JPH0744418B2 - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPH0744418B2 JPH0744418B2 JP63218884A JP21888488A JPH0744418B2 JP H0744418 B2 JPH0744418 B2 JP H0744418B2 JP 63218884 A JP63218884 A JP 63218884A JP 21888488 A JP21888488 A JP 21888488A JP H0744418 B2 JPH0744418 B2 JP H0744418B2
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- piezoelectric substrate
- piezoelectric vibrator
- tuning fork
- piezoelectric
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、圧電振動子に関し、更に詳しくは、小形化に
適し且つ量産しやすい構造の圧電振動子に関する。
適し且つ量産しやすい構造の圧電振動子に関する。
〔従来の技術〕 第６図及び第７図に従来の圧電振動子の一例を示す。
この圧電振動子101は、音叉部102aを有する圧電基板102
を、外部との接続用の電極103f,103gを形成したベース
板103上に接着し、圧電基板102を囲むように枠形スペー
サ104を接着し、更に、蓋板105を接着した構造となって
いる。
を、外部との接続用の電極103f,103gを形成したベース
板103上に接着し、圧電基板102を囲むように枠形スペー
サ104を接着し、更に、蓋板105を接着した構造となって
いる。
上記従来の圧電振動子101では、圧電基板102よりも枠形
スペーサ104のサイズが大きく、更にその枠形スペーサ1
04よりもベース板103のサイズが大きい。
スペーサ104のサイズが大きく、更にその枠形スペーサ1
04よりもベース板103のサイズが大きい。
すなわち、圧電基板102のサイズを限界まで小形化して
も、それよりも圧電振動子101の外形サイズが２回りほ
ど大きくなってしまう問題点がある。
も、それよりも圧電振動子101の外形サイズが２回りほ
ど大きくなってしまう問題点がある。
更に、圧電基板102と，ベース板103と，枠形スペーサ10
4の相互の位置決めを正確に行わねばならないなどの製
造上の困難性があり、量産化しにくい問題点がある。
4の相互の位置決めを正確に行わねばならないなどの製
造上の困難性があり、量産化しにくい問題点がある。
従って、本発明の目的とするところは、外形サイズを小
形化できるとともに、量産しやすい構造とした圧電振動
子を提供することにある。
形化できるとともに、量産しやすい構造とした圧電振動
子を提供することにある。
本発明の圧電振動子は、音叉部形成辺からスリットを刻
設することにより形成された音叉部を有する圧電基板
と、その圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合
わされるように配設されるこの圧電基板とは別体の独立
したスペーサと、前記圧電基板およびスペーサをサンド
イッチ状に表面側と裏面側とから挟む表面側シートおよ
び裏面側シートとを具備し、これら圧電基板とスペーサ
と表面側シート裏面側シートが少なくとも音叉部近傍を
除いて接着により一体化されてなることを構成上の特徴
とするものである。
設することにより形成された音叉部を有する圧電基板
と、その圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合
わされるように配設されるこの圧電基板とは別体の独立
したスペーサと、前記圧電基板およびスペーサをサンド
イッチ状に表面側と裏面側とから挟む表面側シートおよ
び裏面側シートとを具備し、これら圧電基板とスペーサ
と表面側シート裏面側シートが少なくとも音叉部近傍を
除いて接着により一体化されてなることを構成上の特徴
とするものである。
本発明の圧電振動子は、表面側シートと裏面側シートの
間に、圧電基板とスペーサとをサンドイッチ状に挟んだ
構造なので、圧電基板のサイズよりも圧電振動子の外形
サイズが極端に大きくなることはない。
間に、圧電基板とスペーサとをサンドイッチ状に挟んだ
構造なので、圧電基板のサイズよりも圧電振動子の外形
サイズが極端に大きくなることはない。
従って、圧電基板のサイズを小さくできる限界近くまで
圧電振動子の外形サイズを小形化できることとなる。
圧電振動子の外形サイズを小形化できることとなる。
また、基本的には、３枚の板状物を張り合わせることに
より製造できるから、製造上の困難性が少なく、量産性
が改善される。
より製造できるから、製造上の困難性が少なく、量産性
が改善される。
更に、圧電基板がその音叉部近傍を除いて固定されるか
