JP6822118B2 - 振動子、発振器、電子機器、および移動体 - Google Patents
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Description
[振動子]
先ず、本実施形態に係る振動子1について、図1A、図1B、および図1Cを参照して説明する。
図1Aは、本実施形態に係る振動子の構成を示す概略平面図である。また、図1Bは、図1Aに示すB−B’における概略断面図であり、図1Cは、図1Aに示すC−C’における概略断面図である。ただし、断面の背景を示す線は省略されている。
図2は、各種振動子の周波数温度特性を示すグラフである。図3は、酸化ケイ素(SiO2)の厚みと1次温度係数αとの関係を示すグラフである。
温度特性調整膜30は、振動腕部22の共振周波数の周波数温度特性を補正するために設けられている。シリコンは、温度が高くなるにつれて共振周波数が低下する周波数温度特性を有しており、一方、酸化ケイ素は、温度が高くなるにつれて共振周波数が上昇する周波数温度特性を有している。従って、シリコンの振動体20の振動腕部22上に酸化ケイ素である温度特性調整膜30を配置することにより、振動体20の振動腕部22と温度特性調整膜30とで構成される複合体の共振周波数の周波数温度特性をフラットに近付けることができる。
図2におけるC1は、振動体20が水晶で構成された音叉型水晶振動子の周波数温度特性であり、C2は、振動体20がシリコンで構成された3脚型シリコン振動子の周波数温度特性である。3脚型シリコン振動子の周波数温度特性が非常に急峻であるのに対し、音叉型水晶振動子の周波数温度特性は温度範囲−25℃〜+75℃において、共振周波数変化量ΔFが0ppm〜−180ppmとフラットである。C1の音叉型水晶振動子の周波数温度特性は電子機器等の基準クロックとして活用可能な水準である。
従って、図2より、温度特性調整膜30を形成した3脚型シリコン振動子A1〜A3は、温度特性調整膜30の無い3脚型シリコン振動子C2に比べ、周波数温度特性を大幅に補正することができ、音叉型水晶振動子C1に近い周波数温度特性を得ることができることが確認できる。
よって、第1の酸化ケイ素層31の厚みtaの下限が0.785μm(0.157×tsi)、上限が1.147μm(0.229×tsi)となり、第2の酸化ケイ素層32の厚みtbの下限が1.132μm(0.226×tsi)、上限が2.253μm(0.451×tsi)となる。
よって、第1の酸化ケイ素層31の厚みtaの下限が0.880μm(0.176×tsi)、上限が0.953μm(0.191×tsi)となり、第2の酸化ケイ素層32の厚みtbの下限が1.321μm(0.264×tsi)、上限が1.876μm(0.375×tsi)となる。
次に、本実施形態に係る振動子1の製造工程について、図4A〜図4Dおよび図5A〜〜図5Hを参照して説明する。
図4A〜図4Dは、本実施形態に係る振動子1の製造工程を示す概略平面図である。また、図5A〜図5Hは、本実施形態に係る振動子1の製造工程を示す図4AのA−A’線の位置に相当する概略断面図である。なお、断面の背景を示す線は省略されている。
次に、本発明の振動子1を備える発振器100について説明する。
図6は、本発明の振動子1を備える発振器100の構造を示す概略断面図である。
発振器100は、振動子1と、振動子1を収納するパッケージ本体50と、振動子1を発振させるための発振回路を有するICチップ(チップ部品)60と、ガラス、セラミック、又は金属等から成る蓋部材56と、で構成されている。なお、振動子1を収容するキャビティー70内はほぼ真空の減圧空間となっている。
従って、周波数温度特性に優れた振動子1を備えていることにより、高性能な発振器100を得ることができる。
次に、本発明の一実施形態に係る振動子1を適用した電子機器について、図7、図8、および図9を参照して説明する。
デジタルスチールカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、ディスプレイ1000が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、ディスプレイ1000は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCD等を含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者がディスプレイ1000に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1330が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1340が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1330や、パーソナルコンピューター1340に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ1300には、基準クロック等として機能する振動子1が内蔵されている。
次に、本発明の一実施形態に係る振動子1を適用した移動体について、図10を参照して説明する。
図10は、本発明の移動体の一例としての自動車1400を概略的に示す斜視図である。
自動車1400には、振動子1が搭載されている。振動子1は、キーレスエントリー、イモビライザー、ナビゲーションシステム、エアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS:Antilock Brake System)、エアバック、タイヤプレッシャーモニタリングシステム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット(ECU:Electronic Control Unit)1410に広く適用できる。
Claims (9)
- 3つの振動腕部を有する振動体を備え、
シリコンからなる基材と、
前記基材の第1面に配置された第1の酸化ケイ素層と、
前記第1の酸化ケイ素層の前記基材とは反対側に配置されており、前記第1の酸化ケイ素層よりも密度が低い第2の酸化ケイ素層と、を含み、
前記基材の厚さをtsi、前記第1の酸化ケイ素層の厚さをta、前記第2の酸化ケイ素層の厚さをtbとした場合に、
(0.138×tsi)/2<ta<(0.268×tsi)/2、且つ、(0.189×tsi)/2<tb<(0.527×tsi)/2
を満たすことを特徴とする振動子。 - (0.157×tsi)/2<ta<(0.229×tsi)/2、且つ、(0.226×tsi)/2<tb<(0.451×tsi)/2
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の振動子。 - (0.176×tsi)/2<ta<(0.191×tsi)/2、且つ、(0.264×tsi)/2<tb<(0.375×tsi)/2
を満たすことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の振動子。 - 前記第2の酸化ケイ素層のエッチングレートは、前記第1の酸化ケイ素層のエッチングレートよりも大きいことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の振動子。
- 前記第1面は、前記振動腕部の振動方向と交差する面であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の振動子。
- さらに、
前記第2の酸化ケイ素層の前記第1の酸化ケイ素層とは反対側に配置された第1電極と、
前記第1電極の前記第2の酸化ケイ素層とは反対側に配置された圧電体層と、
前記圧電体層の前記第1電極とは反対側に配置された第2電極と、
を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の振動子。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の振動子と、
前記振動子を発振させる発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の振動子を備えていることを特徴とする移動体。
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