JP2006275961A - 半導体センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】作動板16と、作動板16と所定間隔をおいて外側に設けられたシリコン枠21とを連結するように設けられ、その一部がピエゾ抵抗素子30a、30b、30cとなる複数の可撓性の梁19a、19bと、ピエゾ抵抗素子30a、30b、30cをそれぞれ接続するように梁19a、19bの上主面に形成されたアルミ配線33とを有する半導体センサ1において、アルミ配線33と梁19a、19bとの熱膨張係数の違いおよび使用環境の温度によって梁19a、19bに生じる熱応力を緩和する熱応力緩和部71を梁19a、19bの下主面側に有する。
【選択図】図1
Description
前記梁と前記金属配線との熱膨張係数の違いによって前記梁に生じる熱応力を緩和する熱応力緩和部を前記梁の他方の主面に形成したことを特徴とする。
これにより、膜の材料を選択することができる。
前記半導体センサに加速度が加わると、該加速度に応じて前記作動板と前記重錘体とが一体となって変位し、前記半導体センサは、前記変位の大きさに応じて変化する前記複数のピエゾ抵抗素子の抵抗値に基づいて、前記加速度を検出するよう構成されることが好ましい。
これにより、半導体センサに加わる加速度を検出することができる。
これにより、作動板にかかる荷重を検出することができる。
作動板を半導体基板に形成する工程と、
前記半導体基板の一方の主面側に、複数のピエゾ抵抗素子を形成する工程と、
前記半導体基板の前記一方の主面上に、前記複数のピエゾ抵抗素子をそれぞれ接続する金属配線を形成する工程と、
前記半導体基板の一部を除去することにより、前記作動板と所定間隔をおいて外側に設けられた枠と、前記作動板と前記枠とを連結するように設けられ、その一方の主面に前記複数のピエゾ抵抗素子が形成された複数の可撓性の梁とを形成する工程と、
前記金属配線と前記梁との熱膨張係数の違いによって前記梁に生じる熱応力を緩和する熱応力緩和部を前記梁の他方の主面上に形成する工程と、
を有することを特徴とする。
前記作動板、前記梁および前記枠が形成された前記半導体基板の他方の主面上に、金属、金属酸化物および金属窒化物のいずれかの膜を形成する工程と、
前記作動板および前記枠上に形成された前記膜を除去する工程と、
を有することが好ましい。
これにより、梁の他方の主面のみに膜を形成することができる。
これにより、作動板、梁および枠に形成する膜の厚さを容易に制御することができる。
前記ガラス基板または金属基板の一部を除去することにより、前記枠と、前記作動板に懸垂保持された重錘体とを形成する工程と、
をさらに有することが好ましい。
半導体センサ1の作動板16に力が加えられると、梁19a、19bは弾性変形し、梁19a、19b上に形成されているピエゾ抵抗素子30a、30b、30cの抵抗値が半導体センサ1の作動板16の変位に応じて変化する。そのため、ピエゾ抵抗素子30a、30b、30c、アルミ配線33およびアルミパッド34から構成されるブリッジ回路の出力電圧が変化する。本発明の半導体センサ1では、この電圧変化を検知することにより、半導体センサ1の作動板16に加えられた力を検出することができる。
2 3軸加速度センサ
10 シリコン基板
11 シリコン酸化層
12 シリコン酸化層
13 凹部
14 シリコン酸化層
15 断面略台形の凹部
16 作動板(重錘体支持部)
17 コンタクトホール
18 レジスト層
19a 梁
19b 梁
20 除去部
21 シリコン枠
22 シリコン層
30a ピエゾ抵抗素子
30b ピエゾ抵抗素子
30c ピエゾ抵抗素子
31 第1のピエゾ抵抗領域
32 第2のピエゾ抵抗領域
33 アルミ配線(金属配線)
34 アルミパッド
40 ガラス基板
42 重錘体
43 ガラス枠
50 ベース
51 凹部
52 接合部
70 膜
71 熱応力緩和部
Claims (10)
- 作動板と、前記作動板と所定間隔をおいて外側に設けられた枠と、該枠と前記作動板とを連結するように設けられ、その一部がピエゾ抵抗素子をなす複数の可撓性の梁と、複数の前記ピエゾ抵抗素子をそれぞれ接続するように前記梁の一方の主面上に形成された金属配線とを有する半導体センサにおいて、
前記梁と前記金属配線との熱膨張係数の違いによって前記梁に生じる熱応力を緩和する熱応力緩和部を前記梁の他方の主面に形成したことを特徴とする半導体センサ。 - 前記熱応力緩和部は、前記金属配線の配線パターンおよび前記金属配線の体積に応じた厚さを有する膜からなる請求項1に記載の半導体センサ。
- 前記膜は、金属、金属酸化物および金属窒化物のいずれかからなる請求項2に記載の半導体センサ。
- 前記作動板の一主面に接合された重錘体をさらに有し、
前記半導体センサに加速度が加わると、該加速度に応じて前記作動板と前記重錘体とが一体となって変位し、前記半導体センサは、前記変位の大きさに応じて変化する前記複数のピエゾ抵抗素子の抵抗値に基づいて、前記加速度を検出するよう構成される請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体センサ。 - 前記作動板に荷重がかかると、該荷重の大きさに応じて前記作動板が変位し、前記半導体センサは、前記変位の大きさに応じて変化する前記複数のピエゾ抵抗素子の抵抗値に基づいて、前記荷重を検出するよう構成される請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体センサ。
- 作動板を半導体基板に形成する工程と、
前記半導体基板の一方の主面側に、複数のピエゾ抵抗素子を形成する工程と、
前記半導体基板の前記一方の主面上に、前記複数のピエゾ抵抗素子をそれぞれ接続する金属配線を形成する工程と、
前記半導体基板の一部を除去することにより、前記作動板と所定間隔をおいて外側に設けられた枠と、前記作動板と前記枠とを連結するように設けられ、その一方の主面に前記複数のピエゾ抵抗素子が形成された複数の可撓性の梁とを形成する工程と、
前記金属配線と前記梁との熱膨張係数の違いによって前記梁に生じる熱応力を緩和する熱応力緩和部を前記梁の他方の主面上に形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体センサの製造方法。 - 前記熱応力緩和部形成工程は、
前記作動板、前記梁および前記枠が形成された前記半導体基板の他方の主面上に、金属、金属酸化物および金属窒化物のいずれかの膜を形成する工程と、
前記作動板および前記枠上に形成された前記膜を除去する工程と、
を有する請求項6に記載の半導体センサの製造方法。 - 前記膜形成工程は、スパッタ成膜、蒸着成膜およびCVD成膜のいずれかを含む請求項7に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記膜除去工程は、エッチングを含む請求項7または8に記載の半導体センサの製造方法。
- 前記熱応力緩和部形成工程後、前記半導体基板の他方の主面に、ガラス基板または金属基板を接合する工程と、
前記ガラス基板または金属基板の一部を除去することにより、前記枠と、前記作動板に懸垂保持された重錘体とを形成する工程と、
をさらに有する請求項6ないし9のいずれかに記載の半導体センサの製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009266928A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Yamaha Corp | Memsおよびmems製造方法 |
JP2010153759A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Yamaha Corp | 接触センサ |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010002994A1 (de) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | Robert Bosch Gmbh | Piezoresistives mikromechanisches Sensorbauelement und entsprechendes Messverfahren |
JP2021071305A (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | ミネベアミツミ株式会社 | 力覚センサ装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6199383A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Hitachi Ltd | 容量式変位センサ |
JPH05215768A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体加速度検出装置 |
JPH07142745A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-06-02 | Copal Electron Co Ltd | 微圧測定用圧力センサ並びにその製造方法 |
JP2001056343A (ja) * | 1999-08-18 | 2001-02-27 | Nikon Corp | マイクロマシン、およびその製造方法 |
JP2001284603A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体圧力センサの製造方法 |
JP2005061840A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Hitachi Unisia Automotive Ltd | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4867107A (en) * | 1988-02-03 | 1989-09-19 | Sullivan Engine Works, Inc. | Rotary vee engine |
JP3114453B2 (ja) * | 1993-10-05 | 2000-12-04 | 株式会社日立製作所 | 物理量検出センサ及びプロセス状態検出器 |
US6892578B2 (en) * | 2002-11-29 | 2005-05-17 | Hitachi Metals Ltd. | Acceleration sensor |
-
2005
- 2005-03-30 JP JP2005099247A patent/JP2006275961A/ja active Pending
-
2006
- 2006-03-28 US US11/277,723 patent/US20060283248A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6199383A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Hitachi Ltd | 容量式変位センサ |
JPH05215768A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体加速度検出装置 |
JPH07142745A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-06-02 | Copal Electron Co Ltd | 微圧測定用圧力センサ並びにその製造方法 |
JP2001056343A (ja) * | 1999-08-18 | 2001-02-27 | Nikon Corp | マイクロマシン、およびその製造方法 |
JP2001284603A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体圧力センサの製造方法 |
JP2005061840A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Hitachi Unisia Automotive Ltd | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009266928A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Yamaha Corp | Memsおよびmems製造方法 |
JP2010153759A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Yamaha Corp | 接触センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060283248A1 (en) | 2006-12-21 |
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