ら、特性的にも向上する。
ら、特性的にも向上する。
以下、図に示す実施例に基づいて本発明を更に詳しく説
明する。ここに第１図は本発明の一実施例の圧電振動子
の斜視図、第２図は第１図に示す圧電振動子の分解斜視
図、第３図は本発明の他の実施例の圧電振動子の第２図
相当図、第４図は本発明の更に他の実施例の圧電振動子
の第２図相当図、第５図は本発明の更にまた他の実施例
の圧電振動子の第２図相当図である。尚、以下の実施例
により本発明が限定されるものではない。
明する。ここに第１図は本発明の一実施例の圧電振動子
の斜視図、第２図は第１図に示す圧電振動子の分解斜視
図、第３図は本発明の他の実施例の圧電振動子の第２図
相当図、第４図は本発明の更に他の実施例の圧電振動子
の第２図相当図、第５図は本発明の更にまた他の実施例
の圧電振動子の第２図相当図である。尚、以下の実施例
により本発明が限定されるものではない。
第１図に示すように、圧電振動子１は、圧電基板２とス
ペーサ４とを、表面側シート５と裏面側シート６とでサ
ンドイッチ状に挟み、接着剤7,8で一体化した基本的構
造をしている。
ペーサ４とを、表面側シート５と裏面側シート６とでサ
ンドイッチ状に挟み、接着剤7,8で一体化した基本的構
造をしている。
第２図に示すように、圧電基板２は、方形の一辺に音叉
部2aを形成したものである。2bは音叉部形成用スリッ
ト、2cは音叉部分離用スリットである。音叉部形成用ス
リット2bの最深部近傍の表面と裏面にはそれぞれ電極2d
と2eが形成されている。又、外部との接続用の電極2fと
2gがそれぞれ表面側及び裏面側に設けられている。
部2aを形成したものである。2bは音叉部形成用スリッ
ト、2cは音叉部分離用スリットである。音叉部形成用ス
リット2bの最深部近傍の表面と裏面にはそれぞれ電極2d
と2eが形成されている。又、外部との接続用の電極2fと
2gがそれぞれ表面側及び裏面側に設けられている。
スペーサ４は、圧電基板２とは別体で独立したこの圧電
基板２とほぼ同じ厚さの板状体により形成されており、
圧電基板２の音叉部2aに空隙３を開けて突き合わされる
ように配設される。
基板２とほぼ同じ厚さの板状体により形成されており、
圧電基板２の音叉部2aに空隙３を開けて突き合わされる
ように配設される。
表面側シート５及び裏面側シート６は、圧電基板２とス
ペーサ４とを合あわせた大きさにほぼ等しく、切り欠き
部5a,5b及び8a,8bを形成され、更に周縁に沿って接着剤
７及び８を塗布されている。
ペーサ４とを合あわせた大きさにほぼ等しく、切り欠き
部5a,5b及び8a,8bを形成され、更に周縁に沿って接着剤
７及び８を塗布されている。
圧電基板２及びスペーサ４を表面側シート５及び裏面側
シート６でサンドイッチ状に挟むと、接着剤７及び８の
厚みがあるために、少なくとも圧電基板２の音叉部2aの
近傍には空隙が形成される。従って、音叉部2aの圧電振
動が妨げられることはない。
シート６でサンドイッチ状に挟むと、接着剤７及び８の
厚みがあるために、少なくとも圧電基板２の音叉部2aの
近傍には空隙が形成される。従って、音叉部2aの圧電振
動が妨げられることはない。
又、第１図に示すように、空隙３の両端部分3aには接着
剤７及び８が流れ込むので、音叉部2aの気密性が保たれ
る。
剤７及び８が流れ込むので、音叉部2aの気密性が保たれ
る。
かかる圧電振動子１の外形サイズは、圧電基板２のサイ
ズよりもスペーサ４のサイズだけ大きくなるが、従来よ
りも圧電基板２のサイズに近くなる。従って、小形化で
きることになる。
ズよりもスペーサ４のサイズだけ大きくなるが、従来よ
りも圧電基板２のサイズに近くなる。従って、小形化で
きることになる。
また、基本的に板状物を張り合わせる技術により製造で
きるので、製造が容易となり、量産性に優れたものとな
る。
きるので、製造が容易となり、量産性に優れたものとな
る。
更に、音叉部2aの近傍は空隙になるが、その周辺は接着
剤7,8にて固定されるから、良好に振動の閉じ込めが行
われ、特性が向上する。一例では、周波数特性の山谷比
が従来の約50dBから約60dBに改善された。
剤7,8にて固定されるから、良好に振動の閉じ込めが行
われ、特性が向上する。一例では、周波数特性の山谷比
が従来の約50dBから約60dBに改善された。
尚、接着剤7,8のいずれか一方または両方を圧電基板２
およびスペーサ４に塗布してもよい。
およびスペーサ４に塗布してもよい。
次に第３図に示す圧電振動子11は、本発明の他の実施例
を示すものである。
を示すものである。
この圧電振動子11では、音叉部12aにおいて、音叉部形
成用スリット12bの端縁に沿って電極12dが形成され、
又、その電極12dの両側に電極12eが設けられている。
又、図に現れていないが、裏面には、前記電極12d,12e
に共通して対向する電極が設けられている。12f,12gは
外部への接続電極であり、これらの位置に合わせて表面
