JPH0321111A - 弾性表面波装置及びその製造方法 - Google Patents
弾性表面波装置及びその製造方法Info
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- JPH0321111A JPH0321111A JP11972689A JP11972689A JPH0321111A JP H0321111 A JPH0321111 A JP H0321111A JP 11972689 A JP11972689 A JP 11972689A JP 11972689 A JP11972689 A JP 11972689A JP H0321111 A JPH0321111 A JP H0321111A
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Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弥性表面波装置及びその製造方法に関するもの
である。
である。
従来例をｉｌｌ，性表面波共振子の電極を例にとり説明
する。一般的に弾性表面波共振子にはインクディジタル
電極（櫛形の人出力電極）が形成されている。このイン
ターディジタル電極は純Ａρ又はＡ．ｌｌｌ系合金で形
威されているのが通常である。
する。一般的に弾性表面波共振子にはインクディジタル
電極（櫛形の人出力電極）が形成されている。このイン
ターディジタル電極は純Ａρ又はＡ．ｌｌｌ系合金で形
威されているのが通常である。
この人力電極に交流の電気信号を印加すると圧電体の圧
電現象により電気機械変換が生じて弥性表面波が発生ず
る。インターディジタル電極により励振した弾性表面波
を両側に配置した反射器間に閉じことにより高いＱを持
つ共振子を実現することができる。
電現象により電気機械変換が生じて弥性表面波が発生ず
る。インターディジタル電極により励振した弾性表面波
を両側に配置した反射器間に閉じことにより高いＱを持
つ共振子を実現することができる。
このような弾性表面装置において、ＩＣのＡρ配線に生
ずるのと類似の電極劣化（エレク１・ロマイグレーショ
ン）か問題であった。これに影響を与えるところの圧電
性基板の弾性表面波応力（ＳＡＷ応力）Ｔは、以下の式
であらわされる。
ずるのと類似の電極劣化（エレク１・ロマイグレーショ
ン）か問題であった。これに影響を与えるところの圧電
性基板の弾性表面波応力（ＳＡＷ応力）Ｔは、以下の式
であらわされる。
Ｔ＝Ａ．７Ｐｗ Ａ：定数
ここでＰはＳＡＷパワー密度（ １１１位長当り）、ｗ
はＳＡＷ角周波数である。この式からＳＡＷ応力Ｔは電
力と周波数の増加に応じて高くなり、先程のエレクトロ
マイグレーションについても厳しい条件になってくる。
はＳＡＷ角周波数である。この式からＳＡＷ応力Ｔは電
力と周波数の増加に応じて高くなり、先程のエレクトロ
マイグレーションについても厳しい条件になってくる。
例えば８００ＭＨｚ帯の自動車電話分波器用ＳＡＷフィ
ルターでは、ＩＷクラスより５Ｗクラスへの大電力タイ
プにおいて厳しく又、共振器では、数百ＭＨｚからＧＨ
ｚ帯へと高周波になるほど劣化は急速に進行してゆく。
ルターでは、ＩＷクラスより５Ｗクラスへの大電力タイ
プにおいて厳しく又、共振器では、数百ＭＨｚからＧＨ
ｚ帯へと高周波になるほど劣化は急速に進行してゆく。
この電極劣化の原因は高周波のＳＡＷ応力を主な駆動力
とする電極材料の粒界拡散であると考えられている。こ
の対策として、ＡρへのＣｕやＴｉの添加により薄膜の
結晶粒子の微細化と均質化することで耐久性向上してき
たが、さらに大電力化、高周波化する状況下において、
現状以上の耐久性向上策が必要になってきている。
とする電極材料の粒界拡散であると考えられている。こ
の対策として、ＡρへのＣｕやＴｉの添加により薄膜の
結晶粒子の微細化と均質化することで耐久性向上してき
たが、さらに大電力化、高周波化する状況下において、
現状以上の耐久性向上策が必要になってきている。
本発明は、この様な問題点を解決するもので、その目的
とするところは、より高耐久の弾性表面波装置とその製
造方法を提供することにある。
とするところは、より高耐久の弾性表面波装置とその製
造方法を提供することにある。
本発明による俳性表面波装置は、圧電性基板とＡＤ系電
極材料との間にＡｇ系窒化物層を介在させることを特徴
とするものである。
極材料との間にＡｇ系窒化物層を介在させることを特徴
とするものである。
又、その製造方法は窒素ガス中での反応性スバッタを行
うことによりＡｇ系窒化物層を形成することを特徴とす
るものである。
うことによりＡｇ系窒化物層を形成することを特徴とす
るものである。
本発明の作用を述べれば、圧電基盤とＡＤ系電極材料と
の間にＡ，ｉｌｌ系窒化物層を設けることにより、Ａｌ
系窒化物層の微細粒子が、その上部の膜の粒子に影響を
与えてその膜を微細化・均一化することにより電極の耐
久性を向上出来た。
の間にＡ，ｉｌｌ系窒化物層を設けることにより、Ａｌ
系窒化物層の微細粒子が、その上部の膜の粒子に影響を
与えてその膜を微細化・均一化することにより電極の耐
久性を向上出来た。
本発明による実施例を以下に示す。
最終研磨加工した圧電体基板上に、下記の条件でＡｌｌ
系窒化物層を形成した。
系窒化物層を形成した。
電極材料膜形成装置：ＤＣマグネトロンスパツタ装置
ターゲット材料：Ａ．ｌ！ −０． ５ｗｔ％Ｃｕ基
板：ＳＴカット水晶 基板温度：２２０°Ｃ 導入ガス条件：Ａｒ＋１０％Ｎ２、１Ｐａスパッタパワ
ー ０，６ｋＷ 上記の条件で約４００Ａのｌｌ系窒化物層を形成３ ４ した。次に上記の導入ガスを純アルゴンに変更すること
によりＡｊ）−Ｃｕ材料系膜を形成し、合計０．１μの
電極用薄膜を形成した。この薄膜は、従来とまったく同
様のプロセスを用いてインタディジタル電極を形成出来
た。
板：ＳＴカット水晶 基板温度：２２０°Ｃ 導入ガス条件：Ａｒ＋１０％Ｎ２、１Ｐａスパッタパワ
ー ０，６ｋＷ 上記の条件で約４００Ａのｌｌ系窒化物層を形成３ ４ した。次に上記の導入ガスを純アルゴンに変更すること
によりＡｊ）−Ｃｕ材料系膜を形成し、合計０．１μの
電極用薄膜を形成した。この薄膜は、従来とまったく同
様のプロセスを用いてインタディジタル電極を形成出来
た。
上述の如く、本発明によれば、下付けのＡｌ系窒化物は
、平均２００人の粒径の薄膜が形成されており、その上
付けのＡ１ｌ−Ｃｕ系膜も下地の影響を受けて、従来技
術による膜の約６０％に微細化をはかることができた。
、平均２００人の粒径の薄膜が形成されており、その上
付けのＡ１ｌ−Ｃｕ系膜も下地の影響を受けて、従来技
術による膜の約６０％に微細化をはかることができた。
それにより電極の劣化時間を大幅に延長出来る様になっ
た。
た。
電極の寿命の評価は一定の温度と電力（振動による応力
）を加えた時の、共振器のピーク周波数が一定量（５０
ＫＨｚ）変化した場合を劣化とし、試験開始から劣化ま
での時間をもって寿命時間として測定したが、その結果
、本発明による弾性表面波装置は同一のＳＡＷ電力に対
して約３〜５倍の寿命時間を有することが分った。
）を加えた時の、共振器のピーク周波数が一定量（５０
ＫＨｚ）変化した場合を劣化とし、試験開始から劣化ま
での時間をもって寿命時間として測定したが、その結果
、本発明による弾性表面波装置は同一のＳＡＷ電力に対
して約３〜５倍の寿命時間を有することが分った。
これにより劣化が少く信頼性が高い弾性表面波装置を実
現出来た。さらに今後高周波化、大電ツｊ化が進み使用
条件が増々厳しくなる中で、その特徴を発揮出来るもの
である。
現出来た。さらに今後高周波化、大電ツｊ化が進み使用
条件が増々厳しくなる中で、その特徴を発揮出来るもの
である。
以上
Claims (2)
- （１）圧電性基板とＡｌ系電極材料との間にＡｌ系窒化
物層を介在させることを特徴とする弾性表面波装置。 - （２）窒素ガス中で反応性スパッタを行うことによりＡ
ｌ系窒化物層を形成することを特徴とする、請求項１記
載の弾性表面波装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11972689A JPH0321111A (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11972689A JPH0321111A (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321111A true JPH0321111A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=14768604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11972689A Pending JPH0321111A (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321111A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04121797U (ja) * | 1991-04-19 | 1992-10-30 | テイーデイーケイ株式会社 | 電子部品の自動供給装置 |
| JP2015023483A (ja) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電膜製造方法、振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
-
1989
- 1989-05-12 JP JP11972689A patent/JPH0321111A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04121797U (ja) * | 1991-04-19 | 1992-10-30 | テイーデイーケイ株式会社 | 電子部品の自動供給装置 |
| JP2015023483A (ja) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電膜製造方法、振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
| CN104333338A (zh) * | 2013-07-22 | 2015-02-04 | 精工爱普生株式会社 | 压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体 |
| CN110724917A (zh) * | 2013-07-22 | 2020-01-24 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体 |
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