JP2011155628A5 - - Google Patents
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- 基部と、
前記基部から延びている振動腕と、
前記振動腕の共振周波数を調整する第1質量部と、を有し、
前記振動腕は屈曲振動し、屈曲振動により圧縮または伸長する第1面と、前記第1面が圧縮したときに伸長し前記第1面が伸長したときに圧縮する第2面とを、有し、
前記第1質量部は前記第1面および前記第2面の少なくとも一方の面であって、前記振動腕の基部側の端部から先端部までの全長Lにおける略中心に設けられていることを特徴とする振動片。 - 請求項1に記載の振動片において、
前記第1質量部に金膜を用いたことを特徴とする振動片。 - 請求項2に記載の振動片において、
前記第1質量部にスリットが設けられていることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の振動片において、
前記第1質量部が前記全長Lに対して、前記基部側の端部から0.30L以上、0.65L以下の範囲の少なくとも一部に設けられたことを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の振動片において、
前記第1質量部が前記振動腕の前記全長Lに対して、前記基部側の端部から0.42L以上、0.57L以下の範囲の少なくとも一部に設けられたことを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の振動片において、
前記振動腕の前記先端部の前記第1面および前記第2面の少なくとも一方の面にさらに共振周波数を調整する第2質量部が設けられたことを特徴とする振動片。 - 基部と、
前記基部から延びている振動腕と、
前記振動腕の共振周波数を調整する第1質量部と、を有し、
前記振動腕は屈曲振動し、屈曲振動により圧縮または伸長する第1面と、前記第1面が圧縮したときに伸長し前記第1面が伸長したときに圧縮する第2面とを、有し
前記第1質量部は前記第1面および前記第2面の少なくとも一方の面であって、前記振動腕の基部側の端部から先端部までの全長Lにおける略中心に形成されている振動片を用意する工程と、
前記第1質量部の質量を変化させることにより前記振動腕の共振周波数を調整する微調工程と、を含む周波数調整方法。 - 請求項7に記載の前記周波数調整工程において、
前記振動片の周波数は、前記振動腕の全長Lの前記略中心に対し前記先端部側に形成された前記第1質量部から質量を減少させることを特徴とする周波数調整方法。 - 請求項7または8に記載の前記周波数調整工程において、
前記第1質量部に金膜を用い、前記金膜をレーザーで除去することにより前記第1質量部の質量を減少させることを特徴とする周波数調整方法。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、
を備えることを特徴とする振動子。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片に接続された回路素子と、
を備えることを特徴とする発振器。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の振動片を用いたことを特徴とする電子機器。
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