JP2015023483A5 - 圧電膜製造方法、振動子製造方法、振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 - Google Patents

圧電膜製造方法、振動子製造方法、振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 Download PDF

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  1. Ｎ２ガスとＡｒガスとの混合雰囲気中において、Ａｌ− Ｃｕ合金を成膜材料とし、スパッタ法を用いて、圧電膜を成膜する工程を含むことを特徴とする圧電膜製造方法。
  2. 請求項１に記載の圧電膜製造方法において、
    前記Ａｌ− Ｃｕ合金におけるＣｕの含有率は、０．２５質量％〜 １．０質量％の範囲であることを特徴とする圧電膜製造方法。
  3. 請求項１に記載の圧電膜製造方法において、
    前記Ａｌ− Ｃｕ合金におけるＣｕの含有率は、０．４質量％〜 ０．６質量％の範囲であることを特徴とする圧電膜製造方法。
  4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の圧電膜製造方法において、
    前記Ｎ２ガスと前記Ａｒガスとの混合比は、Ｎ２ガス５０体積％：Ａｒガス５０体積％〜Ｎ２ガス９９体積％：Ａｒガス１体積％の範囲であることを特徴とする圧電膜製造方法。
  5. 振動腕を有する振動片と、前記振動片を収容するパッケージとを準備する工程と、
    Ｎ ２ ガスとＡｒガスとの混合雰囲気中において、Ａｌ− Ｃｕ合金を成膜材料とし、スパッタ法を用いて、圧電膜を前記振動腕に成膜する工程と、
    前記振動片を前記パッケージに収容する工程を含むことを特徴とする振動子製造方法。
  6. 振動腕、を有し、
    前記振動腕は圧電膜を備えており、
    前記圧電膜はＣｕを含んでいることを特徴とする振動片。
  7. 請求項６に記載の振動片において、
    前記圧電膜はＡｌＮを含むことを特徴とする振動片。
  8. 請求項６または７に記載の振動片において、
    前記圧電膜は第１面、および前記第１面と反対側にある第２面を有し、
    前記第１面に第１導電膜が設けられ、前記第２面に第２導電膜が設けられていることを特徴とする振動片。
  9. 請求項６に記載の振動片と、
    前記振動片を収容しているパッケージと、
    を備えていることを特徴とする振動子。
  10. 請求項６に記載の振動片と、
    前記振動片を発振させる発振回路と、
    を備えていることを特徴とする発振器。
  11. 請求項６に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
  12. 請求項６に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
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