JP2013525747A - ピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子および相応の測定方法 - Google Patents
ピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子および相応の測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013525747A JP2013525747A JP2012557457A JP2012557457A JP2013525747A JP 2013525747 A JP2013525747 A JP 2013525747A JP 2012557457 A JP2012557457 A JP 2012557457A JP 2012557457 A JP2012557457 A JP 2012557457A JP 2013525747 A JP2013525747 A JP 2013525747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoresistive
- substrate
- beams
- sensor component
- seismic mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 82
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 57
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 40
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 18
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0802—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
- G01P15/123—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by piezo-resistive elements, e.g. semiconductor strain gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
ピエゾ抵抗性の梁は、サイズモ質量体の変位時に抵抗変化し、
ピエゾ抵抗性の梁は、側面および/または表面および/または裏面の導体路(2a,2b;2a’,2b’)を有しており、
導体路は、ピエゾ抵抗性の梁を少なくとも部分的に覆っており、基板の領域の中まで延在しており、
測定装置は、基板および導体路に電気的に接続されており、抵抗変化を測定するために、基板からピエゾ抵抗性の梁を通って延在し、かつ、ピエゾ抵抗性の梁から導体路を通って延在する回路経路によって構成されている、
ことを特徴とするセンサ構成素子。
Description
Claims (15)
- 基板(1)と、前記基板(1)に変位可能に懸架されたサイズモ質量体(3)と、前記基板(1)と前記サイズモ質量体(3)の間に設けられた少なくとも1つのピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)と、測定装置(M1;M2;M1’;M1’’)とを有するピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子において、
前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)は、前記サイズモ質量体(3)の変位時に抵抗変化し、
前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)は、側面および/または表面および/または裏面の導体路(2a,2b;2a’,2b’)を有しており、
前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)は、前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を少なくとも部分的に覆っており、前記基板(1)の領域の中まで延在しており、
前記測定装置(M1;M2;M1’,M1’’)は、前記基板(1)および前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)に電気的に接続されており、
前記測定装置(M1;M2;M1’,M1’’)は、前記抵抗変化を測定するために、前記基板(1)から前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を通って延在し、かつ、該ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)から側面および/または表面および/または裏面の前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)を通って延在する回路経路によって構成されている、
ことを特徴とするセンサ構成素子。 - 前記サイズモ質量体(3)は、前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を介して前記基板(1)に懸架されている、
ことを特徴とする請求項1記載のセンサ構成素子。 - 前記サイズモ質量体(3)は、接続梁(7)を介して前記基板(1)に懸架されており、前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b)は、前記接続梁(7)と前記基板(1)との間に設けられている、
ことを特徴とする請求項1記載のセンサ構成素子。 - 前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)のうち、前記基板(1)の領域に延在する領域と前記基板(1)との間に、電気絶縁層(I)が設けられている、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載のセンサ構成素子。 - 前記基板(1)と前記サイズモ質量体(3)との間に、複数のピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)が設けられており、
複数の前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)は、それぞれ1つの表面の導体路(2a,2b;2a’,2b’)を有しており、
表面の前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)は、対応する前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を少なくとも部分的に覆っており、前記基板(1)の領域の中まで延在しており、
前記基板(1)および前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)に電気的に接続されている前記測定装置(M1;M2;M1’;M1’’)は、前記抵抗変化を測定するために、前記基板(1)からそれぞれの前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を通って延在し、かつ、それぞれの該ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)から対応する表面の前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)を通って延在するそれぞれの回路経路によって構成されている、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載のセンサ構成素子。 - 前記測定装置(M1;M2;M1’;M1’’)は、複数の前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)の抵抗変化をそれぞれ別個に評価するよう構成されている、
ことを特徴とする請求項5記載のセンサ構成素子。 - 前記測定装置(M1;M2;M1’;M1’’)は、複数の前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)の抵抗変化を、ハーフブリッジ回路またはフルブリッジ回路(M1’)にて合わせて評価するよう構成されている、
