JP2010213262A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 圧電材からなる基部と、
   前記基部から所定厚さで且つ所定の腕幅で平行に伸びる一対の振動腕と、
   前記振動腕の先端の手前から先端側に向けて前記振動腕の腕幅が拡大されている一対の錘部と、を備え、
   前記一対の錘部の断面形状は、前記一対の振動腕の中心となる中心軸を基準に点対称に形成されるとともに、前記錘部の少なくとも一部の厚さが前記所定厚さより薄く形成される音叉型圧電振動片。
2. 前記錘部の前記中心軸側の端部が薄く形成され、前記一対の振動腕が励振する際に、前記一対の薄く形成された部分は前記錘部の厚さ方向に空間を隔てていることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
3. 前記薄く形成された部分の厚さが前記所定厚さの半分より薄いことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の音叉型圧電振動片。
4. 前記錘部の腕幅は、前記錘部の先端から前記基部方向に変化することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。
5. 前記薄く形成された部分は、前記先端から基部に向けて腕幅が徐々に小さくなっていることを特徴とする請求項５に記載の音叉型圧電振動片。
6. 前記錘部のすべてが、前記所定厚さより薄く形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片。
7. 圧電材からなる基部と、
   前記基部から所定厚さで且つ所定の腕幅で平行に伸びる一対の振動腕と、
   前記振動腕の先端の手前から先端側に向けて前記振動腕の腕幅が拡大されている一対の錘部と、
   前記一対の振動腕の両外側において前記基部の一端側から平行に伸びる一対の支持腕と、
   前記支持腕と接続されるとともに前記基部及び前記振動腕を囲む外枠部と、を備え、
   前記一対の錘部の断面形状は、前記一対の振動腕の中心となる中心軸を基準に点対称に形成されるとともに、前記錘部の少なくとも一部の厚さが前記所定厚さより薄いく形成される圧電フレーム。
8. 前記支持腕の断面形状は、前記一対の振動腕の中心となる中心軸を基準に点対称に形成されるとともに、前記支持腕の一部が前記所定厚さより薄く形成される請求項７に記載の圧電フレーム。
9. 前記錘部の両外側の端部が薄く形成され、前記一対の振動腕が励振する際に、前記両外側の端部が前記支持腕の薄く形成された部分と厚さ方向に空間を隔てていることを特徴とする請求項８に記載の圧電フレーム。
10. 前記錘部の腕幅は、前記錘部の先端から前記基部方向に変化することを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか一項に記載の圧電フレーム。
11. 前記錘部の両外側の端部の厚さが前記振動腕の所定厚さの半分より薄いことを特徴とする請求項７ないし請求項１０に記載の圧電フレーム。
12. 前記錘部のすべてが、前記振動腕の所定厚さの半分より薄いことを特徴とする請求項７ないし請求項１０に記載の圧電フレーム。
13. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の音叉型圧電振動片と、
    前記圧電振動片を覆う蓋部と、
    前記圧電振動片を支えるベースと、を備えることを特徴とする圧電デバイス。
14. 請求項７から請求項１２のいずれか一項に記載の圧電フレームと、
    前記圧電フレームの前記外枠部の一方の面に接合され、前記基部及び前記振動腕を覆う蓋部と、
    前記外枠部の他方の面に接合されるベースと、を備えることを特徴とする圧電デバイス。
15. 基部から所定厚さで平行に伸びる一対の振動腕とこの振動腕の先端に形成された錘部とを有する音叉型圧電振動片を製造する音叉型圧電振動片の製造方法において、
    前記音叉型圧電振動片の外形を、前記音叉型圧電振動片の外形に対応する第一マスクを使って、前記所定厚さの圧電ウエハを露光する第一露光工程と、
    前記錘部の断面形状の少なくとも一部が薄くなるように、前記一対の振動腕の中心となる中心軸を基準に点対称位置の前記錘部を露光する第二露光工程と、
    前記振動腕の根元部に溝部を形成するように、前記振動腕の根元部を露光する第三露光工程と、
    前記第一露光工程による圧電ウエハをエッチングする第一エッチング工程と、
    前記第二露光工程による圧電ウエハをエッチングする第二エッチング工程と、
    前記第三露光工程による圧電ウエハをエッチングする第三エッチング工程と、
    を備えることを特徴とする音叉型圧電振動片の製造方法。
16. 前記第二露光工程は前記薄く形成される部分に対応した第二マスクを使って露光し、前記第三露光工程は前記溝部に対応した第三マスクを使って露光し、
    前記第二エッチング工程及び前記第三エッチング工程が別々に行われることを特徴とする請求項１５に記載の圧電フレームの製造方法。
17. 前記第二露光工程及び前記第三露光工程は前記薄く形成される部分及び前記溝部に対応した第四マスクを使って一度に露光し、
    前記第二エッチング工程及び前記第三エッチング工程が同時に行われることを特徴とする請求項１５に記載の圧電フレームの製造方法。
18. 基部から所定厚さで平行に伸びる一対の振動腕及びこの振動腕の先端に形成された錘部を有する音叉型圧電振動片と、前記音叉型水晶振動片を囲む外枠と、前記基部から前記振動腕の外側で伸びて前記外枠に接続する支持腕と有する圧電フレームを製造する圧電フレームの製造方法において、
    前記音叉型圧電振動片、前記外枠及び前記支持腕の外形を、前記音叉型圧電振動片、前記外枠及び前記支持腕の外形に対応する第一マスクを使って、前記所定厚さの圧電ウエハを露光する第一露光工程と、
    前記錘部の断面形状の少なくとも一部が前記一対の振動腕の中心となる中心軸を基準に点対称に薄くなるように、且つ前記支持腕の断面形状の少なくとも一部が前記一対の振動腕の中心となる中心軸を基準に点対称に薄くなるように、前記錘部および前記支持腕を露光する第二露光工程と、
    前記振動腕の溝部を形成するように、前記振動腕の根元部を露光する第三露光工程と、
    前記第一露光工程による圧電ウエハをエッチングする第一エッチング工程と、
    前記第二露光工程による圧電ウエハをエッチングする第二エッチング工程と、
    前記第三露光工程による圧電ウエハをエッチングする第三エッチング工程と、
    を備えることを特徴とする圧電フレームの製造方法。
19. 前記第二露光工程は前記錘部の薄く形成される部分及び前記支持腕の薄く形成される部分に対応した第二マスクを使って露光し、前記第三露光工程は前記溝部に対応した第三マスクを使って露光し、
    前記第二エッチング工程及び前記第三エッチング工程が別々に行われることを特徴とする請求項１８に記載の圧電フレームの製造方法。
20. 前記第二露光工程及び前記第三露光工程は、前記錘部の薄く形成される部分、前記支持腕の薄く形成される部分及び前記溝部に対応した第四マスクを使って一度に露光し、
    前記第二エッチング工程及び前記第三エッチング工程が同時に行われることを特徴とする請求項１８に記載の圧電フレームの製造方法。