JP2007327922A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 可撓部を有するダイヤフラムであって、
   該ダイヤフラムは、
   前記可撓部の一方の面に感圧素子を固定するための対を成す支持部と、
   該支持部間に厚肉部とを有する
   ことを特徴とするダイヤフラム。
2. 感圧素子とダイヤフラムとを有し、
   前記ダイヤフラムは、
   可撓部の一方の面に前記感圧素子を固定するための対を成す支持部と、
   該支持部間に厚肉部とを有する
   ことを特徴とする圧力センサ。
3. 前記厚肉部は、前記可撓部の他方の面に構成した
   ことを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記支持部に対応する位置であって、前記可撓部の他方の面に突起部を構成したことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の圧力センサ。
5. 前記ダイヤフラムと、
   可撓部を備えた他のダイヤフラムとを積層し、
   可撓部間に一方の可撓部に生じた撓みを他方の可撓部に伝達する伝達手段を備えた
   ことを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の圧力センサ。
6. 前記感圧素子は、
   両端部に設けた基部を有し、
   該両端部に設けた基部の間に振動部を有する
   ことを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載の圧力センサ。