JPS6312926U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6312926U JPS6312926U JP5232886U JP5232886U JPS6312926U JP S6312926 U JPS6312926 U JP S6312926U JP 5232886 U JP5232886 U JP 5232886U JP 5232886 U JP5232886 U JP 5232886U JP S6312926 U JPS6312926 U JP S6312926U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer periphery
- vibrating element
- upper plate
- piezoelectric vibrating
- ultra
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
第1図、第2図a,b、第3図は本考案の実施
例を示す図、第4図は他の実施例を示す図、第5
図はバツチ処理を示す図、第5図a,bは従来例
を示す図である。 1……中板、2……上板、3……下板、14,
15,21,22,23……切り欠き。
例を示す図、第4図は他の実施例を示す図、第5
図はバツチ処理を示す図、第5図a,bは従来例
を示す図である。 1……中板、2……上板、3……下板、14,
15,21,22,23……切り欠き。
補正 昭62.8.21
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第9ページ下から8行目の「第5図a」
を「第6図a」とする。
を「第6図a」とする。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧電振動素子と、この圧電振動素子の外周
を囲む枠体とを一体形成した中板を、上板と下板
により接合材を介し、振動空間を残して挾持接合
してなる超薄型圧電振動子であつて、前記圧電振
動素子は一対の励振電極を有し、一方の励振電極
は枠体の表面外周に、他方の励振電極は枠体の裏
面外周に各々延長され引出電極とし、前記上板と
中板には少なくとも1つ以上の切り欠きが設けら
れていることを特徴とする超薄型圧電振動子。 (2) 切り欠きが前記上板の外周には2つ、前記
中板の外周には1つ設けられ、前記上板の切り欠
きの1つと前記中板の切り欠きが重なるよう構成
したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
1項記載の超薄型圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5232886U JPS6312926U (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5232886U JPS6312926U (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6312926U true JPS6312926U (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=30877400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5232886U Pending JPS6312926U (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6312926U (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0228123U (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-23 | ||
JPH0265517A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-06 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子 |
JPH0236223U (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-08 | ||
JPH033839U (ja) * | 1989-06-02 | 1991-01-16 | ||
JP2007300460A (ja) * | 2006-05-01 | 2007-11-15 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子およびその製造方法 |
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JP2013153455A (ja) * | 2013-02-20 | 2013-08-08 | Seiko Epson Corp | 接合用ウェハ |
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JP2017135512A (ja) * | 2016-01-26 | 2017-08-03 | 株式会社大真空 | 水晶振動デバイスの製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62122311A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Murata Mfg Co Ltd | コンデンサ内蔵形圧電共振子 |
-
1986
- 1986-04-07 JP JP5232886U patent/JPS6312926U/ja active Pending
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