JP5195102B2 - センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
このようなセンサの高感度化のためには、長さが短いピエゾ抵抗素子を応力集中部へ配置することが好ましい。しかし、駆動時にピエゾ抵抗素子に電圧を印加するため、ピエゾ抵抗素子を単に短くすると、消費電力が大きくなるという問題があった。このため、短くした複数本のピエゾ抵抗素子を、高濃度拡散層で直列に接続したセンサが開発されている(特許文献1)。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、高感度のセンサ機能を安定して発現するセンサと、このようなセンサを簡便に製造するための製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、前記コンタクトホール直下のピエゾ抵抗素子には拡散抵抗層が配設されているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記金属配線は前記絶縁層に形成された3個以上のコンタクトホールを介して前記折り返し部と接続されているような構成とした。
また、本発明のセンサの製造方法は、ピエゾ抵抗素子の形成に要する工程が第1工程から第3工程であり、特に第3工程にて金属配線とブリッジ回路配線とを同時に形成することができ、従来のシリコン基板に不純物を高濃度で拡散させて高濃度拡散層を形成する工程が不要となり、製造コストの低減が可能であり、かつ、高性能のセンサを安定して製造することが可能である。
[センサ]
図1は、本発明のセンサの一実施形態である加速度センサを示す平面図であり、図2は図1に示されるセンサのI−I線における断面図であり、図3は図1に示されるセンサのII−II線における断面図である。図1〜図3において、センサ1は、センサ本体2と、このセンサ本体2に接合された支持基板3とを有している。センサ本体2は、酸化シリコン層13をシリコン層12(活性層シリコン)とシリコン層14(基板シリコン)で挟持した3層構造を有するSOI(Silicon On Insulator)基板11からなる。
センサ本体2を構成するシリコン層12(活性層シリコン)は、錘部21を構成する錘接合部24と、この錘接合部24を支持するための4本の梁部22と、枠部23と、各梁部22と枠部23で囲まれた4箇所の窓部25とを備えている。また、4本の梁部22には、X軸方向の外力を検出する4個のピエゾ抵抗素子31X、32X、33X、34Xと、Y軸方向の外力を検出する4個のピエゾ抵抗素子31Y、32Y、33Y、34Yと、Z軸方向の外力を検出する4個のピエゾ抵抗素子31Z、32Z、33Z、34Zが配設されている。このように配設されたピエゾ抵抗素子は、後述のように、各軸方向の4個毎にブリッジ回路を構成するように接続されている。
センサ1を構成する支持基板3は、例えば、ガラス、シリコン、SUS板、インバー(Fe−36%Ni合金)等の金属板、絶縁性樹脂板等を用いることができ、厚みは50〜1000μm程度の範囲で適宜設定することができる。尚、本発明のセンサは、センサ本体2からなり、支持基板3を備えていないものであってもよく、この場合、パッケージ用基板に直接搭載してもよい。
このセンサ1では、4本の梁部22で支持された錘部21に、X軸、Y軸、あるいは、Z軸(図1参照)方向に外力が作用すると、錘部21に変位が生じる。この変位により、梁部22に撓みが生じて、錘部21に作用した外力がピエゾ抵抗素子により検出される。
図4および図5は、図1において円で囲まれた2箇所の拡大平面図である。図4には、X軸方向の外力を検出するピエゾ抵抗素子31X、32Xと、Z軸方向の外力を検出するピエゾ抵抗素子31Z、32Zが示されており、図5には、Y軸方向の外力を検出するピエゾ抵抗素子31Y、32Yが示されている。尚、図4では、梁部22の中心線に対して対称となる位置にピエゾ抵抗素子31X、32Xとピエゾ抵抗素子31Z、32Zが配設され、図5では、梁部22の中心線上にピエゾ抵抗素子31Y、32Yが配設されているが、各ピエゾ抵抗素子の構造は共通である。このため、本発明のセンサを構成するピエゾ抵抗素子を、ピエゾ抵抗素子31Yを例として以下で説明する。
図6、図7、図8には、それぞれ図5のIII−III線における拡大断面図、IV−IV線における拡大断面図、V−V線における拡大断面図を示した。本発明では、ピエゾ抵抗素子31Yは1個の折り返し部30aを有し、この折り返し部30aに位置する絶縁層28上には金属配線41が配設されている。また、絶縁層28上にはブリッジ回路配線42が配設されている。
また、ブリッジ回路配線42は、各軸方向の4個のピエゾ抵抗素子毎にブリッジ回路を構成するように絶縁層28上に配設されており、2個のコンタクトホール28bを介してピエゾ抵抗素子31Yの両端部30bに接続されている。このようなブリッジ回路配線42は、金属配線41と同じ金属材料を用いて形成することができる。
このような本発明のセンサは、ピエゾ抵抗素子の折り返し部に位置する絶縁層上に電気抵抗が低く熱伝導率が大きな金属配線が配置接続されているので、ピエゾ抵抗素子の折り返し部でのジュール熱の発生を抑制することができるとともに、絶縁層28で被覆されているピエゾ抵抗素子30で発生するジュール熱を効果的に放熱することができる。したがって、センサの出力値の時間的な変動が抑制され、高感度のセンサ機能を安定して発現することができる
