ATE453954T1 - Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeiten - Google Patents
Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeitenInfo
- Publication number
- ATE453954T1 ATE453954T1 AT07014189T AT07014189T ATE453954T1 AT E453954 T1 ATE453954 T1 AT E453954T1 AT 07014189 T AT07014189 T AT 07014189T AT 07014189 T AT07014189 T AT 07014189T AT E453954 T1 ATE453954 T1 AT E453954T1
- Authority
- AT
- Austria
- Prior art keywords
- piezoelectric resonator
- arm
- flipper
- movement capabilities
- free end
- Prior art date
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP07014189A EP2017960B1 (de) | 2007-07-19 | 2007-07-19 | Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ATE453954T1 true ATE453954T1 (de) | 2010-01-15 |
Family
ID=38764135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| AT07014189T ATE453954T1 (de) | 2007-07-19 | 2007-07-19 | Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeiten |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7626318B2 (de) |
| EP (1) | EP2017960B1 (de) |
| JP (1) | JP5048603B2 (de) |
| CN (1) | CN101383600B (de) |
| AT (1) | ATE453954T1 (de) |
| DE (1) | DE602007004102D1 (de) |
| TW (1) | TWI444792B (de) |
Families Citing this family (47)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4409979B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-02-03 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子 |
| JP4709260B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2011-06-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP4885206B2 (ja) | 2008-12-22 | 2012-02-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
| US8203256B2 (en) * | 2009-02-10 | 2012-06-19 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Tuning-fork type piezoelectric vibrating piece, piezoelectric frame, piezoelectric device, and a manufacturing method of tuning-fork type piezoelectric vibrating piece and piezoelectric frame |
| JP5509647B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2014-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片 |
| JP5353486B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2013-11-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片および振動子 |
| JP5565154B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
| JP5761429B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2015-08-12 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
| CN102025342B (zh) | 2009-09-18 | 2014-12-17 | 精工爱普生株式会社 | 振动片、振子、振荡器、以及电子仪器 |
| JP5565163B2 (ja) | 2009-10-08 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
| TWI398097B (zh) * | 2009-11-18 | 2013-06-01 | Wafer Mems Co Ltd | 音叉型石英晶體諧振器 |
| JP5789914B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2015-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス |
| JP5789913B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2015-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス |
| US8283988B2 (en) * | 2010-02-25 | 2012-10-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
| JP5732728B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2015-06-10 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP5671821B2 (ja) * | 2010-03-16 | 2015-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片及びデバイス |
| US20110227658A1 (en) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, piezoelectric device, and electronic device |
| JP2011199330A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器 |
| US8692632B2 (en) | 2010-03-17 | 2014-04-08 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
| US8304968B2 (en) | 2010-03-17 | 2012-11-06 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
| JP2012129904A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Seiko Epson Corp | 電子機器 |
| US20110227458A1 (en) * | 2010-03-17 | 2011-09-22 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator element, piezoelectric device, and electronic apparatus |
| JP5499852B2 (ja) * | 2010-04-08 | 2014-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子 |
| JP2011239132A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
| EP2395661A1 (de) * | 2010-06-10 | 2011-12-14 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Temperaturkompensierter Resonator mit reduzierten Temperaturkoeffizienten erster und zweiter Ordnung |
| JP5617392B2 (ja) | 2010-07-09 | 2014-11-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP5659585B2 (ja) | 2010-07-09 | 2015-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP5796280B2 (ja) * | 2010-07-21 | 2015-10-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP5788728B2 (ja) * | 2011-07-21 | 2015-10-07 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
| EP2613440B1 (de) | 2012-01-09 | 2019-07-10 | Micro Crystal AG | Kleiner piezolektrischer Stimmgabelresonator |
| US8933614B2 (en) | 2012-01-09 | 2015-01-13 | Micro Crystal Ag | Small-sized piezoelectric tuning-fork resonator |
| JP6094083B2 (ja) * | 2012-07-26 | 2017-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
| JP6127495B2 (ja) | 2012-12-19 | 2017-05-17 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、移動体、および振動片の製造方法 |
| JP6349622B2 (ja) | 2013-03-14 | 2018-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6107333B2 (ja) | 2013-03-29 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JPWO2014208251A1 (ja) * | 2013-06-26 | 2017-02-23 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動子 |
| JP5696751B2 (ja) * | 2013-08-29 | 2015-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片および振動子 |
| JP2015109633A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-06-11 | 株式会社大真空 | 圧電振動素子と当該圧電振動素子を用いた圧電デバイスおよび、前記圧電振動素子の製造方法と当該圧電振動素子を用いた圧電デバイスの製造方法 |
| JP6287208B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-03-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 |
| JP5811216B2 (ja) * | 2014-03-11 | 2015-11-11 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器 |
| JP2015015770A (ja) * | 2014-10-09 | 2015-01-22 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP2016146595A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片の製造方法、ウェハー、振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 |
| JP6620516B2 (ja) * | 2015-10-28 | 2019-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型振動片の製造方法、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
| EP3468036A1 (de) | 2017-10-03 | 2019-04-10 | Micro Crystal AG | Piezoelektrischer resonator kleiner grösse |
| JP2020101429A (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、物理量センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体 |
| CN111351478B (zh) * | 2020-04-16 | 2023-07-21 | 北京晨晶电子有限公司 | 一种振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备 |
| CN113123945A (zh) * | 2021-04-26 | 2021-07-16 | 长春工业大学 | 一种用于农业喷灌的基于柔性支撑的音叉式谐振泵 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3683213A (en) * | 1971-03-09 | 1972-08-08 | Statek Corp | Microresonator of tuning fork configuration |
| JPS5489283U (de) * | 1977-12-08 | 1979-06-23 | ||
| FR2467487A1 (fr) * | 1979-10-15 | 1981-04-17 | Ebauches Sa | Resonateur piezoelectrique |
| JP3135317B2 (ja) * | 1991-11-08 | 2001-02-13 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 捩り水晶振動子 |
| US6262520B1 (en) * | 1999-09-15 | 2001-07-17 | Bei Technologies, Inc. | Inertial rate sensor tuning fork |
| US6587009B2 (en) * | 2000-12-25 | 2003-07-01 | Seiko Epson Corporation | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic equipment |
| JP2002261577A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置 |
| US6791243B2 (en) * | 2002-03-06 | 2004-09-14 | Piedek Technical Laboratory | Quartz crystal unit and its manufacturing method |
| JP4356366B2 (ja) * | 2003-06-10 | 2009-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
| DE602004027033D1 (de) * | 2004-09-03 | 2010-06-17 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Quartzresonator mit sehr kleinen Abmessungen |
| JP4301200B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2009-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP2007013910A (ja) * | 2005-05-31 | 2007-01-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 圧電振動子 |
| EP1732220B1 (de) * | 2005-06-09 | 2008-03-26 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Piezoelektrischer Resonator mit kleinen Abmessungen |
-
2007
- 2007-07-19 DE DE602007004102T patent/DE602007004102D1/de active Active
- 2007-07-19 EP EP07014189A patent/EP2017960B1/de active Active
- 2007-07-19 AT AT07014189T patent/ATE453954T1/de not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-07-14 TW TW097126650A patent/TWI444792B/zh active
- 2008-07-15 JP JP2008183525A patent/JP5048603B2/ja active Active
- 2008-07-18 US US12/176,154 patent/US7626318B2/en active Active
- 2008-07-18 CN CN2008101686395A patent/CN101383600B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI444792B (zh) | 2014-07-11 |
| TW200912576A (en) | 2009-03-16 |
| CN101383600A (zh) | 2009-03-11 |
| CN101383600B (zh) | 2013-02-27 |
| US7626318B2 (en) | 2009-12-01 |
| EP2017960B1 (de) | 2009-12-30 |
| JP5048603B2 (ja) | 2012-10-17 |
| JP2009027711A (ja) | 2009-02-05 |
| DE602007004102D1 (de) | 2010-02-11 |
| EP2017960A1 (de) | 2009-01-21 |
| US20090021120A1 (en) | 2009-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE453954T1 (de) | Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeiten | |
| JP2011019159A5 (de) | ||
| ATE390759T1 (de) | Piezoelektrischer resonator mit kleinen abmessungen | |
| WO2009038736A3 (en) | Single-resonator dual-frequency lateral-extension mode piezoelectric oscillators, and operating methods thereof | |
| JP2010035221A5 (de) | ||
| RU2011110052A (ru) | Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство | |
| WO2008049122A3 (en) | High frequency nanotube oscillator | |
| JP2010028610A5 (de) | ||
| JP2011155628A5 (de) | ||
| JP2011061276A5 (de) | ||
| FI20105849L (fi) | Mikromekaaninen resonaattorijärjestelmä ja menetelmä sen valmistamiseksi | |
| FR2914530B1 (fr) | Pilotage optimal a la frequence de resonance d'un resonateur d'un allumage radiofrequence. | |
| JP2012178819A5 (de) | ||
| ATE515830T1 (de) | Volumenwellenresonator | |
| ATE551732T1 (de) | Piezoelektrischer aktor für einen ultraschallmotor | |
| JP2010232932A5 (ja) | 振動片 | |
| MX365076B (es) | Aplicaciones de resonador para langasita y sus isomorfos. | |
| JP2012160996A5 (de) | ||
| WO2011139706A3 (en) | Tubular linear piezoelectric motor | |
| WO2007028817A3 (de) | Vorrichtung mit piezoakustischem resonatorelement, verfahren zu dessen herstellung und verfahren zur ausgabe eines signals in abhängigkeit einer resonanzfrequenz | |
| JP2012054946A5 (de) | ||
| JP2010181210A5 (ja) | センサ | |
| WO2014125178A9 (fr) | Structure plane de résonateur mécanique découplé par des vibrations de flexion et d'extension-compression | |
| RU2004128125A (ru) | Кварцевый резонатор | |
| JP2009100076A5 (de) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RER | Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties |