JP2010035221A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010035221A5 JP2010035221A5 JP2009256161A JP2009256161A JP2010035221A5 JP 2010035221 A5 JP2010035221 A5 JP 2010035221A5 JP 2009256161 A JP2009256161 A JP 2009256161A JP 2009256161 A JP2009256161 A JP 2009256161A JP 2010035221 A5 JP2010035221 A5 JP 2010035221A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- vibrating
- width
- vibrating arm
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Claims (15)
- 基部と、
この基部の端である一方の基部端部から当該基部の幅方向に並んで突出した2本の振動腕部と、を有する振動片と、
前記振動片が固定されるパッケージと、を備える振動子であって、
前記基部は、当該基部の一部分の幅が狭められた形状になるような切り込み部と、前記振動腕部から離れた側の当該基部の端である他方の基部端部と、前記切り込み部を境にして前記他方の基部端部の側に前記パッケージと固定される固定領域と、を備え、
前記振動腕部は、当該振動腕部の表面部及び裏面部に溝部を備え、
前記振動腕部は、前記切り込み部を境にして前記振動腕部の側における前記基部の幅よりも内側から突出しており、
前記他方の基部端部と前記切り込み部における前記振動腕部の側にある端部との距離は、前記他方の基部端部と前記溝部における前記基部の側にある端部との距離よりも小さく、且つ前記切り込み部における前記振動腕部の側にある端部と前記一方の基部端部との距離よりも大きいことを特徴とする振動子。 - 前記振動腕部が略直方体でなり、当該振動腕部の幅が50μm以上150μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の振動子。
- 前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部の少なくともいずれか一方の深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して30%以上50%未満であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の振動子。
- 前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部のうち少なくともいずれか一方の溝部の深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して40%以上50%未満の深さであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の振動子。
- 前記溝部の開口の幅が、前記振動腕部の幅の40%以上であることを特徴とする請求項3又は4に記載の振動子。
- 前記溝部の開口の幅が、前記振動腕部の前記腕部幅の70%以上100%未満であることを特徴とする請求項3又は4に記載の振動子。
- 前記振動片が略30KHz乃至略40KHzで発振する音叉型水晶振動片であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の振動子。
- 基部と、この基部の端である一方の基部端部から当該基部の幅方向に並んで突出した2本の振動腕部と、を有する振動片と、
前記振動片の振動によって発生した周波数信号が供給される集積回路と、
前記振動片が固定されるパッケージと、を備える発振器であって、
前記基部は、当該基部の一部分の幅が狭められた形状になるような切り込み部と、前記振動腕部から離れた側の当該基部の端である他方の基部端部と、前記切り込み部を境にして前記他方の基部端部の側に前記パッケージと固定される固定領域と、を備え、
前記振動腕部は、当該振動腕部の表面部及び裏面部に溝部を備え、
前記振動腕部は、前記切り込み部を境にして前記振動腕部の側における前記基部の幅方向にある端部よりも内側であり、
前記他方の基部端部と前記切り込み部における前記振動腕部の側にある端部との距離は、前記他方の基部端部と前記溝部における前記基部の側にある端部との距離よりも小さく、且つ前記切り込み部における前記振動腕部の側にある端部と前記一方の基部端部との距離よりも大きいことを特徴とする発振器。 - 前記振動腕部が略直方体でなり、当該振動腕部の幅が50μm以上150μm以下であることを特徴とする請求項8に記載の発振器。
- 前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部の少なくともいずれか一方の深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して30%以上50%未満であることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の発振器。
- 前記表面部又は前記裏面部に設けられている溝部のうち少なくともいずれか一方の溝部の深さが、前記振動腕部の深さ方向の全長である厚みに対して40%以上50%未満の深さであることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の発振器。
- 前記溝部の開口の幅が、前記振動腕部の前記腕部幅の40%以上であることを特徴とする請求項10又は11に記載の発振器。
- 前記溝部の開口の幅が、前記振動腕部の前記腕部幅の70%以上100%未満であることを特徴とする請求項10又は11に記載の発振器。
- 前記振動片が略30KHz乃至略40KHzで発振する音叉水晶型振動片であることを特徴とする請求項8乃至請求項13のいずれかに記載の発振器。
- 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の振動子を制御部に接続して用いることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256161A JP2010035221A (ja) | 2000-12-25 | 2009-11-09 | 振動子、発振器及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000392934 | 2000-12-25 | ||
JP2009256161A JP2010035221A (ja) | 2000-12-25 | 2009-11-09 | 振動子、発振器及び電子機器 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007230744A Division JP2008029030A (ja) | 2000-12-25 | 2007-09-05 | 振動子、発振器及び電子機器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013111348A Division JP2013165529A (ja) | 2000-12-25 | 2013-05-27 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010035221A JP2010035221A (ja) | 2010-02-12 |
JP2010035221A5 true JP2010035221A5 (ja) | 2011-09-15 |
Family
ID=18858843
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009256161A Pending JP2010035221A (ja) | 2000-12-25 | 2009-11-09 | 振動子、発振器及び電子機器 |
JP2009256162A Pending JP2010063144A (ja) | 2000-12-25 | 2009-11-09 | 振動子、発振器及び電子機器 |
JP2013111348A Pending JP2013165529A (ja) | 2000-12-25 | 2013-05-27 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009256162A Pending JP2010063144A (ja) | 2000-12-25 | 2009-11-09 | 振動子、発振器及び電子機器 |
JP2013111348A Pending JP2013165529A (ja) | 2000-12-25 | 2013-05-27 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6587009B2 (ja) |
EP (2) | EP1788702A3 (ja) |
JP (3) | JP2010035221A (ja) |
KR (5) | KR100743794B1 (ja) |
CN (2) | CN1652460B (ja) |
TW (1) | TW521490B (ja) |
Families Citing this family (66)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6894428B2 (en) * | 2001-01-15 | 2005-05-17 | Seiko Epson Corporation | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic device |
JP2002261577A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置 |
US20020170897A1 (en) * | 2001-05-21 | 2002-11-21 | Hall Frank L. | Methods for preparing ball grid array substrates via use of a laser |
US6897743B2 (en) * | 2002-03-06 | 2005-05-24 | Piedek Technical Laboratory | Electronic apparatus with two quartz crystal oscillators utilizing different vibration modes |
US7412764B2 (en) * | 2002-03-06 | 2008-08-19 | Piedek Technical Laboratory | Method for manufacturing quartz crystal unit and electronic apparatus having quartz crystal unit |
US6791243B2 (en) * | 2002-03-06 | 2004-09-14 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal unit and its manufacturing method |
US7071794B2 (en) * | 2002-03-06 | 2006-07-04 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal resonator, unit having resonator, oscillator having unit, electronic apparatus having oscillator, and method for manufacturing electronic apparatus |
US7845063B2 (en) * | 2002-03-06 | 2010-12-07 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal unit and method for manufacturing a quartz crystal unit and electronic apparatus |
US10284143B2 (en) | 2002-03-06 | 2019-05-07 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal unit, quartz crystal oscillator and electronic apparatus |
JP4001029B2 (ja) * | 2002-03-25 | 2007-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片及びその製造方法、圧電デバイス |
JP4281348B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2009-06-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP4049017B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子 |
JP4026074B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2007-12-26 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
US9209381B2 (en) | 2003-06-30 | 2015-12-08 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal unit, quartz crystal oscillator and electronic apparatus |
US11563406B2 (en) | 2003-06-30 | 2023-01-24 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal resonator, quartz crystal unit, and quartz crystal oscillator |
US10199556B2 (en) | 2003-06-30 | 2019-02-05 | Piedek Technical Laboratory | Unit, oscillator and electronic apparatus |
JP4329492B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2009-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2005184767A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-07-07 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子の製造方法 |
US7365478B2 (en) * | 2003-12-17 | 2008-04-29 | Piedek Technical Laboratory | Piezoelectric crystal resonator, piezoelectric crystal unit having the crystal resonator and electronic apparatus having the crystal resonator |
JP4409979B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-02-03 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子 |
WO2005096493A1 (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Citizen Watch Co., Ltd. | 水晶振動子の製造方法及び水晶振動子 |
US7140251B2 (en) * | 2004-05-19 | 2006-11-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Devices for measuring physical values and vibrators |
US20070247032A1 (en) * | 2004-06-21 | 2007-10-25 | Tomoo Ikeda | Crystal Device and Method for Manufacturing Crystal Device |
DE602004027033D1 (de) * | 2004-09-03 | 2010-06-17 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Quartzresonator mit sehr kleinen Abmessungen |
DE602005020725D1 (de) * | 2004-09-24 | 2010-06-02 | Seiko Epson Corp | Piezoelektrisches Resonatorelement und piezoelektrisches Bauelement |
JP4301200B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2009-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
TW200633377A (en) * | 2005-02-02 | 2006-09-16 | Nihon Dempa Kogyo Co | Piezo-electric vibrator |
JP4277818B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2009-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
KR100595971B1 (ko) * | 2005-05-30 | 2006-07-03 | 주식회사 유성 | 승마용 기구 |
US20080211350A1 (en) * | 2006-08-18 | 2008-09-04 | Epson Toyocom Corporation | Piezoelectric resonator element and piezoelectric device |
ATE453954T1 (de) * | 2007-07-19 | 2010-01-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeiten |
US8446079B2 (en) * | 2008-05-23 | 2013-05-21 | Statek Corporation | Piezoelectric resonator with vibration isolation |
JP4879963B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2012-02-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP5454134B2 (ja) | 2008-12-27 | 2014-03-26 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、センサー及び電子部品 |
US8067880B2 (en) | 2008-12-27 | 2011-11-29 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibration element and electronic component |
JP2010252303A (ja) | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
JP2010252302A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
KR101108194B1 (ko) * | 2009-06-30 | 2012-01-31 | 이강수 | 전후상하 운동이 가능한 유아용 요람장치 |
TWI404921B (zh) * | 2009-07-29 | 2013-08-11 | Metal Ind Res & Dev Ct | A tuning fork contact sensing device and its sensing method |
JP5565154B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
JP5593979B2 (ja) * | 2009-11-11 | 2014-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、センサー及び電子機器 |
TWI398097B (zh) | 2009-11-18 | 2013-06-01 | Wafer Mems Co Ltd | 音叉型石英晶體諧振器 |
CN102088276B (zh) * | 2009-12-02 | 2014-01-22 | 威华微机电股份有限公司 | 音叉型石英晶体谐振器 |
US8299863B2 (en) | 2009-12-25 | 2012-10-30 | Seiko Epson Corporation | Flexural mode resonator element, resonating device, and electronic apparatus |
US8283988B2 (en) * | 2010-02-25 | 2012-10-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
US20110227658A1 (en) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, piezoelectric device, and electronic device |
US8692632B2 (en) * | 2010-03-17 | 2014-04-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
US20110227458A1 (en) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator element, piezoelectric device, and electronic apparatus |
CN102629861A (zh) | 2011-02-02 | 2012-08-08 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振子、振荡器以及电子设备 |
JP5685962B2 (ja) | 2011-02-02 | 2015-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
KR101882999B1 (ko) * | 2011-12-01 | 2018-07-30 | 삼성전기주식회사 | 압전 진동편 및 압전 진동편을 이용한 압전 디바이스 |
JP5910287B2 (ja) * | 2012-04-25 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
JP2014086933A (ja) | 2012-10-25 | 2014-05-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
JP6127495B2 (ja) | 2012-12-19 | 2017-05-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、移動体、および振動片の製造方法 |
JP2014165573A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
US9257959B2 (en) | 2013-03-29 | 2016-02-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, sensor, and moving object |
SG11201508860QA (en) * | 2013-05-13 | 2015-11-27 | Murata Manufacturing Co | Vibrating device |
JP2015023422A (ja) | 2013-07-18 | 2015-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP6482169B2 (ja) | 2013-07-19 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
JP6287208B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-03-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 |
KR102052759B1 (ko) * | 2014-07-07 | 2019-12-09 | 삼성전기주식회사 | 진동편 및 이를 구비한 전자기기 |
US9654082B2 (en) | 2015-04-28 | 2017-05-16 | Seiko Epson Corporation | Vibrator, oscillator, electronic device for controlling internal resonance between inherent vibration modes |
US20170005259A1 (en) * | 2015-07-03 | 2017-01-05 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric device and base |
EP3468036A1 (fr) * | 2017-10-03 | 2019-04-10 | Micro Crystal AG | Résonateur piezo-electrique de petite taille |
US11070191B2 (en) | 2019-08-22 | 2021-07-20 | Statek Corporation | Torsional mode quartz crystal device |
US11070192B2 (en) | 2019-08-22 | 2021-07-20 | Statek Corporation | Torsional mode quartz crystal device |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2009379C3 (de) * | 1970-02-27 | 1975-01-30 | Gebrueder Junghans Gmbh, 7230 Schramberg | Piezoelektrischer Oszillator in Form einer Stimmgabel als Zeitnormal für zeithaltende Geräte |
JPS4934789A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-03-30 | ||
JPS49122768A (ja) * | 1973-03-27 | 1974-11-25 | Suwa Seikosha Kk | |
JPS5241110B2 (ja) * | 1973-05-07 | 1977-10-17 | ||
JPS5252597A (en) * | 1975-10-27 | 1977-04-27 | Citizen Watch Co Ltd | Bend type piezoelectric vibrator |
JPS5379486A (en) * | 1976-12-24 | 1978-07-13 | Seiko Epson Corp | Tuning-fork-shaped crystal vibrator |
JPS55114019A (en) * | 1979-02-23 | 1980-09-03 | Seiko Epson Corp | Tuning fork type vibrator |
JPS55138916A (en) * | 1979-04-18 | 1980-10-30 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Composite crystal resonator |
FR2467487A1 (fr) | 1979-10-15 | 1981-04-17 | Ebauches Sa | Resonateur piezoelectrique |
JPS5689117A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type piezo-oscillator |
JPS5689116A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type piezo-oscillator |
JPS5694813A (en) * | 1979-12-27 | 1981-07-31 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type piezoelectric oscillator |
JPS58105612A (ja) * | 1981-12-17 | 1983-06-23 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型振動子 |
JPS58116811A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子 |
JPS59183520A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型水晶振動子 |
JPS605613A (ja) * | 1983-06-06 | 1985-01-12 | Seikosha Co Ltd | 発振器 |
JPS61111010A (ja) | 1984-11-05 | 1986-05-29 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 温度計測用水晶振動子 |
JP2625511B2 (ja) * | 1988-07-21 | 1997-07-02 | 株式会社クボタ | 穀粒選別装置用穀粒分布検出装置 |
JPH0490613A (ja) * | 1990-08-03 | 1992-03-24 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子 |
JPH06112760A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 捩り水晶振動子 |
JPH07154189A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-06-16 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動子ユニット |
DE19544338A1 (de) * | 1994-11-28 | 1996-05-30 | Nippon Denso Co | Winkelgeschwindigkeitssensor |
JPH11274881A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-08 | Sii Quartz Techno:Kk | 水晶振動子及びその製造方法 |
JPH11274879A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-08 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片収納容器、圧電振動子、および発振器 |
WO2000044092A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Seiko Epson Corporation | Vibreur et dispositif electronique comportant un vibreur |
JP2000223992A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2002261575A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
-
2001
- 2001-12-21 EP EP20070002621 patent/EP1788702A3/en not_active Withdrawn
- 2001-12-21 US US10/035,094 patent/US6587009B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-21 EP EP20010130683 patent/EP1223674A3/en not_active Withdrawn
- 2001-12-24 KR KR20010084309A patent/KR100743794B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-12-24 TW TW90132057A patent/TW521490B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-12-25 CN CN2005100560413A patent/CN1652460B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-25 CN CNB01133844XA patent/CN1201487C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-04-01 KR KR1020040022630A patent/KR20040032146A/ko not_active Application Discontinuation
-
2007
- 2007-05-16 KR KR1020070047710A patent/KR100747950B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-05-16 KR KR1020070047718A patent/KR100747951B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-05-16 KR KR1020070047730A patent/KR100747949B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-11-09 JP JP2009256161A patent/JP2010035221A/ja active Pending
- 2009-11-09 JP JP2009256162A patent/JP2010063144A/ja active Pending
-
2013
- 2013-05-27 JP JP2013111348A patent/JP2013165529A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010035221A5 (ja) | ||
JP2010063144A5 (ja) | ||
JP4539708B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子および加速度センサ | |
DE602007004102D1 (de) | Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten | |
JP2010062723A5 (ja) | ||
JP5659585B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 | |
JP2012217140A5 (ja) | ||
JP2011019159A5 (ja) | ||
JP2013255052A5 (ja) | ||
JP2009135830A5 (ja) | ||
JP2009130564A5 (ja) | ||
JP2012222537A5 (ja) | ||
JP2013229733A5 (ja) | 振動片、振動子、発振器および電子機器 | |
JP2011155628A5 (ja) | ||
JP2015097367A5 (ja) | ||
JP2012019440A5 (ja) | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 | |
JP2011101340A5 (ja) | ||
JP2014200026A5 (ja) | ||
JP2010232932A5 (ja) | 振動片 | |
JP2011087279A5 (ja) | ||
JP2015097366A5 (ja) | ||
JP2006246449A5 (ja) | ||
JP2014138414A5 (ja) | ||
JP2012129679A5 (ja) | 発振器 | |
JP2015207856A5 (ja) |