また、折り返し部における絶縁層のコンタクトホールの数は、上述の実施形態では2個であるが、3個以上であってもよい。
また、ブリッジ回路配線42を被覆するように、センサ本体2に保護膜を設けてもよい。保護膜としては、窒化珪素、酸化珪素、および、その積層膜等からなる薄膜をCVD法により形成することができるが、金属配線41、端子51は露出させる。
本発明のセンサの製造方法の一実施形態を以下に説明する。
まず、本発明のセンサを構成するピエゾ抵抗素子の形成について、上述のセンサ1のピエゾ抵抗素子31Yを例として説明する。図15は、ピエゾ抵抗素子の形成工程を示す図であり、図6に示される断面に相当する部位を示している。
第1工程において、シリコン層12(活性層シリコン)にレジスト、酸化珪素、窒化珪素等を成膜した後、フォトリソグラフィーによってパターンMを形成し、このパターンMをマスクとして、ボロン、リン等の不純物をイオン注入法等を用いて注入し拡散させて、折り返し部30aを有するピエゾ抵抗素子31Yを形成する(図15(A))。
図16において、シリコン層12(活性層シリコン)、酸化シリコン層13、シリコン層14(基板シリコン)の3層構造を有するSOIウェーハ11′に多面付けで加工が行われる。まず、各面付け毎に、梁部22、枠部23、錘接合部24を形成する部位を設定し、梁部22となるシリコン層12(活性層シリコン)の所定箇所に熱拡散法あるいはイオン注入法を用いて、折り返し部30aを備えたピエゾ抵抗素子(31X〜34X、31Y〜34Y、31Z〜34Z)を形成する。次に、梁部22、枠部23、錘接合部24を形成するための溝部16をシリコン層12(活性層シリコン)に形成し、また、錘26の厚みを設定するための凹部17をシリコン層14(基板シリコン)に形成する(図16(A))。この溝部16、凹部17の形成は、例えば、マスクパターンを介して、プラズマを利用したドライエッチング法であるDRIE(Deep Reactive Ion Etching)法により行うことができる。また、サンドブラスト法、ウエットエッチング法、フェムト秒レーザ法により溝部16、凹部17を形成することもできる。
このようなセンサを構成する枠部、梁部、錘部の形成と、上述のようなピエゾ抵抗素子の形成の工程順序は特に制限はない。
このような本発明のセンサの製造方法は、ピエゾ抵抗素子の形成に要する工程が第1工程から第3工程であり、特に第3工程にて金属配線とブリッジ回路配線とを同時に形成することができ、従来のシリコン基板に不純物を高濃度で拡散させて高濃度拡散層を形成する工程が不要となり、製造コストの低減が可能であり、かつ、高性能のセンサを安定して製造することが可能である。
2…センサ本体
3…支持基板
21…錘部
22…梁部
23…枠部
24…錘接合部
26…錘
27…枠部
28…絶縁層
28a,28b…コンタクトホール
30a…折り返し部
30b…端部
31X,32X,33X,34X,31Y,32Y,33Y,34Y,31Z,32Z,33Z,34Z…ピエゾ抵抗素子
36…拡散抵抗層
41…金属配線
42…ブリッジ回路配線
Claims (4)
- 枠部と、該枠部から内側方向に突出する複数の梁部と、該梁により支持される錘部と、前記梁部に配設されたピエゾ抵抗素子と、該ピエゾ抵抗素子を被覆する絶縁層と、保護膜と、を備え、前記ピエゾ抵抗素子は折り返し部を1個以上有し、該折り返し部に位置する前記絶縁層上には金属配線が配設され、該金属配線は前記絶縁層に形成された2個以上のコンタクトホールを介して折り返し部と接続され、前記ピエゾ抵抗素子の両端部に位置する前記絶縁層にはコンタクトホールが形成され、該コンタクトホールを介してブリッジ回路配線がピエゾ抵抗素子に接続されており、前記保護膜は前記ブリッジ回路配線を被覆するとともに、前記金属配線および前記ブリッジ回路配線の端子を露出させていることを特徴とするセンサ。
- 前記コンタクトホール直下のピエゾ抵抗素子には拡散抵抗層が配設されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 前記金属配線は、前記絶縁層に形成された3個以上のコンタクトホールを介して前記折り返し部と接続されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンサ。
- 枠部と、該枠部から内側方向に突出する複数の梁部と、該梁により支持される錘部と、前記梁部に配設されたピエゾ抵抗素子と、該ピエゾ抵抗素子を被覆する絶縁層と、を備えるセンサの製造方法において、
不純物を拡散させて、折り返し部を1個以上有するピエゾ抵抗素子を形成する第1工程と、
ピエゾ抵抗素子を被覆するように絶縁層を形成し、ピエゾ抵抗素子の折り返し部と両端部とにコンタクトホールを設けた後、該絶縁層をマスクとして、コンタクトホールに露出しているピエゾ抵抗素子に不純物を高濃度で拡散させて拡散抵抗層を形成する第2工程と、
折り返し部に位置する前記絶縁層上に前記コンタクトホールを介して前記拡散抵抗層に接続するように金属配線を形成すると同時に、ピエゾ抵抗素子の両端部に位置する前記コンタクトホールを介してピエゾ抵抗素子に接続するようにブリッジ回路配線を形成する第3工程と、を有することを特徴とするセンサの製造方法。
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