - 弾性表面波素子および弾性表面波装置およびその製造方法 - Google Patents
弾性表面波素子および弾性表面波装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004080771A JP2004080771A JP2003280710A JP2003280710A JP2004080771A JP 2004080771 A JP2004080771 A JP 2004080771A JP 2003280710 A JP2003280710 A JP 2003280710A JP 2003280710 A JP2003280710 A JP 2003280710A JP 2004080771 A JP2004080771 A JP 2004080771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- pad
- acoustic wave
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の弾性表面波素子および弾性表面波装置は、接続電極および短絡電極を用いて全ての電極パターンを直接的、間接的に接続し、電気的に浮いた状態の電極を無くすことにより圧電基板上で発生した電荷による電位を圧電基板全体で均一化し、電位差をなくすことにより静電気放電などによる電極の損傷を防止することができる。
【選択図】図1
Description
以下に本発明の実施の形態1を用いて、本発明の請求項1〜6、8、12について説明する。
以下に本発明の実施の形態2を用いて本発明の請求項7〜11について説明する。
2、12 ダイシングライン
5 グランド端子
7、181、182、183、184、185、186 短絡電極
8 入力側端子
15 端子電極
17 引き出し電極
21 バンプ
31、32、33 IDT電極
38 SAW素子
40 SAWデバイス
41、42、141、142 反射器電極
44 接続用パッド電極
46 蓋体
47 接続部材
51 ベース部材
52 配線導体
53 接続端子電極
54 フォトレジスト
61、62、63、64、65、66、67 パッド電極
131、135 外側IDT電極
132、134 内側IDT電極
133 中央IDT電極
161、162、165 孤立パッド電極
163、164、166、167 隣接パッド電極
191、192、193 接続電極
201、202、203、204、205、206、207 パッド補強電極
541 露光部分
Claims (12)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に複数のインターディジタルトランスデューサ電極と、
この両側に配置される反射器電極と、
複数の前記インターディジタルトランスデューサ電極と複数の前記反射器電極とから導出される複数のパッド電極と、
複数の前記パッド電極上に形成されるパッド補強電極とを含む弾性表面波素子であって、
複数の前記パッド電極は、前記弾性表面波素子の外周領域に直接対向しない孤立パッド電極と前記外周領域に直接対向する隣接パッド電極とを有し、
前記孤立パッド電極と前記隣接パッド電極の間を接続した接続電極の一部が少なくとも残存した構成からなる弾性表面波素子。 - 底面部から側壁部を貫通するように設けられた配線導体と、
前記配線導体に接続し、前記側壁部から外側の前記底面部にかけて形成された接続端子電極とを有する箱状のベース部材と、
前記ベース部材の周縁部で接続封止するための蓋体と、
前記ベース部材の前記配線導体に接続された弾性表面波素子とを含み、
前記弾性表面波素子は請求項1に記載の弾性表面波素子からなる弾性表面波装置。 - 圧電基板上に複数のインターディジタルトランスデューサ電極と、
この両側に配置される反射器電極と、
複数の前記インターディジタルトランスデューサ電極と複数の前記反射器電極とから導出される複数のパッド電極とを含む複数の弾性表面波素子と、
前記弾性表面波素子のそれぞれの外周部に形成されたダイシングラインと、
前記パッド電極のうち前記ダイシングラインに直接接続できない孤立パッド電極と前記ダイシングラインに直接接続可能な隣接パッド電極とを接続する接続電極と、
前記隣接パッド電極を前記ダイシングラインに接続する短絡電極とを形成する工程と、
前記パッド電極上にパッド補強電極を形成する工程と、
前記接続電極の少なくとも一部を除去して、前記孤立パッド電極と前記隣接パッド電極とを電気的に開放状態にする工程と、
前記ダイシングラインに沿って前記圧電基板を切断する工程とを含む弾性表面波素子の製造方法。 - パッド補強電極上にバンプを形成する工程を含む請求項3に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- ダイシングラインに沿って圧電基板を切断する方法が、前記ダイシングライン上で、かつ前記ダイシングライン幅より幅広に前記圧電基板を切断する請求項3に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- パッド補強電極を形成する工程の後に、接続電極の少なくとも一部を除去して、孤立パッド電極と隣接パッド電極とを電気的に開放状態にする工程を設けた請求項3に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- バンプを形成する工程の後に、接続電極の少なくとも一部を除去して、孤立パッド電極と隣接パッド電極とを電気的に開放状態にする工程を設けた請求項4に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- 接続電極の少なくとも一部を除去する方法は、ウエットエッチングまたはドライエッチングのいずれかで行う請求項3に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- 接続電極を構成する金属薄膜がフォトレジストの現像液に可溶性であり、
圧電基板上に塗布したフォトレジストを露光して、前記接続電極の少なくとも一部に相当する前記フォトレジストを現像液に可溶性とする工程と、
前記フォトレジストを現像液で現像するとともに、前記接続電極の少なくとも一部を前記現像液でエッチングする工程を含む請求項3に記載の弾性表面波素子の製造方法。 - 接続電極の少なくとも一部を除去する工程で、同時に短絡電極の少なくとも一部を除去して隣接パッド電極とダイシングラインとを電気的に開放する請求項3に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- 短絡電極の少なくとも一部を除去して隣接パッド電極とダイシングラインとを電気的に開放する方法が、接続電極の少なくとも一部を除去する方法と同一である請求項3に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- 底面部から側壁部を貫通するように設けられた配線導体と、
