JP6855961B2 - 振動素子の周波数調整方法、振動素子、振動子、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
配線部を備える基板を準備し、前記振動素子の前記他方の主面側を前記基板側に向けて、前記振動素子を前記基板に固定する工程と、
前記第1錘部の前記非重なり領域に前記一方の主面側からエネルギー線を照射して、前記第1錘部の前記非重なり領域の一部を除去し、前記振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有していることを特徴とする。
これにより、振動漏れを抑制しつつ、飛沫が残存し難い振動素子の周波数調整方法を提供することができる。
前記第1錘部は、前記平面視で、前記振動腕の幅方向の中央を含む位置に配置されていることが好ましい。
これにより、第1錘部にエネルギー線を照射し易くなる。
前記第2錘部は、前記平面視で、前記振動腕の幅方向の中央を挟む両側部を含む位置に配置されていることが好ましい。
これにより、第1錘部に非重なり領域を形成し易くなる。
これにより、エネルギー線照射後の第1錘部と第2錘部との質量バランスを取り易くなる。
これにより、より効果的に、振動漏れを抑制することができる。
基部から第1方向に延出する振動腕と、
前記振動腕の一方の主面に配置されている第1錘部と、
前記振動腕の他方の主面に配置されている第2錘部と、を有し、
前記主面の法線方向からの平面視で、前記第1錘部は、前記第2錘部と重ならない非重なり領域を前記振動腕の幅方向の中央を含む位置に有し、
前記振動腕の横断面視で、前記振動腕の厚さをTとし、前記第1錘部と前記第2錘部とからなる錘部の重心と前記振動腕の重心との前記振動腕の厚さ方向での離間距離をDとしたとき、0≦D≦0.2Tの関係を満足することを特徴とする。
これにより、振動漏れを抑制することのできる振動素子となる。
前記第1錘部の前記第2方向の長さおよび前記第2錘部の前記第2方向の長さの少なくとも一方は、前記幅広部の前記第2方向の長さの1/2以上であることが好ましい。
これにより、錘部によって振動腕の剛性(特に捩じれ剛性)を高めることができる。
前記振動素子を収納するパッケージと、を有することを特徴とする。
これにより、本発明の振動素子の効果を享受でき、信頼性の高い振動子となる。
これにより、本発明の振動素子の効果を享受でき、信頼性の高い電子機器となる。
これにより、本発明の振動素子の効果を享受でき、信頼性の高い移動体となる。
まず、本発明の第1実施形態に係る振動素子の周波数調整方法、振動素子、振動子について説明する。
図1に示すように、パッケージ3は、矩形の平面視形状をなし、上面に開口する凹部311を有するキャビティ状のベース31と、ベース31の上面にシームリング39を介して接合(シーム溶接)され、凹部311の開口を塞ぐ板状のリッド32と、を有している。パッケージ3は、凹部311の開口がリッド32で塞がれることにより形成された内部空間Sを有しており、この内部空間Sに振動素子4、支持基板5およびICチップ6を収容している。内部空間Sは、気密封止され、減圧状態(好ましくは真空状態)となっている。これにより、内部空間S内の粘性抵抗が減り、振動素子4を効率的に駆動することができる。ただし、内部空間Sの環境は、特に限定されず、大気圧状態であってもよいし、加圧状態であってもよい。
振動素子4は、Z軸まわりの角速度ωzを検出することのできる角速度センサー素子である。このような振動素子4は、図2に示すように、振動体41を有している。振動体41は、Zカット水晶板から形成され、水晶の結晶軸であるX軸(電気軸)およびY軸(機械軸)で規定されるXY平面に広がりを有し、Z軸(光軸)方向に厚みを有している。
支持基板5(基板)は、従来から知られるTAB(Tape Automated Bonding)実装用の基板である。このような支持基板5は、図10に示すように、枠状の基部51と、基部51に設けられた複数(本実施形態では6本)のリード52(配線部)と、を有している。基部51は、導電性の接合部材59によってベース31に固定され、さらに、この接合部材59を介して各リード52と内部端子332とが電気的に接続されている。また、各リード52の先端部には導電性の接合部材58によって振動素子4の基部42が固定され、リード52と各電極481〜486とが電気的に接続されている。そのため、振動素子4は、支持基板5を介してベース31に支持されると共にICチップ6と電気的に接続されている。
図1に示すように、ICチップ6(回路素子)は、凹部311の底面に固定されている。ICチップ6には、例えば、外部のホストデバイスと通信を行うインターフェース部や、振動素子4を駆動し、振動素子4に加わった角速度ωzを検出する駆動/検出回路が含まれている。
まず、図13に示すように、水晶ウエハ40を準備し、フォトリソグラフィー技法およびエッチング技法を用いて水晶ウエハ40をパターニングすることで、水晶ウエハ40に複数の振動体41を形成する。次に、スパッタリング等によって、振動体41の表面に電極48を形成する。さらに、スパッタリング等によって、各幅広部451a、452a、453a、454aに錘部46(第1錘部461および第2錘部462)を形成すると共に、幅広部431a、432aに錘部47を形成する。
次に、水晶ウエハ40上で振動素子4の周波数fd、fsを粗調する。具体的には、必要に応じて、駆動腕451、452、453、454に設けられた第1錘部461にレーザー光LL(エネルギー線)を照射し、第1錘部461の一部を除去して質量を減少させることで、駆動振動モードの周波数fdを調整(例えば、周波数のバラつきが500ppm程度となるように粗調)する。同様に、必要に応じて、検出腕431、432に設けられた錘部47にレーザー光LLを照射し、錘部47の一部を除去して質量を減少させることで、検出振動モードの周波数fsを調整する。なお、レーザー光LLとしては、特に限定されず、例えば、YAG、YVO4、エキシマレーザー等のパルス状レーザー光、炭酸ガスレーザー等の連続発振レーザー光を用いることができる。また、エネルギー線としては、レーザー光LLに限定されず、例えば、電子ビームを用いてもよい。
次に、図14に示すように、振動素子4を水晶ウエハ40から切り取って、支持基板5を介してベース31に接合する。なお、この際、第1錘部461がリッド32側を向き、第2錘部462がベース31の底面側を向くように振動素子4を配置する。このように、振動素子4をパッケージ3に収納すると、応力等の環境変化に起因して、振動素子4の駆動振動モードの周波数fdが変化する。
前述したように、マウント工程において周波数fdが変化するため、本工程では、再び、レーザー光LLを用いて第1錘部461の一部を除去することで、周波数fdを調整する。
次に、シームリング39を介してリッド32をベース31の上面にシーム溶接することで、リッド32をベース31に接合する。次に、リッド32の溝321を介してパッケージ3内を減圧状態とし、溝321にレーザー光を照射して溝321を溶融することで溝321を塞ぐ。これにより、内部空間Sが気密封止され、振動子1が得られる。
次に、本発明の第2実施形態に係る振動子について説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る振動子について説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係る振動子について説明する。
次に、本発明の第5実施形態に係る電子機器について説明する。
図20に示すモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューター1100は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1108を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、角速度センサーとして機能する振動素子4が内蔵されている。ここで、振動素子4としては、例えば、前述した実施形態のいずれかを用いることができる。
次に、本発明の第6実施形態に係る電子機器について説明する。
図21に示す携帯電話機1200(PHSも含む)は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機1200は、アンテナ(図示せず)、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、角速度センサーとして機能する振動素子4が内蔵されている。ここで、振動素子4としては、例えば、前述した実施形態のいずれかを用いることができる。
次に、本発明の第7実施形態に係る電子機器について説明する。
図22に示すデジタルスチールカメラ1300は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したものである。この図において、ケース(ボディー)1302の背面には表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
次に、本発明の第8実施形態に係る移動体について説明する。
図23に示す自動車1500は、本発明の振動素子を備える移動体を適用した自動車である。この図において、自動車1500には、角速度センサーとして機能する振動素子4が内蔵されており、振動素子4によって車体1501の姿勢を検出することができる。振動素子4の検出信号は、車体姿勢制御装置1502に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。ここで、振動素子4としては、例えば、前述した実施形態のいずれかを用いることができる。
Claims (9)
- 振動腕と、前記振動腕の一方の主面に配置されている第1錘部と、前記振動腕の他方の主面に配置されている第2錘部と、を有し、前記主面の法線方向からの平面視で、前記第1錘部は、前記第2錘部と重ならない非重なり領域を有する振動素子を準備する工程と、
配線部を備える基板を準備し、前記振動素子の前記他方の主面側を前記基板側に向けて、前記振動素子を前記基板に固定する工程と、
前記第1錘部の前記非重なり領域に前記一方の主面側からエネルギー線を照射して、前記第1錘部の前記非重なり領域の一部を除去し、前記振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有し、
前記調整する工程では、前記振動腕の横断面視で、前記振動腕の厚さをTとし、前記第1錘部と前記第2錘部とからなる錘部の重心と前記振動腕の重心との前記振動腕の厚さ方向での離間距離をDとしたとき、0≦D≦0.2Tの関係を満足するように、前記第1錘部の一部を除去することを特徴とする振動素子の周波数調整方法。 - 前記準備する工程において準備される前記振動素子では、
前記第1錘部は、前記平面視で、前記振動腕の幅方向の中央を含む位置に配置されている請求項1に記載の振動素子の周波数調整方法。 - 前記準備する工程において準備される前記振動素子では、
前記第2錘部は、前記平面視で、前記振動腕の幅方向の中央を挟む両側部を含む位置に配置されている請求項1または2に記載の振動素子の周波数調整方法。 - 前記準備する工程では、前記第1錘部の質量が前記第2錘部の質量よりも大きい請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動素子の周波数調整方法。
- 基部と、
基部から第1方向に延出する振動腕と、
前記振動腕の一方の主面に配置されている第1錘部と、
前記振動腕の他方の主面に配置されている第2錘部と、を有し、
前記主面の法線方向からの平面視で、前記第1錘部は、前記第2錘部と重ならない非重なり領域を前記振動腕の幅方向の中央を含む位置に有し、
前記振動腕の横断面視で、前記振動腕の厚さをTとし、前記第1錘部と前記第2錘部とからなる錘部の重心と前記振動腕の重心との前記振動腕の厚さ方向での離間距離をDとしたとき、0≦D≦0.2Tの関係を満足することを特徴とする振動素子。 - 前記第1錘部および前記第2錘部は、前記振動腕の前記第1方向に直交し前記主面に平行な方向である第2方向の大きさが前記基部側より大きい幅広部であって、前記基部とは反対側の先端領域に設けられ、
前記第1錘部の前記第2方向の長さおよび前記第2錘部の前記第2方向の長さの少なくとも一方は、前記幅広部の前記第2方向の長さの1/2以上である請求項5に記載の振動素子。 - 請求項5または6に記載の振動素子と、
前記振動素子を収納するパッケージと、を有することを特徴とする振動子。 - 請求項5または6に記載の振動素子を有することを特徴とする電子機器。
- 請求項5または6に記載の振動素子を有することを特徴とする移動体。
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