JP2000223994A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子において、
前記励振電極膜がＣｒ膜のみをパターニングして形成されたものであり、且つ前記接続部以外の部分には、ＳｉＯ2膜が設けられていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
請求項１において、前記接続部は、前記Ｃｒ膜上に最上層がＡｕ膜となるように積層膜を有することを特徴とする圧電振動子。
【請求項３】
前記ＳｉＯ 2 膜は、少なくとも前記励振電極膜を分離する溝部に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記溝部と前記ＳｉＯ 2 膜は、前記圧電振動片の上下面にのみ形成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記溝部の幅が、約１５μｍであることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の圧電振動子。
【請求項１】
一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子において、
前記励振電極膜がＣｒ膜のみをパターニングして形成されたものであり、且つ前記接続部以外の部分には、ＳｉＯ2膜が設けられていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
請求項１において、前記接続部は、前記Ｃｒ膜上に最上層がＡｕ膜となるように積層膜を有することを特徴とする圧電振動子。
【請求項３】
前記ＳｉＯ 2 膜は、少なくとも前記励振電極膜を分離する溝部に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記溝部と前記ＳｉＯ 2 膜は、前記圧電振動片の上下面にのみ形成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記溝部の幅が、約１５μｍであることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の圧電振動子。
【０００２】
【従来の技術】
図６に示すように、従来の表面実装型の圧電振動子５０は、圧電振動片５１とこの圧電振動片５１の一端を固定する容器５２と、容器５２を封止する蓋体５３とからなる。
圧電振動片５１が固定される容器５２は、圧電振動片５１の振動を妨げない程度の空間を画成する凹部５４を有し、この凹部５４内には他の部分よりも深さの浅い段差部５５が設けられている。また、圧電振動片５１上には、例えば、Ｃｒ膜及びＡｕ膜等からなる励振電極膜５６が設けられている。そして、圧電振動片５１は、この励振電極膜５６を介して、容器５２の段差部５５の上面に半田材又は導電性接着剤等の接着層５７によって固定される。また、この容器５２は、上部に圧電振動片５１の固定と同様の接着層５７によって蓋体５３が接合され、圧電振動片５１が容器５２の凹部５４内に気密封止される。
【従来の技術】
図６に示すように、従来の表面実装型の圧電振動子５０は、圧電振動片５１とこの圧電振動片５１の一端を固定する容器５２と、容器５２を封止する蓋体５３とからなる。
圧電振動片５１が固定される容器５２は、圧電振動片５１の振動を妨げない程度の空間を画成する凹部５４を有し、この凹部５４内には他の部分よりも深さの浅い段差部５５が設けられている。また、圧電振動片５１上には、例えば、Ｃｒ膜及びＡｕ膜等からなる励振電極膜５６が設けられている。そして、圧電振動片５１は、この励振電極膜５６を介して、容器５２の段差部５５の上面に半田材又は導電性接着剤等の接着層５７によって固定される。また、この容器５２は、上部に圧電振動片５１の固定と同様の接着層５７によって蓋体５３が接合され、圧電振動片５１が容器５２の凹部５４内に気密封止される。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子において、前記励振電極膜がＣｒ膜のみをパターニングして形成されたものであり、且つ前記接続部以外の部分には、ＳｉＯ ２ 膜が設けられていることを特徴とする圧電振動子にある。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子において、前記励振電極膜がＣｒ膜のみをパターニングして形成されたものであり、且つ前記接続部以外の部分には、ＳｉＯ ２ 膜が設けられていることを特徴とする圧電振動子にある。
ここで、水晶振動片１１上への各電極膜の製造工程について説明する。なお、図３及び図４は、それぞれ各電極膜の製造工程を示す断面図であり、図３は、図２（ａ）のＡ−Ａ’断面図であり、図４は、Ｂ−Ｂ’断面図である。
図３（ａ）及び図４（ａ）に示すように、水晶振動片１１の全面に、Ｃｒからなる金属膜２０をスパッタリングによって成膜する。
図３（ａ）及び図４（ａ）に示すように、水晶振動片１１の全面に、Ｃｒからなる金属膜２０をスパッタリングによって成膜する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023083A JP2000223994A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023083A JP2000223994A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000223994A JP2000223994A (ja) | 2000-08-11 |
| JP2000223994A5 true JP2000223994A5 (ja) | 2006-03-16 |
Family
ID=12100534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11023083A Pending JP2000223994A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000223994A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4726133B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2011-07-20 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 圧電振動子および圧電振動ジャイロ |
| JP4763769B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2011-08-31 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイスの製造方法 |
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1999
- 1999-01-29 JP JP11023083A patent/JP2000223994A/ja active Pending
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