この配線導体に接続し、前記側壁部から外側の前記底面部にかけて形成された接続端子電極とを有する箱状のベース部材の前記配線導体に弾性表面波素子を接続する工程と、
蓋体を前記ベース部材の周縁部に位置合わせした後、接続部材により前記蓋体と前記ベース部材とを固着して封止する工程とを含み、
前記弾性表面波素子が請求項3に記載の方法により製造された弾性表面波装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003280710A JP2004080771A (ja) | 2002-07-31 | 2003-07-28 | 弾性表面波素子および弾性表面波装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002222792 | 2002-07-31 | ||
JP2003280710A JP2004080771A (ja) | 2002-07-31 | 2003-07-28 | 弾性表面波素子および弾性表面波装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004080771A true JP2004080771A (ja) | 2004-03-11 |
Family
ID=32032781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003280710A Pending JP2004080771A (ja) | 2002-07-31 | 2003-07-28 | 弾性表面波素子および弾性表面波装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004080771A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115632628A (zh) * | 2022-09-30 | 2023-01-20 | 锐石创芯(重庆)科技有限公司 | 滤波器结构及其制作方法、滤波器芯片及电子设备 |
-
2003
- 2003-07-28 JP JP2003280710A patent/JP2004080771A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115632628A (zh) * | 2022-09-30 | 2023-01-20 | 锐石创芯(重庆)科技有限公司 | 滤波器结构及其制作方法、滤波器芯片及电子设备 |
CN115632628B (zh) * | 2022-09-30 | 2024-05-24 | 锐石创芯(重庆)科技有限公司 | 滤波器结构及其制作方法、滤波器芯片及电子设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1768256B1 (en) | Piezoelectric device | |
JP4468436B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
JP4484934B2 (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP3925133B2 (ja) | 弾性表面波装置の製造方法及び弾性表面波装置 | |
US9270252B2 (en) | Acoustic wave device and method for manufacturing same | |
US7448119B2 (en) | Method of producing a surface acoustic wave device | |
CN102823131B (zh) | 弹性波装置及其制造方法 | |
JP2006109400A (ja) | 電子部品、回路基板、電子機器、電子部品の製造方法 | |
JP5818946B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US8477483B2 (en) | Electronic component and method for manufacturing electronic component | |
JP4886485B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法 | |
US6951047B2 (en) | Method of manufacturing a surface acoustic wave element | |
JP2011091616A (ja) | 弾性波装置及びその製造方法 | |
JP2008219943A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP2004080771A (ja) | 弾性表面波素子および弾性表面波装置およびその製造方法 | |
JP3390554B2 (ja) | 弾性表面波装置及びその製造方法 | |
JP5415903B2 (ja) | 弾性表面波素子の製造方法、弾性表面波素子および弾性表面波素子用基板 | |
JP6189901B2 (ja) | 弾性波装置および回路基板 | |
JP2022090792A (ja) | 弾性波デバイスの製造方法 | |
CN114731151A (zh) | 电子部件以及电子部件的制造方法 | |
JPH11220351A (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2005269262A (ja) | 弾性表面波フィルタの製造方法 | |
JP2018098687A (ja) | 弾性波デバイス | |
JP2004328336A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JP2004260548A (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060623 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Effective date: 20060712 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090609 |