JPH04361165A - 振動子型加速度計 - Google Patents
振動子型加速度計Info
- Publication number
- JPH04361165A JPH04361165A JP3136722A JP13672291A JPH04361165A JP H04361165 A JPH04361165 A JP H04361165A JP 3136722 A JP3136722 A JP 3136722A JP 13672291 A JP13672291 A JP 13672291A JP H04361165 A JPH04361165 A JP H04361165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- oscillator
- frequency
- oscillation
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、質量部を支持体に片
持ち支持させ、質量部の自由端と支持体との間に質量部
の延伸方向およびその回動軸の双方に直角に振動子を取
り付け、質量部の自由端は支持体に加速度が印加される
と支持体に対して角変位し、この角変位による振動子の
固有振動周波数変化を検出することにより印加加速度を
検出する振動子型加速度計に関する。
持ち支持させ、質量部の自由端と支持体との間に質量部
の延伸方向およびその回動軸の双方に直角に振動子を取
り付け、質量部の自由端は支持体に加速度が印加される
と支持体に対して角変位し、この角変位による振動子の
固有振動周波数変化を検出することにより印加加速度を
検出する振動子型加速度計に関する。
【0002】
【従来の技術】この発明の従来例を図2、3を参照して
説明する。図2Bは従来の加速度計を示す。支持体11
は支持部11cとその両端に設けられた脚部11a、1
1bとを具備して全体がコ字状に形成されている。その
支持部11cの中央には、その質量部12の一端が薄肉
ヒンジ13を介して両脚部11a、11bに平行になる
ように取り付け、支持されている。この例においては、
支持体脚部11a、11b支持部11cが存在する共面
と直角の方向に薄く広がった薄肉ヒンジ13を介して質
量部12をその一端により支持部11cに取り付けて、
質量部12の自由端は脚部11a、11bのいずれの側
にも変位することができる様に回動自在とされている。 質量部12の自由端と脚部11a,11bとの間には振
動子14、15が取り付けられている。振動子14、1
5は、図3Aに示される如く、2本の平行な四角柱状振
動子16、17をそれらの両端において互いに連結し、
各振動子16、17それぞれの4つの面に、3つの電極
18を長手方向に配列、形成したものであり、そして、
これらの電極間に交流信号を印加することにより図3B
に示される如くに振動子16、17をその長さ方向と直
角の方向に互いに逆位相にたわませる屈曲振動をさせる
ものであった。なお、振動子14、15は通常水晶振動
子である。そして、振動子14、15はその固有振動周
波数で励振される。
説明する。図2Bは従来の加速度計を示す。支持体11
は支持部11cとその両端に設けられた脚部11a、1
1bとを具備して全体がコ字状に形成されている。その
支持部11cの中央には、その質量部12の一端が薄肉
ヒンジ13を介して両脚部11a、11bに平行になる
ように取り付け、支持されている。この例においては、
支持体脚部11a、11b支持部11cが存在する共面
と直角の方向に薄く広がった薄肉ヒンジ13を介して質
量部12をその一端により支持部11cに取り付けて、
質量部12の自由端は脚部11a、11bのいずれの側
にも変位することができる様に回動自在とされている。 質量部12の自由端と脚部11a,11bとの間には振
動子14、15が取り付けられている。振動子14、1
5は、図3Aに示される如く、2本の平行な四角柱状振
動子16、17をそれらの両端において互いに連結し、
各振動子16、17それぞれの4つの面に、3つの電極
18を長手方向に配列、形成したものであり、そして、
これらの電極間に交流信号を印加することにより図3B
に示される如くに振動子16、17をその長さ方向と直
角の方向に互いに逆位相にたわませる屈曲振動をさせる
ものであった。なお、振動子14、15は通常水晶振動
子である。そして、振動子14、15はその固有振動周
波数で励振される。
【0003】図2Bにおいて、支持体11に対して矢印
19で示される上向きに加速度が印加されると、質量部
12は慣性により支持体11に対して矢印19とは反対
の方向に相対的に移動しようとし、ヒンジ13を中心と
して角変位せしめられる。この例においては、振動子1
4は伸張応力を受け、振動子15は圧縮応力を受けるこ
ととなる。その結果、振動子14の固有振動周波数は高
くなり、振動子15の固有振動周波数は低くなる。これ
らの両固有振動周波数をそれぞれ測定し、その差を検出
することにより、印加された加速度の向きと大きさを検
出することができる。振動子14、15は何れか一方の
みでも印加された加速度の検出をすることができるので
あるが、振動子14、15を2個使用することにより、
周囲温度が変化することによる加速度が印加されていな
い状態において検出される振動子の固有振動周波数の変
動に起因する悪影響を一方のみの場合と比較して低減す
ることができる。
19で示される上向きに加速度が印加されると、質量部
12は慣性により支持体11に対して矢印19とは反対
の方向に相対的に移動しようとし、ヒンジ13を中心と
して角変位せしめられる。この例においては、振動子1
4は伸張応力を受け、振動子15は圧縮応力を受けるこ
ととなる。その結果、振動子14の固有振動周波数は高
くなり、振動子15の固有振動周波数は低くなる。これ
らの両固有振動周波数をそれぞれ測定し、その差を検出
することにより、印加された加速度の向きと大きさを検
出することができる。振動子14、15は何れか一方の
みでも印加された加速度の検出をすることができるので
あるが、振動子14、15を2個使用することにより、
周囲温度が変化することによる加速度が印加されていな
い状態において検出される振動子の固有振動周波数の変
動に起因する悪影響を一方のみの場合と比較して低減す
ることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述された振動子型加
速度計の従来例において使用されている振動子の固有振
動周波数は周囲の温度によって変動し、その変動の度合
は振動子を構成するために使用した水晶基板の切り出し
角度に依存する。即ち、振動子型加速度計においては、
加速度が印加されていない時の出力周波数(バイアス周
波数)が周囲の温度の変動に伴って変動するのである。 このことは、振動子型加速度計が測定している加速度は
周囲の温度の変動によって変化してしまうことを意味し
ており、使用上極めて具合が悪い。バイアス周波数のこ
の様な温度依存性を低減する方法として、一つの加速度
計の内部に発振周波数の温度係数が極めて近い1対の振
動子を組み込み、これらの発振周波数の差を検出するこ
とによりバイアス周波数の温度依存性の低減を図る方法
がある。しかし、この方法によっても、1対の振動子そ
れぞれの固有振動周波数の温度係数のずれ、或は1対の
振動子の設置されている場所の僅かな温度差により、バ
イアス周波数の温度依存性の低減の効果は充分なものと
はいえなかった。
速度計の従来例において使用されている振動子の固有振
動周波数は周囲の温度によって変動し、その変動の度合
は振動子を構成するために使用した水晶基板の切り出し
角度に依存する。即ち、振動子型加速度計においては、
加速度が印加されていない時の出力周波数(バイアス周
波数)が周囲の温度の変動に伴って変動するのである。 このことは、振動子型加速度計が測定している加速度は
周囲の温度の変動によって変化してしまうことを意味し
ており、使用上極めて具合が悪い。バイアス周波数のこ
の様な温度依存性を低減する方法として、一つの加速度
計の内部に発振周波数の温度係数が極めて近い1対の振
動子を組み込み、これらの発振周波数の差を検出するこ
とによりバイアス周波数の温度依存性の低減を図る方法
がある。しかし、この方法によっても、1対の振動子そ
れぞれの固有振動周波数の温度係数のずれ、或は1対の
振動子の設置されている場所の僅かな温度差により、バ
イアス周波数の温度依存性の低減の効果は充分なものと
はいえなかった。
【0005】この発明は、上述の通りの問題を解消しよ
うとするものである。
うとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】質量部を支持体に片持ち
支持させ、質量部の自由端と支持体との間に質量部の延
伸方向およびその回動軸の双方に直角に振動子を取り付
け、質量部の自由端は支持体に加速度が印加されると支
持体に対して角変位し、この角変位による振動子の固有
振動周波数変化を検出することにより印加加速度を検出
する振動子型加速度計において、上記振動子を捻れ振動
モードと屈曲振動モードとが結合した振動モードで振動
する双音叉型振動子により構成することにより、バイア
ス周波数の温度依存性を低減した。
支持させ、質量部の自由端と支持体との間に質量部の延
伸方向およびその回動軸の双方に直角に振動子を取り付
け、質量部の自由端は支持体に加速度が印加されると支
持体に対して角変位し、この角変位による振動子の固有
振動周波数変化を検出することにより印加加速度を検出
する振動子型加速度計において、上記振動子を捻れ振動
モードと屈曲振動モードとが結合した振動モードで振動
する双音叉型振動子により構成することにより、バイア
ス周波数の温度依存性を低減した。
【0007】
【実施例】この発明の実施例を図1、2を参照して説明
する。この発明は、振動子の数については、これを図2
Bに示される従来例と同様に1組の振動子14、15の
2個とすることができるし或はこれをいずれか一方の1
個とすることもでき、その他に支持体11および質量部
12をも具備している。
する。この発明は、振動子の数については、これを図2
Bに示される従来例と同様に1組の振動子14、15の
2個とすることができるし或はこれをいずれか一方の1
個とすることもでき、その他に支持体11および質量部
12をも具備している。
【0008】この発明においては、振動子14、15と
してそれぞれ捻れ振動と屈曲振動の両振動が結合した振
動モードで振動する双音叉型振動子1が使用される。図
1に示される如く、捻れ振動を励振するための電極は、
振動素子2の一平面上に形成された電極3、4、5、6
、7、8および振動子2の裏面に形成された同様の電極
により構成されている。そして、屈曲振動を励振するた
めの電極は、振動素子2の側面の一方に形成された電極
9、9’、10および他方の側面に形成された同様の電
極、および電極4、6、8および裏面に形成された同様
の電極により構成されている。
してそれぞれ捻れ振動と屈曲振動の両振動が結合した振
動モードで振動する双音叉型振動子1が使用される。図
1に示される如く、捻れ振動を励振するための電極は、
振動素子2の一平面上に形成された電極3、4、5、6
、7、8および振動子2の裏面に形成された同様の電極
により構成されている。そして、屈曲振動を励振するた
めの電極は、振動素子2の側面の一方に形成された電極
9、9’、10および他方の側面に形成された同様の電
極、および電極4、6、8および裏面に形成された同様
の電極により構成されている。
【0009】この様に構成された電極に対して、その内
の一方の電極群3、6、7、9および9’と他方の電極
群4、5、8および10には互いに逆極性の交流信号が
印加されることにより、双音叉型振動子1には捻れ振動
モードと屈曲振動モードの両モードの振動が生起せしめ
られる。これら両モードの振動の固有振動周波数が互い
に接近している場合はモード結合が生じ、捻れ振動と屈
曲振動とが結合したモードで振動する。
の一方の電極群3、6、7、9および9’と他方の電極
群4、5、8および10には互いに逆極性の交流信号が
印加されることにより、双音叉型振動子1には捻れ振動
モードと屈曲振動モードの両モードの振動が生起せしめ
られる。これら両モードの振動の固有振動周波数が互い
に接近している場合はモード結合が生じ、捻れ振動と屈
曲振動とが結合したモードで振動する。
【0010】この発明は、図2Bに示される振動子型加
速度計において振動子14、15として図1により図示
説明される捻れ振動と屈曲振動とが結合した振動モード
で振動する双音叉型振動子1を採用する。これら振動子
14、15をその固有振動周波数で励振した状態におい
て、支持体11に対して矢印19で示される向きの加速
度が印加されると、従来例と同様に振動子14には伸張
応力が加わってその固有振動周波数はF1 からF1
+△fに増加する一方、振動子15には圧縮応力が加わ
ってその固有振動周波数はF1 からF1 ー△fに減
少する。 振動子14、15の固有振動周波数の差2・△fを検出
することにより印加された加速度を知ることができる。
速度計において振動子14、15として図1により図示
説明される捻れ振動と屈曲振動とが結合した振動モード
で振動する双音叉型振動子1を採用する。これら振動子
14、15をその固有振動周波数で励振した状態におい
て、支持体11に対して矢印19で示される向きの加速
度が印加されると、従来例と同様に振動子14には伸張
応力が加わってその固有振動周波数はF1 からF1
+△fに増加する一方、振動子15には圧縮応力が加わ
ってその固有振動周波数はF1 からF1 ー△fに減
少する。 振動子14、15の固有振動周波数の差2・△fを検出
することにより印加された加速度を知ることができる。
【0011】
【発明の効果】従来の屈曲振動の固有振動周波数の温度
依存性は図4に示されるように、2次の温度係数をもっ
ており、温度係数が零となる点は或る特定の温度に設置
されたときに限られていた。したがって、1対の振動子
を用いてバイアス周波数を補正するように構成した場合
であっても、各々の温度係計数のずれや、各々の振動子
が設置された状態で生ずる温度差などにより、必ずしも
補正の効果は充分ではなく、バイアス周波数の温度係数
を零とすることはできなかった。
依存性は図4に示されるように、2次の温度係数をもっ
ており、温度係数が零となる点は或る特定の温度に設置
されたときに限られていた。したがって、1対の振動子
を用いてバイアス周波数を補正するように構成した場合
であっても、各々の温度係計数のずれや、各々の振動子
が設置された状態で生ずる温度差などにより、必ずしも
補正の効果は充分ではなく、バイアス周波数の温度係数
を零とすることはできなかった。
【0012】この発明においては、振動子14、15は
捻れ振動と屈曲振動とが結合した振動モードで振動する
双音叉型振動子であり、この振動モードの振動子は固有
振動周波数の温度依存性が極めて小さいので、ー20℃
から+70℃に至る極めて広い温度範囲に亘ってその固
有振動周波数の温度係数を殆んど零とすることができる
。即ち、1対の振動子が設置された状態で両者が互いに
異なった温度状態にあっても、固有振動周波数の温度係
数が殆んど零であるがために1対の振動子の固有振動周
波数の差は変動ぜず、したがってバイアス周波数の温度
係数を上述の通りの広い範囲に亘って殆んど零とするこ
とができる。また、振動子の固有振動周波数の温度係数
が零ではない上述の温度範囲をはずれた温度範囲におい
ても、従来の屈曲振動モード単独のものと比較して屈曲
振動と捻れ振動とが結合した振動モードのものの場合は
、振動子の固有振動周波数の温度係数が小さいために、
バイアス周波数の温度依存性を小さく保つことができる
。
捻れ振動と屈曲振動とが結合した振動モードで振動する
双音叉型振動子であり、この振動モードの振動子は固有
振動周波数の温度依存性が極めて小さいので、ー20℃
から+70℃に至る極めて広い温度範囲に亘ってその固
有振動周波数の温度係数を殆んど零とすることができる
。即ち、1対の振動子が設置された状態で両者が互いに
異なった温度状態にあっても、固有振動周波数の温度係
数が殆んど零であるがために1対の振動子の固有振動周
波数の差は変動ぜず、したがってバイアス周波数の温度
係数を上述の通りの広い範囲に亘って殆んど零とするこ
とができる。また、振動子の固有振動周波数の温度係数
が零ではない上述の温度範囲をはずれた温度範囲におい
ても、従来の屈曲振動モード単独のものと比較して屈曲
振動と捻れ振動とが結合した振動モードのものの場合は
、振動子の固有振動周波数の温度係数が小さいために、
バイアス周波数の温度依存性を小さく保つことができる
。
【図1】この発明の結合モード双音叉型振動子の斜視図
。
。
【図2】2Aはこの発明の振動子の振動状態を示す図。
2Bは振動子を1対具備した振動子型加速度計を示す図
。
。
【図3】3Aは屈曲振動モード振動子の斜視図。3Bは
3Aに示される屈曲振動モード振動子の振動状態を示す
図。
3Aに示される屈曲振動モード振動子の振動状態を示す
図。
【図4】振動子の周波数温度特性図。
1 結合モード双音叉型振動子2、
2’ 振動素子 3ー10 電極 11 支持体 12 質量部 13 薄肉ヒンジ 14、15 振動子 16、17 結合モード振動素子 18 電極 19 加速度の向き
2’ 振動素子 3ー10 電極 11 支持体 12 質量部 13 薄肉ヒンジ 14、15 振動子 16、17 結合モード振動素子 18 電極 19 加速度の向き
Claims (2)
- 【請求項1】 質量部を支持体に片持ち支持させ、質
量部の自由端と支持体との間に質量部の延伸方向および
その回動軸の双方に直角に振動子を取り付け、質量部の
自由端は支持体に加速度が印加されると支持体に対して
角変位し、この角変位による振動子の固有振動周波数変
化を検出することにより印加加速度を検出する振動子型
加速度計において、上記振動子は捻れ振動モードと屈曲
振動モードとが結合した振動モードで振動する双音叉型
振動子より成るものであることを特徴とする振動子型加
速度計。 - 【請求項2】 請求項1に記載される振動子型加速度
計において、上記振動子は質量部に関して互いに逆向き
に設けられた2個より成るものであることを特徴とする
振動子型加速度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3136722A JP3072354B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 振動子型加速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3136722A JP3072354B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 振動子型加速度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04361165A true JPH04361165A (ja) | 1992-12-14 |
JP3072354B2 JP3072354B2 (ja) | 2000-07-31 |
Family
ID=15181969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3136722A Expired - Lifetime JP3072354B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 振動子型加速度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3072354B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6672160B2 (en) | 2000-09-29 | 2004-01-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor |
US6786095B2 (en) | 2000-09-29 | 2004-09-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor |
JP2008170247A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット |
JP2008197031A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット及び加速度センサ |
JP2008197032A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット及び加速度センサ |
JP2008224345A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット及び加速度センサ |
JP2008306621A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Epson Toyocom Corp | 双音叉型圧電振動素子及び加速度検知ユニット |
JP2010014510A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Panasonic Corp | センシング装置 |
JP2010074246A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Epson Toyocom Corp | 双音叉型圧電振動片 |
JP2013508705A (ja) * | 2009-10-23 | 2013-03-07 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 面内ピエゾ抵抗検出センサ |
JP2013525747A (ja) * | 2010-03-18 | 2013-06-20 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子および相応の測定方法 |
JP2013160758A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Honeywell Internatl Inc | 振動ビーム加速度計 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3514240B2 (ja) | 2001-02-19 | 2004-03-31 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP3136722A patent/JP3072354B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6672160B2 (en) | 2000-09-29 | 2004-01-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor |
DE10147997B4 (de) * | 2000-09-29 | 2004-05-19 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo | Beschleunigungssensor |
US6786095B2 (en) | 2000-09-29 | 2004-09-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor |
DE10147911B4 (de) * | 2000-09-29 | 2004-11-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo | Beschleunigungssensor |
JP2008170247A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット |
JP2008197031A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット及び加速度センサ |
JP2008197032A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット及び加速度センサ |
JP2008224345A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Epson Toyocom Corp | 加速度検知ユニット及び加速度センサ |
JP2008306621A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Epson Toyocom Corp | 双音叉型圧電振動素子及び加速度検知ユニット |
JP2010014510A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Panasonic Corp | センシング装置 |
JP2010074246A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Epson Toyocom Corp | 双音叉型圧電振動片 |
JP2013508705A (ja) * | 2009-10-23 | 2013-03-07 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 面内ピエゾ抵抗検出センサ |
JP2015166739A (ja) * | 2009-10-23 | 2015-09-24 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 面内ピエゾ抵抗検出センサ |
US9146252B2 (en) | 2009-10-23 | 2015-09-29 | Comissariat a l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives | In-plane piezoresistive detection sensor |
US9702893B2 (en) | 2009-10-23 | 2017-07-11 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | In-plane piezoresistive detection sensor |
JP2013525747A (ja) * | 2010-03-18 | 2013-06-20 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子および相応の測定方法 |
US9110090B2 (en) | 2010-03-18 | 2015-08-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoresistive micromechanical sensor component and corresponding measuring method |
JP2013160758A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Honeywell Internatl Inc | 振動ビーム加速度計 |
US10429405B2 (en) | 2012-02-03 | 2019-10-01 | Honeywell International Inc. | Vibrating beam accelerometer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3072354B2 (ja) | 2000-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4489609A (en) | Gyroscopes | |
JP3973742B2 (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
JPH0830717B2 (ja) | 共平面プッシュプル力変換器を有する加速度計 | |
JPH04361165A (ja) | 振動子型加速度計 | |
JPWO2008114818A1 (ja) | 圧電振動子、および振動ジャイロ | |
JP2001255152A (ja) | 圧電振動ジャイロスコープおよびその周波数調整方法 | |
JP2003156337A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3158176B2 (ja) | 振動子型加速度計 | |
JP2000055670A (ja) | 振動式検出器 | |
JP2000074673A (ja) | 複合運動センサ | |
JPS58220515A (ja) | 伸長モ−ド圧電形マイクロ共振器 | |
JP2001208545A (ja) | 圧電振動ジャイロスコープ | |
GB2111209A (en) | Piezoelectric oscillatory gyroscopes | |
JPH0650761A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3049305B2 (ja) | 振動子形加速度計 | |
JPH07139952A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3158175B2 (ja) | 振動子型加速度計 | |
JP2002277247A (ja) | 振動ジャイロ | |
JPS5838015A (ja) | 圧電振動子 | |
JP3425506B2 (ja) | 弾性表面波ジャイロスコープ | |
JPH0650762A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP3425505B2 (ja) | 弾性表面波ジャイロスコープ | |
JPH0251066A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2006250850A (ja) | 振動ジャイロ | |
JPH0455714A (ja) | 振動ジャイロ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000411 |