側シート15には切り欠き部15a,15bが形成されている。
接続電極12f,12gが表面側のみになるので、裏面側シー
ト16には切り欠き部は設けられていない。
成用スリット12bの端縁に沿って電極12dが形成され、
又、その電極12dの両側に電極12eが設けられている。
又、図に現れていないが、裏面には、前記電極12d,12e
に共通して対向する電極が設けられている。12f,12gは
外部への接続電極であり、これらの位置に合わせて表面
側シート15には切り欠き部15a,15bが形成されている。
接続電極12f,12gが表面側のみになるので、裏面側シー
ト16には切り欠き部は設けられていない。
表面側シート15の周縁に沿って接着剤17が塗布され、
又、裏面側シート16の周縁に沿って接着剤18が塗布さ
れ、これらによって圧電基板12とスペーサ４と表面側シ
ート15と裏面側シート16とが接着され一体化される。
又、裏面側シート16の周縁に沿って接着剤18が塗布さ
れ、これらによって圧電基板12とスペーサ４と表面側シ
ート15と裏面側シート16とが接着され一体化される。
次に、第４図は本発明の更に他の実施例の圧電振動子21
を示すものである。
を示すものである。
前記実施例の圧電振動子11と異なる点は、前記圧電振動
子11の表面側シート15に、更に、切り欠き部25cが設け
られ、又、各切り欠き部25a,25b,25cの周縁に沿って電
極25d,25e,25fが形成され、電極25eと25fとは接続電極2
5gで接続されていることである。又、前記スペーサ４に
加えて電極24aが形成されていることである。このよう
な変更は、外部との接続性を良好にするためである。
子11の表面側シート15に、更に、切り欠き部25cが設け
られ、又、各切り欠き部25a,25b,25cの周縁に沿って電
極25d,25e,25fが形成され、電極25eと25fとは接続電極2
5gで接続されていることである。又、前記スペーサ４に
加えて電極24aが形成されていることである。このよう
な変更は、外部との接続性を良好にするためである。
次に、第５図は本発明の更にまた他の実施例の圧電振動
子31を示している。
子31を示している。
この圧電振動子31では、圧電基板32の音叉部32aが外部
に飛び出した凸型構造となっており、又、スペーサ34
が、圧電基板32の凸型構造に対応して凹型構造になって
いる点が異なっているが、その他は第３図に示した圧電
振動子11と同じ構造である。
に飛び出した凸型構造となっており、又、スペーサ34
が、圧電基板32の凸型構造に対応して凹型構造になって
いる点が異なっているが、その他は第３図に示した圧電
振動子11と同じ構造である。
本発明によれば、音叉部形成辺からスリットを刻設する
ことにより形成された音叉部を有する圧電基板と、その
圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合わされる
ように配設されるこの圧電基板とは別体の独立したスペ
ーサと、前記圧電基板およびスペーサをサンドイッチ状
に表面側と裏面側とから挟む表面側シートおよび裏面側
シートとを具備し、これら圧電基板とスペーサと表面側
シート裏面側シートが少なくとも音叉部近傍を除いて接
着により一体化されてなることを特徴とする圧電振動子
が提供され、これにより圧電振動子の外形サイズを圧電
基板のサイズの近くまで小形化することが出来るように
なる。又、製造が容易となり、量産性に優れたものとな
る。更に、特性的にも優れたものとなる。
ことにより形成された音叉部を有する圧電基板と、その
圧電基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合わされる
ように配設されるこの圧電基板とは別体の独立したスペ
ーサと、前記圧電基板およびスペーサをサンドイッチ状
に表面側と裏面側とから挟む表面側シートおよび裏面側
シートとを具備し、これら圧電基板とスペーサと表面側
シート裏面側シートが少なくとも音叉部近傍を除いて接
着により一体化されてなることを特徴とする圧電振動子
が提供され、これにより圧電振動子の外形サイズを圧電
基板のサイズの近くまで小形化することが出来るように
なる。又、製造が容易となり、量産性に優れたものとな
る。更に、特性的にも優れたものとなる。
第１図は本発明の一実施例の圧電振動子の斜視図、第２
図は第１図に示す圧電振動子の分解斜視図、第３図は本
発明の他の実施例の圧電振動子の第２図相当図、第４図
は本発明の更に他の実施例の圧電振動子の第２図相当
図、第５図は本発明の更にまた他の実施例の圧電振動子
の第２図相当図、第６図は従来の圧電振動子の一例の斜
視図、第７図は第６図に示す圧電振動子の分解斜視図で
ある。 〔符号の説明〕 1,11,21,31……圧電振動子 2,12,32……圧電基板 2a,12a,32a……音叉部 3,13,23,33……空隙 4,24,34……スペーサ 5,15,25……表面側シート 6,16……裏面側シート 7,8,17,18……接着剤。
図は第１図に示す圧電振動子の分解斜視図、第３図は本
発明の他の実施例の圧電振動子の第２図相当図、第４図
は本発明の更に他の実施例の圧電振動子の第２図相当
図、第５図は本発明の更にまた他の実施例の圧電振動子
の第２図相当図、第６図は従来の圧電振動子の一例の斜
視図、第７図は第６図に示す圧電振動子の分解斜視図で
ある。 〔符号の説明〕 1,11,21,31……圧電振動子 2,12,32……圧電基板 2a,12a,32a……音叉部 3,13,23,33……空隙 4,24,34……スペーサ 5,15,25……表面側シート 6,16……裏面側シート 7,8,17,18……接着剤。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−119911（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−34575（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−77715（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−12926（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】音叉部形成辺からスリットを刻設すること
により形成された音叉部を有する圧電基板と、その圧電
基板の音叉部形成辺に空隙をあけて突き合わされるよう
に配設されるこの圧電基板とは別体の独立したスペーサ
と、前記圧電基板およびスペーサをサンドイッチ状に表
面側と裏面側とから挟む表面側シートおよび裏面側シー
トとを具備し、これら圧電基板とスペーサと表面側シー
トと裏面側シートが少なくとも音叉部近傍を除いて接着
により一体化されてなることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218884A JPH0744418B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63218884A JPH0744418B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265517A JPH0265517A (ja) | 1990-03-06 |
| JPH0744418B2 true JPH0744418B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=16726819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63218884A Expired - Fee Related JPH0744418B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744418B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5446175B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2014-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動型センサ |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534575A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-11 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Piezo-vibrator |
| JPS5977715A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-04 | Murata Mfg Co Ltd | チツプ状圧電振動部品 |
| JPS59119911A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-11 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子 |
| JPS6312926U (ja) * | 1986-04-07 | 1988-01-28 |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP63218884A patent/JPH0744418B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0265517A (ja) | 1990-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |