JPH08340231A - 振動子 - Google Patents
振動子Info
- Publication number
- JPH08340231A JPH08340231A JP14718595A JP14718595A JPH08340231A JP H08340231 A JPH08340231 A JP H08340231A JP 14718595 A JP14718595 A JP 14718595A JP 14718595 A JP14718595 A JP 14718595A JP H08340231 A JPH08340231 A JP H08340231A
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- electrodes
- lead
- electrode
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、振動子に関するもので、生産性の
高さと小サイズで、エネルギー損失の小さい振動子を提
供するものである。 【構成】 振動板１は、第１、第２のカバー２，３によ
る挟持部内方に舌片状の振動部９を有し、この振動部９
の表、裏面には励振用電極１０，１１を形成し、励振用
電極１０，１１からは根元部分１２を介してリード電極
１３，１４を引出し、一方は、根元側にて第１の接続部
１６を形成し、他方は、切溝８の外側壁とそれに接する
振動板１の表、裏面にコ字状に設けたリード電極部を介
して前記振動部９の遊端側に引き回され、第２の接続部
１５を形成している。
高さと小サイズで、エネルギー損失の小さい振動子を提
供するものである。 【構成】 振動板１は、第１、第２のカバー２，３によ
る挟持部内方に舌片状の振動部９を有し、この振動部９
の表、裏面には励振用電極１０，１１を形成し、励振用
電極１０，１１からは根元部分１２を介してリード電極
１３，１４を引出し、一方は、根元側にて第１の接続部
１６を形成し、他方は、切溝８の外側壁とそれに接する
振動板１の表、裏面にコ字状に設けたリード電極部を介
して前記振動部９の遊端側に引き回され、第２の接続部
１５を形成している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水晶等の振動子に関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種振動子は、振動板と、この
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１、第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１、第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を形成していた。
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１、第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１、第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を形成していた。
【０００３】従来振動部の表、裏の励振用電極と第１、
第２のカバー外の外部電極との接続は、これらの表、裏
面の励振電極からそれぞれ振動部の根元部分を介してリ
ード電極を引出し、これら表、裏のリード電極の一方
は、振動板の前記振動部の根元側にて第１接続部を形成
し、他方のリード電極は、前記一方のリード電極側に貫
通後、励振電極の側方を通って前記振動部の遊端側に延
長され、この遊端側において第２の接続部を形成し、こ
れら第１、第２の接続部は第１、あるいは第２のカバー
を貫通し、それぞれ第１、第２の外部電極と接続してい
た。
第２のカバー外の外部電極との接続は、これらの表、裏
面の励振電極からそれぞれ振動部の根元部分を介してリ
ード電極を引出し、これら表、裏のリード電極の一方
は、振動板の前記振動部の根元側にて第１接続部を形成
し、他方のリード電極は、前記一方のリード電極側に貫
通後、励振電極の側方を通って前記振動部の遊端側に延
長され、この遊端側において第２の接続部を形成し、こ
れら第１、第２の接続部は第１、あるいは第２のカバー
を貫通し、それぞれ第１、第２の外部電極と接続してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例では、一方
のリード電極は、振動部の根元部分を介して、振動板の
前記振動部の根元側にて第１接続部を形成し、他方のリ
ード電極は、前記一方のリード電極側に貫通後、励振電
極の側方を通って前記振動部の遊端側に延長され、この
遊端側において第２の接続部を形成していたため、リー
ド電極部分の配線距離が長くなるため、配線抵抗が高く
なりエネルギー損失が発生するという問題があった。
のリード電極は、振動部の根元部分を介して、振動板の
前記振動部の根元側にて第１接続部を形成し、他方のリ
ード電極は、前記一方のリード電極側に貫通後、励振電
極の側方を通って前記振動部の遊端側に延長され、この
遊端側において第２の接続部を形成していたため、リー
ド電極部分の配線距離が長くなるため、配線抵抗が高く
なりエネルギー損失が発生するという問題があった。
【０００５】従来例の構成では、配線抵抗を下げエネル
ギー損失を低減するには、リード電極の電極厚みを厚く
する方法、リード電極の幅を広くする方法が考えられ
る。ただし、前者の方法では、励振用電極とリード電極
を同工程で形成することはできなくなり、生産性は低く
なりコストが高くなる。後者の方法では、リード電極幅
を広くした分、振動子の大きさも大きくなり、サイズが
大きくなりコストが高くなるという欠点があった。
ギー損失を低減するには、リード電極の電極厚みを厚く
する方法、リード電極の幅を広くする方法が考えられ
る。ただし、前者の方法では、励振用電極とリード電極
を同工程で形成することはできなくなり、生産性は低く
なりコストが高くなる。後者の方法では、リード電極幅
を広くした分、振動子の大きさも大きくなり、サイズが
大きくなりコストが高くなるという欠点があった。
【０００６】そこで本発明は、低配線抵抗でエネルギー
損失の小さい振動子を提供するものであり、かつ、小型
サイズで、しかもリード電極と励振用電極と同工程でリ
ード電極を形成できるようにし、生産性を高めることを
目的とする。
損失の小さい振動子を提供するものであり、かつ、小型
サイズで、しかもリード電極と励振用電極と同工程でリ
ード電極を形成できるようにし、生産性を高めることを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために本発明は、振動部の表、裏面には励振用電極を
形成し、これらの表、裏面の励振用電極からはそれぞれ
振動部の根元部分を介してリード電極を引出し、これら
表、裏のリード電極の一方は、振動板の前記振動部の根
元側にて第１の接続部を形成し、他方のリード電極は、
前記振動板の舌片状の振動部の周囲に設けられた切溝の
外側壁とそれに接する振動板の表、裏面にコ字状に設け
られたリード電極部を介して、前記振動部の遊端側に引
出し、この遊端側において第２の接続部を形成し、これ
らの第１、第２の接続部は第１、あるいは第２のカバー
を貫通してそれぞれ第１、第２の外部電極と導通させた
ものである。
るために本発明は、振動部の表、裏面には励振用電極を
形成し、これらの表、裏面の励振用電極からはそれぞれ
振動部の根元部分を介してリード電極を引出し、これら
表、裏のリード電極の一方は、振動板の前記振動部の根
元側にて第１の接続部を形成し、他方のリード電極は、
前記振動板の舌片状の振動部の周囲に設けられた切溝の
外側壁とそれに接する振動板の表、裏面にコ字状に設け
られたリード電極部を介して、前記振動部の遊端側に引
出し、この遊端側において第２の接続部を形成し、これ
らの第１、第２の接続部は第１、あるいは第２のカバー
を貫通してそれぞれ第１、第２の外部電極と導通させた
ものである。
【０００８】
【作用】以上の構成とすれば、舌片状振動部の根元側に
おける第１の接続部とそれに延びるリード電極、および
遊端側の第２の接続部とそれに延びるリード電極は、こ
の振動部の表、裏の励振用電極と同工程にて形成するこ
とができるので、生産性の高いものとなるのである。か
つ、遊端側の第２の接続部に延びるリード電極は最短距
離で結ばれ、その幅も広くなるため、従来例と同様小型
サイズのまま、しかも配線抵抗を低くしエネルギー損失
を低減できるものとなるのである。
おける第１の接続部とそれに延びるリード電極、および
遊端側の第２の接続部とそれに延びるリード電極は、こ
の振動部の表、裏の励振用電極と同工程にて形成するこ
とができるので、生産性の高いものとなるのである。か
つ、遊端側の第２の接続部に延びるリード電極は最短距
離で結ばれ、その幅も広くなるため、従来例と同様小型
サイズのまま、しかも配線抵抗を低くしエネルギー損失
を低減できるものとなるのである。
【０００９】
【実施例】本発明による実施例を説明する。図１におい
て１は振動板で、板厚１００μｍの水晶板で構成されて
いる。振動板１の表、裏面には、板厚４００μｍの水晶
板よりなるカバー２，３が水晶同士の直接接合により接
合されている。尚、この図１における４，５は貫通孔
で、カバー３の裏面の対角線部分に配置され、外部電極
６，７は両端に形成されている。前記振動板１は、図２
および図３に示すように、その内方に略Ｕ字状の切溝８
が形成され、これにより舌片状の振動部９が形成されて
いる。この振動部９の表、裏面には、励振用電極１０，
１１が形成され、各々振動部９の根元部分１２を介して
そのリード電極１３，１４が引き出されている。この内
リード電極１３の端部は、図２から図６に示すごとく、
切溝８の一端部分を介して振動部９の励振用電極１１側
に延長され、この切溝８の外側壁と振動板１の表、裏面
を図７のごとくコ字状に覆った状態で反対側に引き回さ
れ、リード電極１４側の面において接続部１５を形成し
ている。また、リード電極１４は、根元部分１２側にお
いて接続部１６を形成している。そしてこれら接続部１
５，１６に対応するカバー３に形成された貫通孔４，５
内の導電体１７を介して各々外部電極６，７に接続され
ている。尚カバー２，３は、その外周部で振動板１の
表、裏面の外周部を挟持し、また直接接合されているも
のであるが、それは振動板１の切溝８の外周部において
接合されているのであって、リード電極１３が振動部９
の側方を通過している部分については、その外側におい
てカバー３と接合されている。そして、図５〜図７から
明らかなように、振動部１は、カバー２，３との挟持部
分だけを板厚を厚くし、振動部９およびリード電極１
３，１４を形成する部分などはエッチングによりその板
厚を薄くしている。図４、図７は、このエッチング工程
後の振動板１を明確に表しており、枠線１８に対応する
両面部分がエッチングによりその板厚が薄くなっている
のである。
て１は振動板で、板厚１００μｍの水晶板で構成されて
いる。振動板１の表、裏面には、板厚４００μｍの水晶
板よりなるカバー２，３が水晶同士の直接接合により接
合されている。尚、この図１における４，５は貫通孔
で、カバー３の裏面の対角線部分に配置され、外部電極
６，７は両端に形成されている。前記振動板１は、図２
および図３に示すように、その内方に略Ｕ字状の切溝８
が形成され、これにより舌片状の振動部９が形成されて
いる。この振動部９の表、裏面には、励振用電極１０，
１１が形成され、各々振動部９の根元部分１２を介して
そのリード電極１３，１４が引き出されている。この内
リード電極１３の端部は、図２から図６に示すごとく、
切溝８の一端部分を介して振動部９の励振用電極１１側
に延長され、この切溝８の外側壁と振動板１の表、裏面
を図７のごとくコ字状に覆った状態で反対側に引き回さ
れ、リード電極１４側の面において接続部１５を形成し
ている。また、リード電極１４は、根元部分１２側にお
いて接続部１６を形成している。そしてこれら接続部１
５，１６に対応するカバー３に形成された貫通孔４，５
内の導電体１７を介して各々外部電極６，７に接続され
ている。尚カバー２，３は、その外周部で振動板１の
表、裏面の外周部を挟持し、また直接接合されているも
のであるが、それは振動板１の切溝８の外周部において
接合されているのであって、リード電極１３が振動部９
の側方を通過している部分については、その外側におい
てカバー３と接合されている。そして、図５〜図７から
明らかなように、振動部１は、カバー２，３との挟持部
分だけを板厚を厚くし、振動部９およびリード電極１
３，１４を形成する部分などはエッチングによりその板
厚を薄くしている。図４、図７は、このエッチング工程
後の振動板１を明確に表しており、枠線１８に対応する
両面部分がエッチングによりその板厚が薄くなっている
のである。
【００１０】
【発明の効果】以上のように本発明は、振動板と、この
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１、第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１、第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を形成し、これらの表、裏面の励振用電極か
らはそれぞれ振動部の根元部分を介してリード電極を引
出し、これら表、裏のリード電極の一方は、振動板の前
記振動部の根元側にて第１の接続部を形成し、他方のリ
ード電極は、前記振動板の舌片状の振動部の周囲に設け
られた切溝の外側壁とそれに接する振動板の表、裏面に
コ字状に設けられたリード電極部を介して、前記振動部
の遊端側に引出され、この遊端側において第２の接続部
を形成し、これらの第１、第２の接続部は第１、あるい
は第２のカバーを貫通してそれぞれ第１、第２の外部電
極と導通させたものである。
振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振
動板の外周部を挟持した第１、第２のカバーとを備え、
前記振動板は、前記第１、第２のカバーによる挟持部内
方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には
励振用電極を形成し、これらの表、裏面の励振用電極か
らはそれぞれ振動部の根元部分を介してリード電極を引
出し、これら表、裏のリード電極の一方は、振動板の前
記振動部の根元側にて第１の接続部を形成し、他方のリ
ード電極は、前記振動板の舌片状の振動部の周囲に設け
られた切溝の外側壁とそれに接する振動板の表、裏面に
コ字状に設けられたリード電極部を介して、前記振動部
の遊端側に引出され、この遊端側において第２の接続部
を形成し、これらの第１、第２の接続部は第１、あるい
は第２のカバーを貫通してそれぞれ第１、第２の外部電
極と導通させたものである。
【００１１】そして、以上の構成とすれば、舌片状振動
部の根元側における第１の接続部とそれに延びるリード
電極、および遊端側の第２の接続部とそれに延びるリー
ド電極は、この振動部の表、裏の励振用電極と同工程に
て形成することができるので、生産性の高いものとなる
のである。かつ、遊端側の第２の接続部に延びるリード
電極は最短距離で結ばれ、しかもコ字状となってその幅
も広くなるため、従来例と同様の小型サイズのまま、配
線抵抗を低くしエネルギー損失を低減できるものとなる
のである。
部の根元側における第１の接続部とそれに延びるリード
電極、および遊端側の第２の接続部とそれに延びるリー
ド電極は、この振動部の表、裏の励振用電極と同工程に
て形成することができるので、生産性の高いものとなる
のである。かつ、遊端側の第２の接続部に延びるリード
電極は最短距離で結ばれ、しかもコ字状となってその幅
も広くなるため、従来例と同様の小型サイズのまま、配
線抵抗を低くしエネルギー損失を低減できるものとなる
のである。
【図１】本発明の一実施例の斜視図
【図２】その分解斜視図
【図３】その分解斜視図
【図４】本発明の振動板の上面図
【図５】図４の振動板にカバー２，３を接合した振動子
のＡ−Ａ断面図
のＡ−Ａ断面図
【図６】図４の振動板にカバー２，３を接合した振動子
のＢ−Ｂ断面図
のＢ−Ｂ断面図
【図７】図４の振動板にカバー２，３を接合した振動子
のＣ−Ｃ断面図
のＣ−Ｃ断面図
１ 振動板 ２ カバー ３ カバー ４ 貫通孔 ５ 貫通孔 ６ 外部電極 ７ 外部電極 ８ 切溝 ９ 振動部 １０ 励振用電極 １１ 励振用電極 １２ 根元部 １３ リード電極 １４ リード電極 １５ 接続部 １６ 接続部 １７ 導電体 １８ 枠線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 服部 孝道 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 坂口 誠一郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 鶴 善一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 振動板と、この振動板の表、裏面を覆う
とともに、その外周部で前記振動板の外周部を挟持した
第１、第２のカバーとを備え、前記振動板は、前記第
１、第２のカバーによる挟持部内方に舌片状の振動部を
有し、この振動部の表、裏面には励振用電極を形成し、
これらの表、裏面の励振用電極からはそれぞれ振動部の
根元部分を介してリード電極を引出し、これら表、裏の
リード電極の一方は、振動板の前記振動部の根元側にて
第１の接続部を形成し、他方のリード電極は、前記振動
板の舌片状の振動部の周囲に設けられた切溝の外側壁と
それに接する振動板の表、裏面にコ字状に設けられたリ
ード電極部を介して、前記振動部の遊端側に引出され、
この遊端側において第２の接続部を形成し、これらの第
１、第２の接続部は第１、あるいは第２のカバーを貫通
してそれぞれ第１、第２の外部電極と導通させた振動
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14718595A JPH08340231A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14718595A JPH08340231A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08340231A true JPH08340231A (ja) | 1996-12-24 |
Family
ID=15424495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14718595A Pending JPH08340231A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08340231A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11284484A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Ｕｈｆ帯基本波水晶振動子及びフィルタ |
| WO2017077972A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
-
1995
- 1995-06-14 JP JP14718595A patent/JPH08340231A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11284484A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Ｕｈｆ帯基本波水晶振動子及びフィルタ |
| WO2017077972A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
| CN108352820A (zh) * | 2015-11-06 | 2018-07-31 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
| JPWO2017077972A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2018-08-23 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
| US10600953B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-03-24 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator device |
| TWI708480B (zh) * | 2015-11-06 | 2020-10-21 | 日商大真空股份有限公司 | 壓電振動裝置 |
| CN108352820B (zh) * | 2015-11-06 | 2021-12-07 | 株式会社大真空 | 压电振动器件 |
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