ことを特徴とする請求項5記載のセンサ構成素子。 - 前記測定装置(M1;M2;M1’;M1’’)は、1つまたは複数の前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)の抵抗変化を、電流ミラー回路(M1’’)にてシグマデルタ変調によって評価するよう構成されている、
ことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載のセンサ構成素子。 - 前記基板(1)は、2つの隣り合う前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を通る前記回路経路を電気的に分離するためのトレンチ(11a)を有する、
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載のセンサ構成素子。 - 前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)は、金属被覆層から構造化された金属製導体路である、
ことを特徴とする請求項1から9のいずれか一項記載のセンサ構成素子。 - 複数の結合されたサイズモ質量体(3)が設けられている、
ことを特徴とする請求項1から10のいずれか一項記載のセンサ構成素子。 - 基板(1)に変位可能に懸架されたサイズモ質量体(3)の変位を、前記基板(1)と前記サイズモ質量体(3)との間に設けられたピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)の抵抗変化によって検出するための測定方法であって、
前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)は、前記サイズモ質量体(3)の変位時に抵抗変化する、
測定方法において、
前記基板(1)から前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を通って延在し、かつ、該ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)から側面および/または表面および/または裏面の導体路(2a,2b;2a’,2b’)を通って延在する回路経路を形成するステップであって、
前記導体路(2a,2b;2a’,2b’)は、前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)を少なくとも部分的に覆っており、前記基板(1)の領域の中まで延在している、ステップと、
前記サイズモ質量体(3)の変位を検出するために、前記回路経路に接続された測定装置(M1;M2;M1’;M1’’)によって前記抵抗変化を評価するステップと、
を有することを特徴とする測定方法。 - 前記基板(1)と前記サイズモ質量体(3)との間に設けられた複数のピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)の抵抗変化を、前記測定装置(M1;M2;M1’;M1’’)によってそれぞれ別個に評価する、
こと特徴とする請求項12記載の測定方法。 - 前記基板(1)と前記サイズモ質量体(3)との間に設けられた複数のピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)の抵抗変化を、ハーフブリッジ回路またはフルブリッジ回路(M1’)にて合わせて評価する、
こと特徴とする請求項12記載の測定方法。 - 1つまたは複数の前記ピエゾ抵抗性の梁(1a,1b;1a’,1b’)の抵抗変化を、前記測定装置(M1;M2;M1’,M1’’)によって電流ミラー回路(M1’’)にてシグマデルタ変調を用いて評価する、
ことを特徴とする請求項12記載の測定方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010002994.7 | 2010-03-18 | ||
DE102010002994A DE102010002994A1 (de) | 2010-03-18 | 2010-03-18 | Piezoresistives mikromechanisches Sensorbauelement und entsprechendes Messverfahren |
PCT/EP2011/050641 WO2011113625A1 (de) | 2010-03-18 | 2011-01-19 | Piezoresistives mikromechanisches sensorbauelement und entsprechendes messverfahren |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013525747A true JP2013525747A (ja) | 2013-06-20 |
JP5665892B2 JP5665892B2 (ja) | 2015-02-04 |
Family
ID=43981414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012557457A Expired - Fee Related JP5665892B2 (ja) | 2010-03-18 | 2011-01-19 | ピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子および相応の測定方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9110090B2 (ja) |
EP (1) | EP2548032B1 (ja) |
JP (1) | JP5665892B2 (ja) |
KR (1) | KR101825902B1 (ja) |
CN (1) | CN102792169B (ja) |
DE (1) | DE102010002994A1 (ja) |
WO (1) | WO2011113625A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010030345B4 (de) | 2010-06-22 | 2019-05-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer piezoresistiven Sensoranordnung und Sensoranordnung |
GB2492798B (en) | 2011-07-12 | 2013-08-14 | Weston Aerospace Ltd | Dual output accelerometer system |
DE102012215262B4 (de) * | 2012-08-28 | 2020-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Struktur und entsprechendes Herstellungsverfahren |
JP5849993B2 (ja) | 2013-06-07 | 2016-02-03 | 株式会社安川電機 | パラレルリンクロボット及びロボットシステム並びに搬送設備の構築方法 |
FR3110284B1 (fr) * | 2020-05-14 | 2023-01-13 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de détection utilisant une transduction piézorésistive |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62124777A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-06 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体力学量センサ |
JPH01222489A (ja) * | 1988-03-01 | 1989-09-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH0260271B2 (ja) * | 1983-10-28 | 1990-12-14 | Honeywell Inc | |
JPH03202777A (ja) * | 1989-12-29 | 1991-09-04 | Ricoh Co Ltd | 加速度センサ |
JPH03262973A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-22 | Nec Corp | 半導体加速度センサ |
JPH04284644A (ja) * | 1991-03-14 | 1992-10-09 | Fuji Electric Co Ltd | ピエゾセンサ回路 |
JPH04302175A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサの製造方法 |
JPH04361165A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-14 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 振動子型加速度計 |
JPH0575468A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Yokogawa Electric Corp | Σδ変調器 |
JPH09311138A (ja) * | 1996-05-24 | 1997-12-02 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | シリコン加速度センサ |
JPH09318655A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体加速度センサおよびその製造方法 |
JPH10267779A (ja) * | 1997-01-08 | 1998-10-09 | Cardiometrics Inc | トランスデューサの変量を調整するピエゾ抵抗圧力トランスデューサ回路 |
JP2003042870A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Denso Corp | センサ用温度特性補正回路装置及びセンサの温度特性補正方法 |
JP2003249825A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | デルタシグマ変調を用いるd級増幅器 |
JP2004069619A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 物理量センサ装置 |
JP2007003211A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Sharp Corp | 加速度センサおよびその出力補正方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4691568A (en) * | 1985-12-09 | 1987-09-08 | Motorola, Inc. | Semi-conductor accelerometer |
FR2604791B1 (fr) * | 1986-10-02 | 1988-11-25 | Commissariat Energie Atomique | Procedes de fabrication d'une jauge piezoresistive et d'un accelerometre comportant une telle jauge |
JP2940293B2 (ja) | 1992-03-31 | 1999-08-25 | 日産自動車株式会社 | 半導体加速度センサの製造方法 |
JPH08297137A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Kansai Gas Meter Co Ltd | 簡易形加速度センサ |
US6389899B1 (en) * | 1998-06-09 | 2002-05-21 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | In-plane micromachined accelerometer and bridge circuit having same |
WO2006039560A2 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | University Of Southern California | Silicon inertial sensors formed using mems |
JP2006133161A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Fujitsu Media Device Kk | 加速度センサー |
JP2006275896A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 半導体加速度センサ |
JP2006275961A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Yamagata Prefecture | 半導体センサおよびその製造方法 |
US7481113B2 (en) * | 2005-07-27 | 2009-01-27 | Ricoh Company, Ltd. | Semiconductor sensor with projection for preventing proof mass from sticking to cover plate |
CN1851472A (zh) * | 2006-05-29 | 2006-10-25 | 东南大学 | 基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器 |
WO2008038537A1 (fr) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Hitachi Metals, Ltd. | Détecteur d'accélération |
JP4952217B2 (ja) * | 2006-11-29 | 2012-06-13 | 株式会社村田製作所 | センサ装置 |
JP4328349B2 (ja) | 2006-11-29 | 2009-09-09 | 株式会社日立製作所 | 残留応力測定方法及び装置 |
JPWO2008143191A1 (ja) * | 2007-05-17 | 2010-08-05 | ローム株式会社 | Memsセンサおよびその製造方法 |
CN101329361B (zh) * | 2008-05-30 | 2011-06-15 | 无锡市纳微电子有限公司 | 兼有测量压强、温度变化功能的微型硅加速度计及其加工方法 |
JP5195102B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2013-05-08 | 大日本印刷株式会社 | センサおよびその製造方法 |
EP2341618A1 (en) * | 2009-12-23 | 2011-07-06 | Nxp B.V. | Piezo-resistive MEMS resonator |
-
2010
- 2010-03-18 DE DE102010002994A patent/DE102010002994A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-01-19 WO PCT/EP2011/050641 patent/WO2011113625A1/de active Application Filing
- 2011-01-19 KR KR1020127024175A patent/KR101825902B1/ko active IP Right Grant
- 2011-01-19 US US13/635,581 patent/US9110090B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-19 CN CN201180014220.4A patent/CN102792169B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-19 EP EP11709023.3A patent/EP2548032B1/de not_active Not-in-force
- 2011-01-19 JP JP2012557457A patent/JP5665892B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0260271B2 (ja) * | 1983-10-28 | 1990-12-14 | Honeywell Inc | |
JPS62124777A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-06 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体力学量センサ |
JPH01222489A (ja) * | 1988-03-01 | 1989-09-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH03202777A (ja) * | 1989-12-29 | 1991-09-04 | Ricoh Co Ltd | 加速度センサ |
JPH03262973A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-22 | Nec Corp | 半導体加速度センサ |
JPH04284644A (ja) * | 1991-03-14 | 1992-10-09 | Fuji Electric Co Ltd | ピエゾセンサ回路 |
JPH04302175A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサの製造方法 |
JPH04361165A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-14 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | 振動子型加速度計 |
JPH0575468A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Yokogawa Electric Corp | Σδ変調器 |
JPH09311138A (ja) * | 1996-05-24 | 1997-12-02 | Japan Aviation Electron Ind Ltd | シリコン加速度センサ |
JPH09318655A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体加速度センサおよびその製造方法 |
JPH10267779A (ja) * | 1997-01-08 | 1998-10-09 | Cardiometrics Inc | トランスデューサの変量を調整するピエゾ抵抗圧力トランスデューサ回路 |
JP2003042870A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Denso Corp | センサ用温度特性補正回路装置及びセンサの温度特性補正方法 |
JP2003249825A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | デルタシグマ変調を用いるd級増幅器 |
JP2004069619A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 物理量センサ装置 |
JP2007003211A (ja) * | 2005-06-21 | 2007-01-11 | Sharp Corp | 加速度センサおよびその出力補正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102792169A (zh) | 2012-11-21 |
DE102010002994A1 (de) | 2011-09-22 |
JP5665892B2 (ja) | 2015-02-04 |
EP2548032A1 (de) | 2013-01-23 |
CN102792169B (zh) | 2016-10-19 |
KR20130007574A (ko) | 2013-01-18 |
EP2548032B1 (de) | 2013-11-20 |
US9110090B2 (en) | 2015-08-18 |
WO2011113625A1 (de) | 2011-09-22 |
US20130098154A1 (en) | 2013-04-25 |
KR101825902B1 (ko) | 2018-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5665892B2 (ja) | ピエゾ抵抗型マイクロメカニカルセンサ構成素子および相応の測定方法 | |
KR100737708B1 (ko) | 마이크로메카니컬 각 가속도 센서 | |
US9134189B2 (en) | Dynamic quantity sensor and dynamic quantity sensor system | |
US8549922B2 (en) | Motion detection using capacitor having different work function materials | |
US8863575B2 (en) | Microelectromechanical three-axis capacitive accelerometer | |
US9470709B2 (en) | Teeter totter accelerometer with unbalanced mass | |
CN106979839B (zh) | 具有可变感测间隙的压力传感器 | |
Roy et al. | A high precision SOI MEMS–CMOS±4g piezoresistive accelerometer | |
JP2010127763A (ja) | 半導体力学量検出センサ及びそれを用いた制御装置 | |
US10197590B2 (en) | Combined magnetometer accelerometer MEMS devices and methods | |
US20150268269A1 (en) | Sensor with combined sense elements for multiple axis sensing | |
US20190135613A1 (en) | Micromechanical z-inertial sensor | |
US10527643B2 (en) | Inertia sensor with improved detection sensitivity using servo voltage to detect a physical quantity | |
JPWO2010026843A1 (ja) | 慣性センサ | |
JP2017075916A (ja) | センサ装置 | |
JP6728491B2 (ja) | 熱対流型加速度センサ及びその製造方法 | |
CN109341932B (zh) | 一种压力传感器芯片及其制造方法 | |
Hsu et al. | Implementation of a gap-closing differential capacitive sensing Z-axis accelerometer on an SOI wafer | |
US20050066704A1 (en) | Method and device for the electrical zero balancing for a micromechanical component | |
JP5292600B2 (ja) | 加速度センサ | |
US20050035289A1 (en) | Differential in-plane tunneling current sensor | |
US8607631B2 (en) | Heated air mass WCSP package and method for accelerometer | |
US10126333B2 (en) | Multisensory detector | |
Leman et al. | A versatile analog front-end for sensors based on piezoresistive silicon nanowire detection | |
US8471573B2 (en) | Dynamic quantity sensor and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131125 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140224 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140303 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5665892 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |